激光装置制造方法及图纸

激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出激光；波长选择单元，其配置在各所述激光的光路上，选择性地使规定波段的光透射；以及部分透射反射体，其配置成被输入透射过所述波长选择单元的光，且将所述输入的光中的一部分朝向所述波长选择单元反射，使其余部分透射，所述波长选择单元选择性地使从各所述光源元件输出的各激光的一部分透射，所述部分透射反射体反射所述透射的各激光的一部分，所述波长选择单元使所述反射的各激光的一部分透射，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以所述波长选择单元的透射波段内的波长优先进行振荡。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光装置
本专利技术涉及激光装置。
技术介绍
例如，作为加工用的激光装置，开发了使从半导体激光元件输出的激光会聚后向对象物进行照射的结构的激光装置。这种结构的激光装置也被称为DDL(DirectDiodeLaser)。半导体激光元件等光源元件的激光振荡波长很难在元件制造时准确控制成期望波长。然而，在激光装置中，有时要求将光源元件的激光振荡波长控制成期望波长。例如，根据激光装置的用途，有时激光所容许的波长范围较窄，或者使用上最佳的波长范围不同。另外，在对从多个光源元件分别输出的波长相互不同的激光进行合波而从激光装置输出的情况下，需要将各光源元件的激光振荡波长控制成期望波长。在专利文献1中公开了利用作为波长合波元件的衍射光栅对从多个半导体激光元件分别输出的波长相互不同的激光进行合波并输出的激光装置。在该激光装置中，构成用于使各激光的一部分分别返回到半导体激光元件的外部谐振器的反射体设置在衍射光栅的后级，由此，各半导体激光元件的激光振荡波长被固定(锁定)为期望波长。在专利文献2中公开了使用选择性地反射规定波段的光的体布拉格光栅(VBG：VolumeBraggGrating)作为构成外部谐振器的反射体的结构。在该结构中，各半导体激光元件的激光振荡波长被锁定为VBG的反射波长。另外，在专利文献3中公开了如下结构：将选择性地使规定波段的光透射的带通滤波器配置在半导体激光元件与构成外部谐振器的部分透射反射体之间，在带通滤波器的透射波长内进行波长锁定。这里，部分透射反射体是具有使所输入的光中的一部分透射并反射其余部分的功能的反射体。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利申请公开第2016/0111850号说明书专利文献2：美国专利申请公开第2016/0172823号说明书专利文献3：美国专利申请公开第2001/0026574号说明书
技术实现思路
专利技术要解决的课题如上所述，在激光装置中，有时要求将光源元件的激光振荡波长控制成期望波长。本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够适当地将光源元件的激光振荡波长控制成期望波长的激光装置。用于解决课题的手段为了解决上述课题并实现目的，本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出激光；波长选择单元，其配置在各所述激光的光路上，选择性地使规定波段的光透射；以及部分透射反射体，其配置成被输入透射过所述波长选择单元的光，且将所输入的所述光中的一部分朝向所述波长选择单元反射，使其余部分透射，所述波长选择单元选择性地使从各所述光源元件输出的各激光的一部分透射，所述部分透射反射体反射所透射的各所述激光的一部分，所述波长选择单元使所反射的各所述激光的一部分透射，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以所述波长选择单元的透射波段内的波长优先进行振荡。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出激光；部分分支体，其配置成被输入各所述激光，且将所输入的所述激光中的一部分朝向相对于各所述激光的行进方向呈角度的方向反射并进行分支，使其余部分透射；波长选择单元，其配置在所述反射并进行分支后的各所述激光的其余部分的光路上，选择性地使规定波段的光透射；以及反射体，其配置成被输入透射过所述波长选择单元的光，将所输入的所述光朝向所述波长选择单元反射，所述部分分支体对从各所述光源元件输出的各激光的一部分进行分支，所述波长选择单元选择性地使分支后的各所述激光的一部分透射，所述反射体将所透射的各所述激光的一部分朝向所述波长选择单元反射，所述波长选择单元选择性地使所反射的各所述激光的一部分透射，所述部分分支体反射所透射的各所述激光的一部分，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以所述波长选择单元的透射波段内的波长优先进行振荡。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置还具有旋转机构，该旋转机构使所述波长选择单元旋转，以使得各所述光源元件以期望波长优先进行振荡。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，各所述光源元件是多模激光器。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，各所述光源元件是半导体激光元件。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述波长选择单元由带通滤波器构成。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述波长选择单元通过组合长波长通过滤波器和短波长通过滤波器来构成。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置还具有对各所述激光进行准直的准直透镜。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置还具有光纤以及使各所述激光与所述光纤光学耦合的会聚透镜。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述光纤是多模光纤。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出波长相互不同的激光；多个波长选择单元，它们配置在各所述激光各自的光路上，分别选择性地使规定波段的光透射；多个部分透射反射体，它们分别配置成被输入透射过各所述波长选择单元的光，且将所输入的各所述光中的一部分朝向各所述波长选择单元反射，使其余部分透射；以及波长合波单元，其配置在各所述部分透射反射体的后级，对各所述激光进行合波，各所述波长选择单元选择性地使从各所述光源元件输出的各激光的一部分透射，各所述部分透射反射体反射所透射的各所述激光的一部分，各所述波长选择单元使所反射的各所述激光的一部分透射，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以各所述波长选择单元的透射波段内的波长分别优先进行振荡。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出波长相互不同的激光；多个部分分支体，它们分别配置成被输入各所述激光，且将所输入的各所述激光中的一部分朝向相对于各所述激光的行进方向呈角度的方向反射并进行分支，使其余部分透射；多个波长选择单元，它们分别配置在各所述反射并进行分支后的各所述激光的其余部分的光路上，分别选择性地使规定波段的光透射；多个反射体，它们分别配置成被输入透射过各所述波长选择单元的各光，将所输入的各所述光朝向各所述波长选择单元反射；以及波长合波单元，其配置在各所述部分分支体的后级，对各所述激光进行合波，各所述部分分支体对从各所述光源元件输出的各激光的一部分进行分支，各所述波长选择单元选择性地使各分支后的各所述激光的一部分透射，各所述反射体将各透射的各所述激光的一部分朝向各所述波长选择单元反射，各所述波长选择单元选择性地使各反射的各所述激光的一部分透射，各所述部分分支体反射各透射的各所述激光的一部分，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以各所述波长选择单元的透射波段内的波长分别优先进行振荡。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置还具有多个旋转机构，该多个旋转机构使各所述波长选择单元分别旋转，以使得各所述光源元件的激光器以期望波长优先进行振荡。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，各所述光源元件是多模激光器。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述激光装置还具有光纤以及使由所述波长合波单元合波后的各所述激光与所述光纤光学耦合的透镜。本专利技术的一个方式的激光装置的特征在于，所述光纤是多模光纤。本专利技术的一个方式的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光装置，其特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出激光；波长选择单元，其配置在各所述激光的光路上，选择性地使规定波段的光透射；以及部分透射反射体，其配置成被输入透射过所述波长选择单元的光，且将所输入的所述光中的一部分朝向所述波长选择单元反射，使其余部分透射，所述波长选择单元选择性地使从各所述光源元件输出的各激光的一部分透射，所述部分透射反射体反射所透射的各所述激光的一部分，所述波长选择单元使所反射的各所述激光的一部分透射，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以所述波长选择单元的透射波段内的波长优先进行振荡。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.03 US 62/290,6711.一种激光装置，其特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出激光；波长选择单元，其配置在各所述激光的光路上，选择性地使规定波段的光透射；以及部分透射反射体，其配置成被输入透射过所述波长选择单元的光，且将所输入的所述光中的一部分朝向所述波长选择单元反射，使其余部分透射，所述波长选择单元选择性地使从各所述光源元件输出的各激光的一部分透射，所述部分透射反射体反射所透射的各所述激光的一部分，所述波长选择单元使所反射的各所述激光的一部分透射，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以所述波长选择单元的透射波段内的波长优先进行振荡。2.一种激光装置，其特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出激光；部分分支体，其配置成被输入各所述激光，且将所输入的所述激光中的一部分朝向相对于各所述激光的行进方向呈角度的方向反射并进行分支，使其余部分透射；波长选择单元，其配置在所述反射并进行分支后的各所述激光的其余部分的光路上，选择性地使规定波段的光透射；以及反射体，其配置成被输入透射过所述波长选择单元的光，将所输入的所述光朝向所述波长选择单元反射，所述部分分支体对从各所述光源元件输出的各激光的一部分进行分支，所述波长选择单元选择性地使分支后的各所述激光的一部分透射，所述反射体将所透射的各所述激光的一部分朝向所述波长选择单元反射，所述波长选择单元选择性地使所反射的各所述激光的一部分透射，所述部分分支体反射所透射的各所述激光的一部分，使其返回到输出了各激光的各所述光源元件，由此，各所述光源元件以所述波长选择单元的透射波段内的波长优先进行振荡。3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述激光装置还具有旋转机构，该旋转机构使所述波长选择单元旋转，以使得各所述光源元件以期望波长优先进行振荡。4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光装置，其特征在于，各所述光源元件是多模激光器。5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光装置，其特征在于，各所述光源元件是半导体激光元件。6.根据权利要求1至5中任一项所述的激光装置，其特征在于，所述波长选择单元由带通滤波器构成。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光装置，其特征在于，所述波长选择单元通过组合长波长通过滤波器和短波长通过滤波器来构成。8.根据权利要求1至7中任一项所述的激光装置，其特征在于，所述激光装置还具有对各所述激光进行准直的准直透镜。9.根据权利要求8所述的激光装置，其特征在于，所述激光装置还具有光纤以及使各所述激光与所述光纤光学耦合的会聚透镜。10.根据权利要求9所述的激光装置，其特征在于，所述光纤是多模光纤。11.一种激光装置，其特征在于，所述激光装置具有：多个光源元件，它们分别输出波长相互不同的激光；多个波长选择单元，它们配置在各所述激光各自的光路上，分别选择性地使规定波段的光透射；多个部分透射反射体，它们分别配置成被输入透射过各所述波长选择单元的光，且将所输入的各所述光中的一部分朝向各所述波...

【专利技术属性】
技术研发人员：小栗淳司，片山悦治，石毛悠太，木村俊雄，大木泰，森肇，
申请(专利权)人：古河电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP