一种检测装置的制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种检测装置的制作方法，属于微型电子器件技术领域。该制作方法包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该制作方法将声表面波传感器与待测试的金属结构件集成在一起，解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象，导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题，同时，通过声阻挡层使声表面波传感器产生的声表面波作用于待测试金属结构部件的表面，使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。

Method for making detection device

The invention relates to a manufacturing method of a detection device, belonging to the technical field of micro electronic devices. The fabrication method includes: setting an acoustic barrier layer on the metal structural component to be tested, and setting an acoustic surface wave sensor on the acoustic barrier layer, wherein the acoustic barrier layer causes the acoustic surface wave sensor to produce sound when the metal structural component to be tested is tested. The surface wave acts on the surface of the metal structure part to be tested. The fabrication method integrates the SAW sensor with the metal structure to be tested, and solves the technical problem that the surface acoustic wave sensor may crack, collapse and so on, which leads to the failure, damage and even fall off of the SAW sensor. At the same time, the surface acoustic wave sensor is produced by the SAW sensor through the acoustic barrier layer. Wave acts on the surface of the metal structure to be tested, which makes the sensor have higher quality factor, resonance performance and test sensitivity.

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置的制作方法
本专利技术属于微型电子器件
，具体涉及一种检测装置的制作方法。
技术介绍
声表面波器件对自身及环境中物理量的变化十分敏感，因此被广泛用于各种传感应用中，如温度传感器、扭矩传感器、压力传感器、应变传感器等。通常，在使用声表面波传感器对金属结构件的结构健康状况(如是否存在应变、裂纹、损坏)进行检测时，需要将声表面波传感器粘贴在金属结构件表面，所使用的粘贴方法有锡焊、陶瓷胶粘合、化学粘合剂粘合等。但是，由于结构件的实际应用环境较为复杂，采用粘结剂将声表面波传感器与待测金属件进行粘合时，粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象，导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落。而且，由于需要使用粘结剂，传感器芯片往往无法与金属结构件直接接触，此时，金属结构件的结构健康信息须经由粘结剂传递至传感器芯片，而由于在粘贴过程中，传感器芯片受力面的均匀性难以控制，导致传感器芯片获取的信息存在较大失真，造成传感器检测误差大、重复性差等问题。
技术实现思路
鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种检测装置的制作方法，以有效地改善上述问题。本专利技术的实施例是这样实现的：本专利技术实施例提供了一种检测装置的制作方法，包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。在本专利技术可选的实施例中，所述声阻挡层包括：高声阻抗材料层和低声阻抗材料层，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层，包括：在所述待测试金属结构部件上由下至上交替设置所述高声阻抗材料层和所述低声阻抗材料层。在本专利技术可选的实施例中，所述声阻挡层包括：高声阻抗材料层和低声阻抗材料层，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层，包括：在所述待测试金属结构部件上由下至上交替设置所述低声阻抗材料层和所述高声阻抗材料层。在本专利技术可选的实施例中，所述高声阻抗材料层为钛层、钨层、金层或铂层。在本专利技术可选的实施例中，所述低声阻抗材料层为石英层、氧化硅层或三氧化二铝层。在本专利技术可选的实施例中，所述声表面波传感器包括：压电薄膜层和金属电极结构，在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，包括：在所述声阻挡层上设置所述压电薄膜层；在所述压电薄膜层上制作所述金属电极结构。在本专利技术可选的实施例中，所述压电薄膜层为氧化锌薄膜层、氮化铝薄膜层、氮化镓薄膜层、铌酸锂薄膜层、钽酸锂薄膜层或锆钛铅酸薄膜层。在本专利技术可选的实施例中，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层之前，还包括：对所述待测试金属结构部件的测试表面进行抛光处理，使所述待测试金属结构部件的测试表面光滑。在本专利技术可选的实施例中，还包括：在所述待测试金属结构部件与所述声阻挡层之间设置缓冲薄膜层。在本专利技术可选的实施例中，所述缓冲薄膜层为氧化物或氮化物薄膜层。本专利技术实施例提供的检测装置的制作方法，包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该制作方法将声表面波传感器与待测试的金属结构部件集成在一起，即在待测试的金属结构部件表面直接设计、制备声表面波传感器，而不是通过先在压电单晶基片上制备声表面波传感器，再将其粘贴在待测试金属结构部件表面的方式，解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象，导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题，同时，通过声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面，而不在待测试金属结构部件内部传播，使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术实施例而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。通过附图所示，本专利技术的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本专利技术的主旨。图1示出了本专利技术一实施例提供的一种检测装置的结构示意图。图2示出了本专利技术又一实施例提供的一种检测装置的结构示意图。图3示出了本专利技术又一实施例提供的一种检测装置的结构示意图。图4示出了本专利技术又一实施例提供的一种检测装置的结构示意图。图5示出了本专利技术一实施例提供的一种检测装置的制作方法的流程图。图6示出了本专利技术又一实施例提供的一种检测装置的制作方法的流程图。图标：10－检测装置；11－待测试金属结构部件；12－缓冲薄膜层；13－布拉格声阻挡层；131－高声阻抗材料层；132－低声阻抗材料层；14－声表面波传感器；141－压电薄膜层；142－电极结构。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在使用声表面波传感器对金属结构件的结构健康状况(如是否存在应变、裂纹、损坏)进行检测时，需要将声表面波传感器粘贴在金属结构件表面，所使用的粘贴方法有锡焊、陶瓷胶粘合、化学粘合剂粘合等。但是，由于结构件的实际应用环境较为复杂，采用粘结剂将声表面波传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置的制作方法，其特征在于，包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。

【技术特征摘要】
1.一种检测装置的制作方法，其特征在于，包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声阻挡层包括：高声阻抗材料层和低声阻抗材料层，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层，包括：在所述待测试金属结构部件上由下至上交替设置所述高声阻抗材料层和所述低声阻抗材料层。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声阻挡层包括：高声阻抗材料层和低声阻抗材料层，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层，包括：在所述待测试金属结构部件上由下至上交替设置所述低声阻抗材料层和所述高声阻抗材料层。4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述高声阻抗材料层为钛层、钨层、金层或铂层。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：舒琳，吴卫东，王雪敏，阎大伟，罗跃川，王进，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51