【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】执行器装置及其驱动方法
本专利技术涉及执行器装置及其驱动方法。
技术介绍
专利文献1公开了压电执行器。专利文献2公开了管型压电执行器。专利文献3公开了功能元件、采用了功能元件的装置、以及功能元件的制造方法。【在先技术文献】【专利文献】专利文献1:日本特开2001-197758号公报专利文献2:日本特开2002-125383号公报专利文献3:日本特开2004-281711号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于提供一种新的执行器装置及其驱动方法。用于解决课题的手段本专利技术的执行器装置具有执行器以及能对该执行器施加高频电压的交流电源。该执行器具有由聚合物形成的柔性管、内侧电极以及外侧电极。在与柔性管的长度方向正交的剖面,内侧电极与柔性管的内周面的至少一部分接触。在该剖面,外侧电极覆盖柔性管的外周面的一部分。交流电源在动作时,对执行器施加具有1MHz以上的频率的高频电压,使执行器向在剖面中从内侧电极朝向外侧电极的方向移位。另外,交流电源停止向执行器施加高频电压而使执行器返回原来的位置。专利技术效果本专利技术提供一种新的执行器装置及其驱动方法。附图说明图1A表示实施方式的执行器装置的概略图。图1B表示已移位的执行器的概略图。图2A表示柔性管的剖视图。图2B表示柔性管的另一剖视图。图2C表示柔性管的又一剖视图。图2D表示无法移位的柔性管的剖视图。图2E表示无法移位的另一柔性管的剖视图。图2F表示具有多个外侧电极的柔性管的剖视图。图3A表示制造执行器的方法中包含的1个工序的概略图。图3B表示接着图3A的、制造执行器的方法中包含的1个工序的概略图。图 ...
【技术保护点】
1.一种执行器装置,具有:执行器、以及能对所述执行器施加高频电压的交流电源;在此,所述执行器具有由聚合物形成的柔性管、内侧电极以及外侧电极;在与所述柔性管的长度方向正交的剖面,所述内侧电极与所述柔性管的内周面的至少一部分接触;在所述剖面,所述外侧电极覆盖所述柔性管的外周面的一部分;在所述剖面,被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的一部分与和所述内侧电极接触的柔性管的内周面的至少一部分以在之间夹着所述柔性管的一部分的方式相对向;并且所述交流电源在动作时,对所述执行器施加具有1MHz以上的频率的所述高频电压,使所述执行器向在所述剖面中从所述内侧电极朝向所述外侧电极的方向移位,并且,停止向所述执行器施加所述高频电压而使所述执行器返回原来的位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.24 JP 2017-0106301.一种执行器装置,具有:执行器、以及能对所述执行器施加高频电压的交流电源;在此,所述执行器具有由聚合物形成的柔性管、内侧电极以及外侧电极;在与所述柔性管的长度方向正交的剖面,所述内侧电极与所述柔性管的内周面的至少一部分接触;在所述剖面,所述外侧电极覆盖所述柔性管的外周面的一部分;在所述剖面,被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的一部分与和所述内侧电极接触的柔性管的内周面的至少一部分以在之间夹着所述柔性管的一部分的方式相对向;并且所述交流电源在动作时,对所述执行器施加具有1MHz以上的频率的所述高频电压,使所述执行器向在所述剖面中从所述内侧电极朝向所述外侧电极的方向移位,并且,停止向所述执行器施加所述高频电压而使所述执行器返回原来的位置。2.如权利要求1所述的执行器装置,所述内侧电极沿着所述柔性管的长度方向形成。3.如权利要求1所述的执行器装置,所述外侧电极沿着所述柔性管的长度方向形成。4.如权利要求1所述的执行器装置,所述高频电压具有100MHz以下的频率。5.如权利要求1所述的执行器装置,所述交流电源能对所述执行器间歇性地施加所述高频电压以满足以下的数学式(I),6Hz≤1/(接通期间+断开期间)≤26Hz(I)在此,所述接通期间被定义为对所述执行器施加所述高频电压的期间,并且,所述断开期间被定义为不对所述执行器施加所述高频电压的期间。6.如权利要求1所述的执行器装置,在所述剖面,所述内侧电极以填满所述柔性管的内部的方式与所述柔性管的内周面的整周接触。7.如权利要求1所述的执行器装置,未被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的一部分露出。8.如权利要求1所述的执行器装置,满足以下的数学式(II),25%≤覆盖率≤75%(II)在此,覆盖率=(在所述剖面,被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的一部分的长度)/(在所述剖面,未被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的其余部分的长度)。9.如权利要求1所述的执行器装置,所述外侧电极包括:第1外侧电极部,沿着所述柔性管的长度方向形成并且覆盖所述柔性管的外周面的一部分;以及第2外侧电极部,与所述第1外侧电极部平行地形成并且覆盖所述柔性管的外周面的一部分;在所述剖面,所述第1外侧电极部和所述第2外侧电极部非圆对称地配置。10.如权利要求1所述的执行器装置,所述内侧电极包括:第1内侧电极部,沿着所述柔性管的长度方向形成并且覆盖所述柔性管的内周面的一部分;以及第2内侧电极部,与所述第1内侧电极部平行地形成并且覆盖所述柔性管的内周面的一部分;在所述剖面,所述第1内侧电极部和所述第2内侧电极部非圆对称地配置。11.如权利要求1所述的执行器装置,所述柔性管由通过以下的化学式(I)表示的聚合物或其共聚物形成,在此,X1是卤素原子,并且,X2~X4是分别独立地从由氢原子和卤素原子构成的组中选择的1种。12.如权利要求1所述的执行器装置,所述柔性管由通过以下的化学式(II)表示的共聚物形成,在此,X1是卤素原子,并且,X2~X8是分别独立地从由氢原子和卤素原子构成的组中选择的1种。13.如权利要求12所述的执行器装置,X1、X2、X5、X6和X7是氟原子,并且,X3、X4和X8是氢。14.一种方法,是驱动执行器装置的方法,所述方法具有以下的步骤:(a)准备权利要求1所述的执行器装置的步骤,以及(b)在所述内侧电极与所述外侧电极之间施加具有1MHz以上的频率的高频电压,使所述执行器向在所述剖面中从所述内侧电极朝向所述外侧电极的方向移位的步骤。15.如权利要求14所述的方法,还具有以下的步骤:(c)停止所述高频电压的施加而使所述执行器返回原来的位置的步骤。16.如权利要求14所述的方法,所述内侧电极沿着所述柔性管的长度方向形成。17.如权利要求14所述的方法,所述外侧电极沿着所述柔性管的长度方向形成。18.如权利要求14所述的方法,所述高频电压具有100MHz以下的频率。19.如权利要求14所述的方法,所述交流电源能对所述执行器间歇性地施加所述高频电压以满足以下的数学式(I),6Hz≤1/(接通期间+断开期间)≤26Hz(I)在此,所述接通期间被定义为对所述执行器施加所述高频电压的期间,并且,所述断开期间被定义为不对所述执行器施加所述高频电压的期间。20.如权利要求14所述的方法,在所述剖面,所述内侧电极以填满所述柔性管的内部的方式与所述柔性管的内周面的整周接触。21.如权利要求14所述的方法,未被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的一部分露出。22.如权利要求14所述的方法,满足以下的数学式(II),25%≤覆盖率≤75%(II)在此,覆盖率=(在所述剖面,被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的一部分的长度)/(在所述剖面,未被所述外侧电极覆盖的柔性管的外周面的其余部分的长度)。23.如权利要求14所述的方法,所述外侧电极包括:第1外侧电极部,沿着所述柔性管的长度方向形成并且覆盖所述柔性管的外周面的一部分;以及第2外侧电极部,与所述第1外侧电极部平行地形成并且覆盖所述柔性管的...
【专利技术属性】
技术研发人员:金子由利子,平冈牧,中村邦彦,
申请(专利权)人:松下知识产权经营株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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