承载装置和曝光机制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种承载装置和曝光机，其中承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；设置在第一预设高度范围的承载台，以及多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；换位结构，用于在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，从多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对设置在第一预设高度范围的承载台和目标承载台，进行位置互换。该方案在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，将其与目标承载台进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度的承载台，从而降低了掩膜版的损坏率。

【技术实现步骤摘要】
承载装置和曝光机
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种承载装置和曝光机。
技术介绍
在液晶显示
，光刻工艺过程中需要曝光机，通过带有图形的掩膜版对待曝光的基板进行曝光。曝光机中包括多个从上至下设置的承载台，用于盛放掩膜版。假设曝光机包括5个承载台，则需要使用掩膜版台车通过螺旋升降装置，将掩膜版放至相应的承载台。此过程中，需要掩膜版台车对掩膜版以及承载台进行精确对位，否则易发生掩膜版被划伤的情况。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种承载装置和曝光机，可以降低掩膜版放置过程中，掩膜版的损坏率。本专利技术实施例提供了一种承载装置，应用于曝光机，包括：一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。在一些实施例中，所述换位结构包括机械臂；所述机械臂，用于取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。在一些实施例中，所述换位结构还包括定位器；所述定位器，用于限定所述机械臂的高度范围，以使所述机械臂取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。在一些实施例中，所述换位结构还包括缓存区；所述缓存区，用于在所述机械臂取出所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台时，存放所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台。在一些实施例中，所述承载装置还包括传感器，所述传感器分别与所述设置在第一预设高度范围的承载台、所述多个设置在第二预设高度范围的承载台电性连接；所述传感器，用于在掩膜版放入之前，检测所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，是否承载掩膜版；所述换位结构，用于在所述传感器检测到所述设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版，且在所述传感器检测到所述目标承载台未承载掩膜版后，对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。本专利技术实施例还提供了一种曝光机，包括承载装置，所述承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。在一些实施例中，所述换位结构包括机械臂；所述机械臂，用于取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。在一些实施例中，所述换位结构还包括定位器；所述定位器，用于限定所述机械臂的高度范围，以使所述机械臂取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。在一些实施例中，所述换位结构还包括缓存区；所述缓存区，用于在所述机械臂取出所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台时，存放所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台。在一些实施例中，所述承载装置还包括传感器，所述传感器分别与所述设置在第一预设高度范围的承载台、所述多个设置在第二预设高度范围的承载台电性连接；所述传感器，用于在掩膜版放入之前，检测所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，是否承载掩膜版；所述换位结构，用于在所述传感器检测到所述设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版，且在所述传感器检测到所述目标承载台未承载掩膜版后，对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。本专利技术实施例的承载装置和曝光机，在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，将其与目标承载台进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度的承载台，从而降低了掩膜版的损坏率。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：附图说明图1为本专利技术实施例提供的承载装置的结构示意图。图2为现有的承载装置的结构示意图。图3为本专利技术实施例提供的承载装置放入掩膜版的场景示意图。图4为本专利技术实施例提供的换位结构的结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本专利技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。本专利技术实施例提供了一种曝光机，该曝光机包括承载装置。请参照图1，图1为本专利技术实施例提供的承载装置的结构示意图。如图1所示，承载装置10包括一设置在第一预设高度范围的承载台100、多个设置在第二预设高度范围的承载台101，以及一换位结构102。其中，该设置在第一预设高度范围的承载台100，以及该多个设置在第二预设高度范围的承载台101，均用于承载掩膜版。如图2所示，在现有的承载装置20中，包括从上至下依次排列的五个承载台201。当通过人工操作台车，将掩膜版放入两个处于较高位置的承载台201时，由于受承载台201宽度以及高度的限制，凭借肉眼难以将掩膜版，准确对位放入两个处于较高位置的承载台201，故可能造成掩膜版划伤。在本专利技术实施例中，可以预先选取方便人工对位的高度范围，设置为第一预设高度范围，比如图2中，可以将较低位置的两个承载台201所处的高度范围，设置为第一预设高度范围。剩余不方便人工对应的高度范围，设置为第二预设高度范围。如图1所示，换位结构102用于在掩膜版放入之前，判断设置在第一预设高度范围的承载台100是否承载了掩膜版，如果承载了掩膜版，则从多个设置在第二预设高度范围的承载台101中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对设置在第一预设高度范围的承载台100和目标承载台，进行位置互换，以使设置在第一预设高度范围的承载台100具有空间，可以存放掩膜版。如果没有承载掩膜版，则直接将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。具体的，假设第一预设高度范围h1为40-50米，第二预设高度范围h2为10-39米，以及51-80米。则如图3所示，承载装置中设置在40-50米的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种承载装置，应用于曝光机，其特征在于，包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。

【技术特征摘要】
1.一种承载装置，应用于曝光机，其特征在于，包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述换位结构包括机械臂；所述机械臂，用于取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述换位结构还包括定位器；所述定位器，用于限定所述机械臂的高度范围，以使所述机械臂取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。4.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述换位结构还包括缓存区；所述缓存区，用于在所述机械臂取出所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台时，存放所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台。5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括传感器，所述传感器分别与所述设置在第一预设高度范围的承载台、所述多个设置在第二预设高度范围的承载台电性连接；所述传感器，用于在掩膜版放入之前，检测所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，是否承载掩膜版；所述换位结构，用于在所述传感器检测到所述设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版，且在所述传感器检测到所述目标承载台未承载掩膜版后，对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡森文，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42