用于产生大气压等离子体的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于产生大气压等离子体的装置(11)，其具有压电变压器(1)，该压电变压器具有入口区域(2)和出口区域(3)，其中，入口区域(2)被设计用于将所施加的交流电压变换成机械振动，其中，出口区域(3)被设计用于将机械振动变换成电压，且其中，出口区域(3)在纵向方向(z)上联接到入口区域(2)处；具有接触元件(13,14)，其被固定在压电变压器(1)处且其被设计用于将交流电压施加到入口区域(2)处；且具有支架(17)，其中，接触元件(13,14)通过形状配合的连接如此地与支架(17)相连接，使得压电变压器(1)在纵向方向(z)上相对于支架(17)的运动被阻止。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于产生大气压等离子体的装置
本专利技术涉及一种用于产生大气压等离子体(Atmosphärendruck-Plasma)的装置。在此其是一种非热等离子体(nicht-thermischesPlasma)。
技术介绍
该装置尤其具有压电变压器(piezoelektrischenTransformator)，其产生可被用于过程气体(Prozessgas)的电离的输出电压。该装置应避免压电变压器尤其在纵向方向上相对于该装置的支架的运动。同时，支架然而不应如此地损害压电变压器，使得变压器的振动被抑制，因为由此等离子体产生(Plasmaerzeugung)的效率降低。
技术实现思路
因此本专利技术的任务是说明一种尽可能好地满足这些彼此最初对立的要求的装置。该任务通过一种根据该权利要求1的装置来解决。提出了一种用于产生大气压等离子体的装置，其具有压电变压器、接触元件和支架。压电变压器具有入口区域和出口区域，其中，入口区域被设计用于将所施加的交流电压(Wechselspannung)变换成机械振动，其中，出口区域被设计用于将机械振动变换成电压，且其中，出口区域在纵向方向上联接到入口区域处。接触元件被固定在压电变压器处且被设计用于将交流电压施加到入口区域处。此外，接触元件通过形状配合的连接如此地与支架相连接，使得压电变压器在纵向方向上相对于支架的运动被阻止。作为“形状配合的连接”可表示至少两个连接配对物(Verbindungspartner)的连接，其通过至少两个连接配对物的彼此接合形成。在此，连接配对物同样在不带有中断的力传递的情形中或在中断的力传递的情形中不可彼此松脱。换而言之，在形状配合的连接的情形中，连接配对物的运动通过另一连接配对物在至少一个方向上被禁止。在工作负载(Betriebsbelastung)的情形中，压力法向地、也就是说直角地相对连接配对物的面起作用。在该情况中，接触元件和支架形成形状配合的连接的连接配对物，其中，通过支架的造型，接触元件在纵向方向上的运动被禁止。压电变压器在纵向方向上的运动不通过以下方式被阻止，即，该支架直接与压电变压器相连接，而是通过以下方式，即，支架与接触元件相连接，该接触元件又被固定在变压器处。由此创造了一种装置，在其中接触元件与压电变压器的机械固定仅经受较少的机械负载。因此，在其处接触元件被焊接到外部电极处的焊点(Lötstelle)的寿命可例如被显著延长。此外，支架以该方式不抑制压电变压器在纵向方向上的振动，因为支架不直接作用到压电变压器上。与之相应地，等离子体可以以高效率来产生。形状配合的连接可尤其抗冲击，从而例如同样地该装置的下落(Herunterfallen)不引起压电变压器相对于支架的纵向方向运动。因此，支架可同时用于多个目的。通过其与接触元件的形状配合的连接，其可将压电变压器固定在其纵向方向位置中。同时其如此地设计，以至于其不或至少仅最小地抑制压电变压器的振动，因为经由与接触元件的形状配合的固定不显著影响变压器的这些振动。此外，支架可充当变压器的机械保护，例如防冲击。支架可具有两个突出部(Vorsprung)，其中，接触元件在纵向方向上在两侧紧邻地贴靠在两个突出部中的各一个处。与之相应地，接触元件可形状配合地包夹在两个突出部之间。备选地或补充地，支架可具有呈缝口状的凹口(Ausnehmung)，在其中布置有接触元件且接触元件通过其由支架的内部从支架中引出。同样，通过接触元件在支架的呈缝口状的凹口中的布置可创造在接触元件与支架之间的形状配合的连接。呈缝口状的凹口可在纵向方向上延伸。在垂直于纵向方向的空间方向上，呈缝口状的凹口可具有明显小于在纵向方向上的伸展。备选地或补充地，接触元件可具有两个线材(Draht)，其中，支架具有开口，其直径与线材的直径相符，其中，两个线材中的每个伸延穿过在支架中的各两个开口且由此形状配合地与支架相连接。开口的直径可尤其仅略大于线材的直径，从而在线材布置在开口中的情形中得出形状配合。接触元件可通过不可松脱的固定被固定在压电变压器处。在此，作为不可松脱的固定可表示所有在在此不损毁或至少不损坏彼此固定的元件中的至少一个的情形中不可松脱的固定。接触元件在压电变压器处的这样的不可松脱的固定可例如通过焊接、粘结(Bonden)、粘贴(Kleben)或微银烧结(Mikrosilber-Sintern)制成。在微银烧结的情形中，一种膏(Paste)被施覆在接触元件与变压器之间且紧接着接触元件和变压器被彼此烧结。在烧结过程的情形中，由膏形成如下层，其至少95质量百分比由银构成且其将接触元件和压电变压器机械地彼此连接。支架可具有至少两个支撑元件，在其上安放有压电变压器且其阻止压电变压器到垂直于纵向方向的方向上的运动。在此，其是压电变压器相对于支架的运动。尤其地，支架可具有由两个支撑元件构成的第一对和由两个支撑元件构成的第二对，其中，第一对阻止变压器相对于支架到垂直于纵向方向的第一方向上的运动且第二对阻止变压器相对于支架到第二方向上的运动，该第二方向垂直于纵向方向且垂直于第一方向。支撑元件可与之相应地阻止压电变压器在垂直于纵向方向的方向上的运动，而在此接触元件在压电变压器处的固定、例如焊点不被机械加载。这样的垂直于纵向方向的运动可例如由于冲击被触发。变压器可安放在支撑元件上，从而支撑元件不施加永久的夹紧作用到变压器上，而是只有当该变压器否则相对于支架垂直于纵向方向将移动时，那么才施加力到变压器上。通过在支撑元件上的安放，变压器因此可防止如下，即，在垂直于纵向方向的方向上移动。通过支撑元件不施加永久的力到变压器上，如下可被确保，即，支撑元件不抑制变压器在纵向方向上的振动。支撑元件可具有在朝向压电变压器的方向上呈楔形变尖的形状且几乎呈直线状地贴靠在压电变压器处。与之相应地，支撑元件仅以最小的面贴靠在压电变压器处。以该方式，变压器的振动通过支撑元件的抑制还可被进一步减少。支撑元件可如此地布置，使得其在压电变压器处在纵向方向上贴靠在与压电变压器的长度的四分之一或四分之三相符的位置处。在这些位置处，在压电变压器以其共振频率或者以共振频率的谐振(harmonischeOberschwingung，有时也称为谐波)运行的情形中可构造振动波节(Schwingungsknoten)。与之相应地，压电变压器在装置运行的情形中在这些位置处仅最小地移动。支撑元件在这些位置处的布置同样可有助于如下，即，支撑元件不显著抑制压电变压器的振动。支架可由主要弹性变形的材料构成。通过主要弹性变形可尤其得出高的品质因素(Gütefaktor)。该材料尤其可以是硬的材料。尤其地，支撑元件可由主要弹性变形的材料构成。由橡胶或另一弹性变形材料构成的支架引起压电变压器的振动的抑制。通过使用主要弹性变形的材料可确保，从而变压器的振动不可被机械传递到支架上且与之相应地不可被抑制。该材料可例如是聚对苯二甲酸丁二酯(Polybutylenterephthalat)(PBT)、聚四氟乙烯(Polytetrafluorethylen)(PTFE)或聚酰胺(Polyamid)，其此外可具有玻璃纤维成分。支架可具有两个彼此相连接的半壳。在此，压电变压器或者接触元件的固定可通过两个半壳的连接来生成。两个半壳可彼此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于产生大气压等离子体的装置(11)，具有‑ 压电变压器(1)，其具有入口区域(2)和出口区域(3)，其中，所述入口区域(2)被设计用于将所施加的交流电压变换成机械振动，其中，所述出口区域(3)被设计用于将机械振动变换成电压，且其中，所述出口区域(3)在纵向方向(z)上联接到所述入口区域(2)处，‑ 接触元件(13,14)，其被固定在所述压电变压器(1)处且其被设计用于将交流电压施加到所述入口区域(2)处，和‑ 支架(17)，其中，所述接触元件(13,14)通过形状配合的连接如此地与所述支架(17)相连接，使得所述压电变压器(1)在纵向方向(z)上相对于所述支架(17)的运动被阻止。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.15 DE 102016102585.21.一种用于产生大气压等离子体的装置(11)，具有-压电变压器(1)，其具有入口区域(2)和出口区域(3)，其中，所述入口区域(2)被设计用于将所施加的交流电压变换成机械振动，其中，所述出口区域(3)被设计用于将机械振动变换成电压，且其中，所述出口区域(3)在纵向方向(z)上联接到所述入口区域(2)处，-接触元件(13,14)，其被固定在所述压电变压器(1)处且其被设计用于将交流电压施加到所述入口区域(2)处，和-支架(17)，其中，所述接触元件(13,14)通过形状配合的连接如此地与所述支架(17)相连接，使得所述压电变压器(1)在纵向方向(z)上相对于所述支架(17)的运动被阻止。2.根据前述权利要求所述的装置(11)，其特征在于，所述支架(17)具有两个突出部(24)，其中，所述接触元件(13,14)在纵向方向(z)上在两侧紧邻地贴靠在所述两个突出部(24)中的各一个处。3.根据前述权利要求中任一项所述的装置(11)，其特征在于，所述支架(17)具有呈缝口状的凹口(26)，在该呈缝口状的凹口(26)中布置有所述接触元件(13,14)且所述接触元件(13,14)通过该呈缝口状的凹口(26)由所述支架(17)的内部从所述支架(17)中引出。4.根据前述权利要求中任一项所述的装置(11)，其特征在于，所述接触元件(13,14)具有两个线材(27)，其中，所述支架(17)具有开口(28)，其直径与所述线材(27)的直径相符，其中，所述两个线材(27)中的每个伸延穿过在所述支架(17)中的各两个开口(28)且由此形状配合地与所述支架(17)相连接。5.根据前述权利要求中任一项所述的装置(11)，其特征在于，所述接触元件(13,14)通过不可松脱的固定被固定在所述压电变压器(1)处。6.根据前述权利要求中任一项所述的装置(11)，其特征在于，所述支架(17)具有至少两个支撑元件(22,23)，在该至少两个支撑元件(22,23)上安放有所述压电变压器(1)且该至少两个支撑元件(22,23)阻止所述压电变压器(1)到垂直于所述纵向方向(z)的方向(x,y)上的运动。7.根据前述权利要求所述的装置(11)，其特征在于，所述支撑元件(22,23)具有在朝向所述压电变压器(1)的方向上呈楔形变尖的形状且几乎呈直线状地贴靠在所述压电变压器(1)处。8.根据权利要求6或7中任一项所述的装置(11)，其特征在于，所述支撑元件(22,23)如此地布置，使得所述支撑元件(22,23)在...

【专利技术属性】
技术研发人员：P库德拉，F林纳，M普夫，
申请(专利权)人：埃普科斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE