两端口阀制造技术

一种两端口阀，其能通过抑制沉淀物向密封部件的附着来防止密封部件的密封性降低。在两端口阀(1)中，在阀座(10)上设置了在第一流路开口(12a)由阀芯(20)封闭时将该流路开口(12a)周围气密地密封的第一密封部件(15)，而且，将该密封部件(15)的整体在轴线L1方向配置在与形成上述第一流路开口(12a)的开口壁(16)的前端(16a)及上述第二流路开口(13a)的周缘中最接近阀座(10)的端缘(13b)相比向该开口壁(16)的基端侧后退了的位置。

Two end valve

A two-port valve prevents the sealing of the sealing part from decreasing by inhibiting the attachment of sediment to the sealing part. In the two-port valve (1), a first sealing member (15) is provided on the valve seat (10) which is airtight around the first flow path opening (12a) when the first flow path opening (12a) is closed by the valve core (20), and the entire sealing member (15) is disposed in the direction of the axis L1 in front of the opening wall (16) forming the first flow path opening (12a). 16a) and the closest end edge (13b) to the seat (10) at the periphery of the second flow path opening (13a) are retreated from the base end side of the opening wall (16).

【技术实现步骤摘要】
两端口阀
本技术涉及一种两端口阀，该两端口阀，例如是在半导体制造装置中为了用于真空腔的减压等的两端口阀，该真空腔使用工艺气体。
技术介绍
在半导体制造装置中，在使用工艺气体在半导体基板上实施成膜处理的情况下，在真空腔内进行该处理。此时，作为真空腔的减压使用真空泵，作为将这些真空泵和真空腔连结的外部流路的开闭使用两端口阀。此两端口阀例如如专利文献1所示，具备用于与真空腔连接的第一端口部；用于与真空泵连接的第二端口部；将这些第一端口部和第二端口部连接的流路；被设置在此流路中的第一端口部侧的阀座；和相对于此阀座接触分离的阀芯，在此阀芯上安装了密封部件。然而，在这样的两端口阀中，因为密封部件和第一端口部的向上述流路打开的开口相互相向，所以若使阀芯从阀座分离而将阀开放，则从第一端口部流入的工艺气体直接接触到被安装在阀芯上的密封部件。因此，存在副生成物(因成膜而产生的生成物以外的生成物)等沉淀物容易附着在密封部件上，导致密封部件的密封性降低的危险。在先技术文献专利文献[专利文献1]日本特开2006-312981号公报
技术实现思路
技术所要解决的课题因此，本技术的技术的课题是提供一种能通过抑制沉淀物向密封部件的附着来防止密封部件的密封性降低的两端口阀。为了解决课题的手段为了实现上述目的，本技术的两端口阀具有在轴线方向相连的主阀部和阀驱动部，上述主阀部具有阀壳、阀座和阀芯，该阀壳具有在上述轴线方向开设的一次侧端口部；在相对于上述轴线正交的方向开设的二次侧端口部；及连结上述两端口部的流路部，该阀座被形成为将上述一次侧端口部中的向上述流路部打开的第一流路开口包围，该阀芯相对于该阀座接触分离，对上述第一流路开口进行开闭，通过由上述阀驱动部在上述轴线方向驱动上述阀芯，上述阀芯相对于上述阀座接触分离，该两端口阀的特征在于，上述第一流路开口由从上述阀座的内周侧朝向上述流路部侧在上述轴线方向直立设置的环状的开口壁形成，上述阀座以包围上述开口壁的方式具有第一密封部件，该第一密封部件是上述阀芯进行接触分离的密封部件，上述开口壁在上述轴线方向与上述第一密封部件的顶端相比向上述流路部侧突出，上述阀芯具有用于在向上述第一密封部件抵接时避免与上述开口壁干涉的避让部。在此情况下，希望上述二次侧端口部具有向上述流路部打开的第二流路开口，在上述轴线方向，上述第二流路开口的周缘中最接近上述阀座的端缘与上述第一密封部件的顶端相比位于上述流路部侧。另外，优选上述阀壳由具有上述一次侧端口部的一次侧壳部和具有上述二次侧端口部及上述流路部的壳主体部构成，上述流路部由上述壳主体部的内周壁形成，该内周壁中的与上述阀座邻接的部位被形成为从上述流路部侧朝向阀座缩径的锥状。在此情况下，优选上述一次侧壳部和上述壳主体部分别被形成为分体，在上述一次侧壳部形成了上述阀座，上述阀壳通过将上述一次侧壳部和壳主体部相互连结形成。另外，在上述两端口阀的优选的实施方式中，上述阀芯中的与上述阀座的相向面包括环状凸部，该环状凸部中的与上述阀座的相向面形成相对于上述第一密封部件接触分离的密封面。此时，优选上述避让部由凹部形成，该凹部由上述环状凸部围着。另外，在上述两端口阀的优选的实施方式中，在上述阀芯中的朝向上述阀驱动部侧的面上固定了在上述轴线方向延伸的阀轴，上述阀驱动部具有相对于上述阀轴固定的活塞和用于使该活塞在上述轴线方向往复动的缸室，上述主阀部和阀驱动部由在上述轴线方向贯穿设置了使上述阀轴气密且滑动自由地穿插的穿插孔的连结部件相互连结，上述主阀部的流路部及阀驱动部的缸室分别由该连结部件气密地划分。此时，优选在上述阀芯中的朝向上述阀驱动部侧的面上，以包围上述阀轴的方式设置了第二密封部件，该第二密封部件用于在上述第一流路开口开放时与上述连结部件抵接，将上述流路部和上述穿插孔之间气密地密封。另外，更优选在上述第二密封部件与上述连结部件抵接时，上述阀芯的整体在上述轴线方向与与上述二次侧端口部具有的第二流路开口的周缘中的最接近上述连结部件的端缘相比位于该连结部件侧。进而，更优选上述缸室在上述轴线方向由上述活塞划分为上述连结部件侧的第一压力室和与该第一压力室相反侧的第二压力室，在这些压力室中分别开设了用于供给排出压缩流体的端口，在上述穿插孔中设置了用于将从上述第一压力室超过该穿插孔的密封部件漏出的压缩流体向大气排出的通孔。而且，还优选在上述阀轴中的与上述阀芯相反侧的端部安装了指示器，该指示器在上述轴线方向气密且滑动自由地贯通形成上述缸室的缸壳，伴随着阀芯通过上述阀驱动部进行的往复动，出没于该缸壳的内外，上述活塞被夹持在上述阀轴和上述指示器之间，相对于该阀轴固定。技术的效果根据本技术，一次侧端口部中的第一流路开口由从阀座的内周侧朝向流路部侧在轴线方向直立设置的环状的开口壁形成，上述阀座以包围上述开口壁的方式具有第一密封部件，该第一密封部件是阀芯进行接触分离的密封部件，上述开口壁在上述轴线方向与上述第一密封部件的顶端相比向上述流路部侧突出。因此，能防止从一次侧端口部朝向二次侧端口部流动的流体直接接触到被安装在阀芯上的密封部件，能通过抑制沉淀物向密封部件的附着来防止密封部件的密封性降低。附图说明图1是表示有关本技术的两端口阀的实施方式的闭阀状态的剖视图。图2是图1的两端口阀的开阀状态的剖视图。图3是图1的主要部分剖视放大图。具体实施方式为了实施技术的方式下面，使用附图，对有关本技术的两端口阀的一个实施方式详细地进行说明。有关本实施方式的两端口阀1，如图1及图2所示，具有主阀部2和阀驱动部3，通过在轴线L1方向将上述主阀部2配置在第一端侧，并且将该阀驱动部3配置在第二端侧，并将这些主阀部2和阀驱动部3相互连结而构成；该主阀部2具备阀座10及相对于该阀座10接触分离的阀芯20，该阀驱动部3驱动该阀芯20。上述主阀部2具有阀壳5，该阀壳5形成了与在轴线L1方向开设的未图示的半导体制造装置的真空腔等连接的一次侧端口部12；与在相对于此轴线L1正交的轴线L2方向开设的未图示的真空泵等连接的二次侧端口部13；和使上述两端口部12、13连通的流路部11。此阀壳5由形成了一次侧端口部12的一次侧壳部6和形成了二次侧端口部13及流路部11的壳主体部7构成。上述一次侧壳部6和壳主体部7被形成为分体，上述阀壳5通过经密封部件相互气密地连结上述一次侧壳部6和壳主体部7构成。在一次侧壳部6的流路部11侧(流路部11和一次侧端口部12的边界)形成了向该流路部11打开的上述一次侧端口部12的第一流路开口12a，阀座10被形成为将此第一流路开口12a的周围包围。另外，如图3所示，在此阀座10上形成了环状的凹槽14，在此凹槽14中嵌入了例如由橡胶等合成树脂构成的环状的第一密封部件15。而且，上述阀芯20通过相对于此第一密封部件15接触分离来开闭上述第一流路开口12a。即，在此两端口阀1中，用于在第一流路开口12a封闭时确保一次侧端口部12和流路部11之间的气密性的密封部件15，不是被设置在上述阀芯20上而是被设置在阀座10上。进而，如图3所示，从阀座10的径方向的内周侧朝向上述流路部11侧，在上述轴线L1方向直立设置了由环状构成筒状的开口壁16，由上述开口壁16的前端16a包围的区域形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种两端口阀，该两端口阀具有在轴线方向相连的主阀部和阀驱动部，上述主阀部具有阀壳、阀座和阀芯，该阀壳具有在上述轴线方向开设的一次侧端口部；在相对于上述轴线正交的方向开设的二次侧端口部；及连结上述两端口部的流路部，该阀座被形成为将上述一次侧端口部中的向上述流路部打开的第一流路开口包围，该阀芯相对于该阀座接触分离，对上述第一流路开口进行开闭，通过由上述阀驱动部在上述轴线方向驱动上述阀芯，上述阀芯相对于上述阀座接触分离，该两端口阀的特征在于，上述第一流路开口由从上述阀座的内周侧朝向上述流路部侧在上述轴线方向直立设置的环状的开口壁形成，上述阀座以包围上述开口壁的方式具有第一密封部件，该第一密封部件是上述阀芯进行接触分离的密封部件，上述开口壁在上述轴线方向与上述第一密封部件的顶端相比向上述流路部侧突出，上述阀芯具有用于在向上述第一密封部件抵接时避免与上述开口壁干涉的避让部。

【技术特征摘要】
2017.01.04 JP 2017-000001U1.一种两端口阀，该两端口阀具有在轴线方向相连的主阀部和阀驱动部，上述主阀部具有阀壳、阀座和阀芯，该阀壳具有在上述轴线方向开设的一次侧端口部；在相对于上述轴线正交的方向开设的二次侧端口部；及连结上述两端口部的流路部，该阀座被形成为将上述一次侧端口部中的向上述流路部打开的第一流路开口包围，该阀芯相对于该阀座接触分离，对上述第一流路开口进行开闭，通过由上述阀驱动部在上述轴线方向驱动上述阀芯，上述阀芯相对于上述阀座接触分离，该两端口阀的特征在于，上述第一流路开口由从上述阀座的内周侧朝向上述流路部侧在上述轴线方向直立设置的环状的开口壁形成，上述阀座以包围上述开口壁的方式具有第一密封部件，该第一密封部件是上述阀芯进行接触分离的密封部件，上述开口壁在上述轴线方向与上述第一密封部件的顶端相比向上述流路部侧突出，上述阀芯具有用于在向上述第一密封部件抵接时避免与上述开口壁干涉的避让部。2.如权利要求1所述的两端口阀，其特征在于，上述二次侧端口部具有向上述流路部打开的第二流路开口，在上述轴线方向，上述第二流路开口的周缘中最接近上述阀座的端缘与上述第一密封部件的顶端相比位于上述流路部侧。3.如权利要求1或2所述的两端口阀，其特征在于，上述阀壳由具有上述一次侧端口部的一次侧壳部和具有上述二次侧端口部及上述流路部的壳主体部构成，上述流路部由上述壳主体部的内周壁形成，该内周壁中的与上述阀座邻接的部位被形成为从上述流路部侧朝向阀座缩径的锥状。4.如权利要求3所述的两端口阀，其特征在于，上述一次侧壳部和上述壳主体部分别被形成为分体，在上述一次侧壳部形成了上述阀座，上述阀壳通过将上述一次侧壳部和壳主体部相互连结形成。5.如权利要求1或2所述的两端口阀，其特征在于，上述阀芯中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：神坂育男，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP