The invention discloses an automatic probe testing device, which comprises a side plate, a bottom plate, a probe bracket and a moving mechanism. One end of the bottom of the side plate is connected with one end of the bottom plate, and the bottom plate is used for placing the device to be tested, the probe bracket is fixed and connected with one end of the moving mechanism, and the other end of the moving mechanism. One end is sliding and connected along the axial direction of the side plate; a plurality of four-needle probes are arranged on the probe bracket, each of which comprises at least one four-needle probe, and the four-needle probes can be moved transversely and longitudinally on the probe bracket. In addition, the invention also provides an automatic probe test loading system based on the device. By using the embodiment of the invention, the test efficiency of the device to be tested is improved, and the artificial manual movement of the device to be tested in the test process is reduced, and the damage probability of the device is reduced.
【技术实现步骤摘要】
一种自动探针测试装置及系统
本专利技术涉及探针测试
,尤其涉及一种自动探针测试装置及系统。
技术介绍
探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,适用于实验室或生产线使用。现有的市场上的探针测试仪为单悬臂四探针测试仪,采用探头和测控电路分离的方式,只有一个探头适合于单点测试,因此,测试的点较少,且在需要对测试器件进行多点测试时,需人工移动被测器件。可见,现有技术中的自动探测测试装置测试效率较低,且在测试过程中人为的移动待测器件容易造成器件的损坏
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种自动探针测试装置及系统,旨在提高待测器件的测试效率,以及减少测试过程中进行人为的手动移动待测器件,减少器件的损坏几率。具体技术方案如下:为达到上述目的,本专利技术实施例提供了一种自动探针测试装置,包括:侧板、底板、探头支架和移动机构,所述侧板的底部一端与所述底板的一端相连,且所述底板用于放置待测器件,所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连,所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接;所述探头支架上设置有多组四针探头,每一组四针探头上至少包括一个四针探头,且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。本专利技术的优选实施方式中,所述移动机构包括:步进电机、滚珠丝杆、导杆、滑动板、连接板、测试信号电路板,所述测试信号电路板与所述步进电机通信连接,且所述步进电机与所述滚珠丝杆连接,所述滚珠丝杆与所述滑动板连接;且所述滑动板的两侧套设在所述导杆上,在所述滚珠丝杆的作用下沿着所述导杆上下滑动,所述连接板的一侧与所述滑动板固定连接,所述连接板的另一侧与所述 ...
【技术保护点】
1.一种自动探针测试装置,其特征在于,包括:侧板、底板、探头支架和移动机构,所述侧板的底部一端与所述底板的一侧相连,所述底板用于放置待测器件,所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连,所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接;所述探头支架上设置有多组四针探头,每一组四针探头上至少包括一个四针探头,且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。
【技术特征摘要】
1.一种自动探针测试装置,其特征在于,包括:侧板、底板、探头支架和移动机构,所述侧板的底部一端与所述底板的一侧相连,所述底板用于放置待测器件,所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连,所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接;所述探头支架上设置有多组四针探头,每一组四针探头上至少包括一个四针探头,且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。2.根据权利要求1所述的自动探针测试装置,其特征在于,所述移动机构包括:步进电机、滚珠丝杆、导杆、滑动板、连接板、测试信号电路板,所述测试信号电路板与所述步进电机通信连接,且所述步进电机与所述滚珠丝杆连接,所述滚珠丝杆与所述滑动板连接;且所述滑动板的两侧套设在所述导杆上,在所述滚珠丝杆的作用下沿着所述导杆上下滑动,所述连接板的一侧与所述滑动板固定连接,所述连接板的另一侧与所述探头支架固定连接。3.根据权利要求1或2所述的自动探针测试装置,其特征在于,所述探头支架设置有至少一个探头X轴位置调节机构和至少一个探头Y轴调节机构、至少一个滑动杆;每一组四针探头沿Y轴分别固定在一个滑动杆上,滑动杆沿Y轴方向设置,每一组四针探头分别与一个X轴位置调节机构滑动连接,且每一个四针探头均与一个探头Y轴调节机构滑动连接。4.根据权利要求2所述的自动探针测试装置,其特征在于,还包括探头压力调节器,与每一个四针探头连接,且至少一个探头压力调节器与所述测试信号电路板连接,将该探头压力调节器信号反馈至测试信号电路板上。5...
【专利技术属性】
技术研发人员:范一松,郭强,苏锐,
申请(专利权)人:中国科学院合肥物质科学研究院,
类型:发明
国别省市:安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。