监控剥离液中胺类浓度变化的方法技术

本发明专利技术提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的碱度，从而监控剥离液中胺类浓度的变化，若发现剥离液的碱度改变到无法有效进行剥离的数值，工作人员可以及时进行调整，避免所述剥离液的胺类成分的损耗造成液晶显示面板的异常。

Method for monitoring amine concentration change in stripping liquid

The present invention provides a method for monitoring the change of amine concentration in stripping solution. The alkalinity of stripping solution is monitored by the principle of acid-base titration, and the change of amine concentration in stripping solution is monitored. If the alkalinity of stripping solution is found to be changed to the value that can not be stripped effectively, the staff can adjust it in time to avoid the above-mentioned changes. The loss of amine components of stripped liquid causes abnormal liquid crystal display panel.

【技术实现步骤摘要】
监控剥离液中胺类浓度变化的方法
本专利技术涉及液晶显示面板，尤其涉及一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法。
技术介绍
薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)是阵列基板的重要元件之一，薄膜晶体管技术是液晶显示技术的核心，对液晶显示面板的质量有着重大的影响。随着平板显示(FlatPanelDisplay，FPD)技术的发展，人们对显示器分辨率和画面刷新速率的追求越来越高，因此新材料和新工艺的发展也迫在眉睫。目前，在液晶显示器(TFTLCD)的加工制造领域，导电层金属的材料主要以铝和钼为主，铝和钼的优点在于成膜工艺简单，黏附性和平坦性较好，较柔软且不容易发生爬坡断线以及不容易扩散(扩散导致膜层污染)。对于小尺寸和低分辨率的面板而言，铝是首选的理想导电金属材料。但由于铝的电阻率相对较大，因此对于大尺寸和高分辨率面板而言，就不能满足需求了。作为导电金属材料，铜的导电率要远远优于铝，对于15.0寸的UXGA(UltraeXtendedGraphicsArray)显示屏，采用铜取代铝作为导电金属材料，其面板分辨率可以提升35.2％，亮度可以提高32％，同时画面闪烁(flicker)和线负载都能大大降低。因此，针对目前高分辨率面板的市场需求，将使用铜取代铝应用到未来的显示面板中。在基底上制作薄膜晶体管的金属走线时，由于铜的电阻率较小，更适合用于制作大尺寸液晶显示装置的金属线电路，因此一般采用铜材料制作薄膜晶体管的电极。而在采用铜材料制作薄膜晶体管的电极或金属线电路时，均需要进行图案化，然后采用剥离液对图案以外的铜材料进行剥离去除，随着越来越多新技术和新工艺，不同浓度的胺类成分的剥离液对铜的剥离效果和效率均不同，而现有技术中未有任何方法可以确认剥离液的胺类浓度在使用过程中是否发生变化，当剥离液的胺类浓度下降到一定数值而无法保证剥离效果和效率时，容易造成剥离异常，进而造成液晶显示面板异常，为了避免采用不同浓度的胺类成分的剥离液进行剥离制程而造成液晶显示面板异常，亟需一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，能够监控剥离液中胺类浓度的变化，避免剥离液的胺类成分的损耗造成液晶显示面板的异常。为实现上述目的，本专利技术提供了一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内；所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。所述监控剥离液中胺类浓度变化的方法具体包括以下步骤：步骤1、提供测试液、取样容器及标准滴定溶液，所述标准滴定溶液为强酸，所述标准滴定溶液的酸度系数为1-4，所述标准滴定溶液的浓度为Ymol/L；所述测试液包括剥离标准液和剥离液；所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度；步骤2、移取所述测试液XmL于所述取样容器中得到液样，使用所述标准滴定溶液对所述取样容器中的液样进行酸碱滴定至终点，记录消耗所述标准滴定溶液的体积Vm，重复上述操作m次；步骤3、计算消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm，取m次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm的平均值为最终碱度N，所述碱度Nm的计算公式如下：其中，Vm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积，Vm的单位为mL，Nm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积对应的碱度，M为所述标准滴定溶液的摩尔质量，X＞0，Y＞0，m为大于0的整数，所述碱度Nm的单位为g/L；步骤4、依次使所述步骤1-3中的测试液为第一、第二剥离标准液与剥离液，通过所述步骤1-3可以得到所述第一、第二剥离标准液的最终碱度与剥离液的最终碱度，所述第一、第二剥离标准液的最终碱度分别为剥离标准液的碱度区间的上限值、下限值，确认所述剥离液的最终碱度是否介于所述第一、第二剥离标准液的最终碱度之间，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求。所述剥离标准液与剥离液为用于液晶显示面板的铜剥离液。所述剥离标准液与剥离液还包括NMF、BDG及添加剂。；所述步骤1中，还包括提供移液管、指示剂与酸碱滴定管的步骤；所述步骤2中，采用移液管移取所述测试液XmL于所述取样容器中得到液样，向所述取样容器滴加指示剂并摇匀得到混合溶液，向所述酸碱滴定管加入所述标准滴定溶液，通过装有标准滴定溶液的酸碱滴定管对所述取样容器中的混合溶液进行酸碱滴定。所述指示剂为甲基橙指示剂，所述混合溶液的滴定终点为使所述混合溶液由黄色变为橙红色之时。所述每次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm与所述最终碱度N之间的允许差不超过0.15g/L。所述步骤1中，所述标准滴定溶液为盐酸标准滴定溶液，所述盐酸标准滴定溶液的浓度为0.1-1mol/L。所述步骤2中，所述m为5。所述剥离液中，胺类浓度和碱度值呈正相关关系。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的碱度，若发现剥离液的碱度改变到无法有效进行剥离的数值，工作人员可以及时进行调整，从而监控剥离液中胺类浓度的变化，避免所述剥离液的胺类浓度的损耗造成液晶显示面板的异常。附图说明为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图中，图1为本专利技术的监控剥离液中胺类浓度变化的方法的流程图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。本专利技术提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内；所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。所述碱度为每升剥离液中能与强酸即H+发生中和作用的物质总量，剥离液中的胺类成分呈碱性，所述胺类成分能与强酸中的H+发生中和作用，不同胺类浓度的剥离液中的碱度也不同，胺类浓度和碱度值呈正相关关系，随着剥离制程的进行，剥离液中的胺类成分会减少，也即随着剥离制程的进行剥离液中的胺类成分的浓度会减小，相应地，由于剥离液中的胺类成分会减少，剥离液对应的碱度也会减小，本专利技术通过酸碱滴定原理对剥离液的碱度值的测量确认从而起到监控配方中的胺类浓度的作用，从而可以确定是否需要更换或补充剥离液，进而确保剥离制程的正常进行。通过该方法能够有效监控剥离液中胺类浓度的变化，工作人员可以及时对剥离液进行调整，避免所述剥离液的胺类浓度的损耗造成液晶显示面板的异常。具体地，请参阅图1，所述监控剥离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求；所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。

【技术特征摘要】
1.一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求；所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。2.如权利要求1所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤1、提供测试液、取样容器及标准滴定溶液，所述标准滴定溶液为强酸，所述标准滴定溶液的酸度系数为1-4，所述标准滴定溶液的浓度为Ymol/L；步骤2、移取所述测试液XmL于所述取样容器中得到液样，使用所述标准滴定溶液对所述取样容器中的液样进行酸碱滴定至终点，记录消耗所述标准滴定溶液的体积Vm，重复上述操作m次；步骤3、计算消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm，取m次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm的平均值为最终碱度N，所述碱度Nm的计算公式如下：其中，Vm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积，Vm的单位为mL，Nm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积对应的碱度，M为所述标准滴定溶液的摩尔质量，X＞0，Y＞0，m为大于0的整数，所述碱度Nm的单位为g/L；步骤4、依次使所述步骤1-3中的测试液为第一、第二剥离标准液与剥离液，通过所述步骤1-3可以得到所述第一、第二剥离标准液的最终碱度与剥离液的最终碱度，所述第一、第二剥离标准液的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘三泓，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44