一种化学气相沉积炉气体预热装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于碳/碳复合材料化学气相沉积技术领域，涉及一种化学气相沉积炉的气体预热装置。本发明专利技术由底座、底板、换热底座、换热段、顶筒、顶盖六部分组成。本发明专利技术预热充分，不占用有效装料空间的预热装置，可以大大提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉气体预热装置
本专利技术属于碳/碳复合材料化学气相沉积
，涉及一种化学气相沉积炉气体预热装置。
技术介绍
碳/碳复合材料在化学气相沉积过程中一般要进行碳源气预热，以提高，化学气相沉积过程的致密化效率和产品质量。目前碳碳复合材料化学气相沉积过程所用预热装置主要有两种，单筒式预热装置和层板式预热装置。筒式预热装置为单个光壁石墨筒形结构，放置于炉膛碳源气进气口之上，通过金属进气管将碳源气导入预热器顶部，碳源气由预热器顶部向下流动，碳源气在预热器内部流动过程中预热器进行热交换升温，之后由预热器底部流出，完成预热。该装置沉积气体在预热器内仅进行一个循环的流通，换热距离较短，导致换热时间不足；石墨筒内外壁均为光壁结构，自身吸收热量有限，且与碳源气换热面积小，所以换热不充分，不能实现有效气体预热。影响产品的化学气相沉积效率和质量。层板式化学气相沉积预热器放置于炉膛内底部进气口之上，工件放置在预热器上，预热装置为石墨筛板组合结构。其通过分布在筛板内圆的筛孔对气体进行混合使气体吸收筛板的热量，然后进入其上筛板外缘的网孔继续进行气体混合换热，再进入内圆设计筛孔的筛板进行混合换热。如此反复进行5-7个循环后，实现碳源气的充分预热。该预热装置碳源气在换热器内流通距离长，经过筛孔的多次混合与预热器接触面积大，因此换热充分。可有效对碳源气预热。但由于预热器通过吸收炉膛底部热量实现对碳源气预热，占用了大量有效装料空间，降低了生产效率。
技术实现思路
本专利技术针对现预热器存在的预热不充分，影响沉积效率问题，以及预热器占用有效装料空间问题，进行改进，设计一种预热充分，不占用有效装料空间的预热装置，从而提高生产效率。本专利技术的总体思路是：由于碳盘CVI过程中，工件毛坯为环带型，工件叠放后形成中空结构，我们利用工件叠放后形成的中空结构在其内设置预热装置。吸收炉膛中部热量对碳源气进行预热，同时将炉膛中部的高温导入炉膛底部，均衡炉膛内的温度分布，以提高碳盘沉积质量和效率。本专利技术的技术方案是：一种化学气相沉积炉气体预热装置，由底座1、底板2、换热底座3、换热段4、顶筒5、顶盖6六部分组成；所述底座1放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板2装配并实现两者之间的内腔密封；所述底板2用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座1之上，与底座1之间形成碳源气通路；其上设计有若干个换热器底座安装孔2Ⅰ，用于在其上安装换热段4；所述换热底座3安装于底板2的换热底座安装孔2Ⅰ上，通过与底板2的配合使碳源气从换热底座3内蜂窝孔4Ⅱ进入换热底座3；所述换热段4为一个或若干个换热体连接组成；与换热底座3通过台阶孔装配形成相互封闭的内环腔7和外环腔8，内环腔7对应的蜂窝孔气流向上流动，外环腔8对应的蜂窝孔气流向下流动；内环腔7和外环腔8的设计使换热体之间或换热段4与换热底座3之间只需保证轴向对正装配即可确保各部件蜂窝孔上下连通；所述顶筒5通过其外圆的台阶装配于换热段4之上；所述顶盖6通过外圆台阶装配于顶筒5上，顶盖6和顶筒5组合将预热气体封闭在换热装置内部；顶筒5和顶盖6组合形成的封闭腔体使上升气流折向下进入外环腔8；消除了气流冲击导致的顶盖6移位问题。本专利技术的有益效果是：1、该预热装置由于将主要换热部分设置在工件环带内部，不挤占有效装料空间，因此炉膛空间利用率高。2、该预热装置的外表面沟槽型表面结构。可以充分吸收炉内热量，增强预热效率。3、采用组合式结构设计。在保证充分预热的条件下方便初装料。4、采用蜂窝孔换热结构设计，可以充分提高气体与换热器的接触面积，实现充分预热。5、预热器高度可调，可根据预热器体的流量大小和预热面积需求进行适度增减。6、采用内环外环隔离设计。可以实现预热气体流向的定向流动。7、预热段之间设计由混气室，预热器安装的便利性。不需每个蜂窝孔逐一对应。8、底板的导流筋条设计，提升预热气体在料板内的流通距离。可以实现气体在层板内腔的充分混合和预热。附图说明图1为化学气相沉积炉气体预热装置结构示意图图2为换热体装配的局部视图；其中，1-底座、1Ⅰ-导流筋条、2-底板、2Ⅰ-换热底座安装孔、3-换热底座、4-换热段、4Ⅰ-换热体沟槽、4Ⅱ-内蜂窝孔、4Ⅲ-外蜂窝孔、5-顶筒、6-顶盖、6Ⅰ-缓冲锥、7-内环腔、8-外环腔、9-工件、10-垫环、11-碳源气流向。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。参见图1，本专利技术一种化学气相沉积炉气体预热装置，由底座1、底板2、换热底座3、换热段4、顶筒5、顶盖6六部分组成；底座1放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其上中部设有导流筋条1Ⅰ用于延长碳源气在其上流动距离，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板2装配并实现两者之间的内腔密封。底板2用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座1之上，与底座1之间形成碳源气通路。其上设计有若干个换热器底座安装孔2Ⅰ，用于在其上安装换热段4。换热底座3安装于底板2的换热底座安装孔2Ⅰ上，通过与底板2的配合使碳源气从换热底座3内蜂窝孔4Ⅱ进入换热底座3。换热底座3外设计有密集换热体沟槽4Ⅰ以增加吸热面积，其内密集的内蜂窝孔4Ⅱ实现与碳源气的充分接触和换热。参见图2，换热段4为一个或若干个换热体连接组成。与换热底座3通过台阶孔装配形成相互封闭的内环腔7和外环腔8，内环腔7对应的蜂窝孔气流向上流动，外环腔8对应的蜂窝孔气流向下流动。内环腔7和外环腔8的设计使换热体之间或换热段4与换热底座3之间只需保证轴向对正装配即可确保各部件蜂窝孔上下连通。顶筒5通过其外圆的台阶装配于换热段4之上。顶盖6通过外圆台阶装配于顶筒5上，顶盖6和顶筒5组合将预热气体封闭在换热装置内部。顶盖6上设有若干锥形突起缓冲锥6Ⅰ并伸入顶筒5内腔，用于增加顶盖重量，避免气流冲击过大将顶盖6吹掉或移位失效问题，锥形突起缓冲锥6Ⅰ可起到缓冲上升气流的功能，顶筒5和顶盖6组合形成的封闭腔体使上升气流折向下进入外环腔8，消除了气流冲击导致的顶盖6移位问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述装置由底座(1)、底板(2)、换热底座(3)、顶筒(5)、顶盖(6)、换热段(4)六部分组成；所述底座(1)放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板(2)装配并实现两者之间的内腔密封；所述底板(2)用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座(1)之上，与底座(1)之间形成碳源气通路；其上设计有若干个换热器底座安装孔(2Ⅰ)，用于在其上安装换热段(4)；所述换热底座(3)安装于底板(2)的换热底座安装孔(2Ⅰ)上，通过与底板(2)的配合使碳源气从换热底座(3)内蜂窝孔(4Ⅱ)进入换热底座(3)；所述换热段(4)为一个或若干个换热体连接组成；与换热底座(3)通过台阶孔装配形成相互封闭的内环腔(7)和外环腔(8)，内环腔(7)对应的蜂窝孔气流向上流动，外环腔(8)对应的蜂窝孔气流向下流动；内环腔(7)和外环腔(8)的设计使换热体之间或换热段(4)与换热底座(3)之间只需保证轴向对正装配即可确保各部件蜂窝孔上下连通；所述顶筒(5)通过其外圆的台阶装配于换热段(4)之上；所述顶盖(6)通过外圆台阶装配于顶筒(5)上，顶盖(6)和顶筒(5)组合将预热气体封闭在换热装置内部；顶筒(5)和顶盖(6)组合形成的封闭腔体使上升气流折向下进入外环腔(8)；消除了气流冲击导致的顶盖(6)移位问题。...

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述装置由底座(1)、底板(2)、换热底座(3)、顶筒(5)、顶盖(6)、换热段(4)六部分组成；所述底座(1)放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板(2)装配并实现两者之间的内腔密封；所述底板(2)用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座(1)之上，与底座(1)之间形成碳源气通路；其上设计有若干个换热器底座安装孔(2Ⅰ)，用于在其上安装换热段(4)；所述换热底座(3)安装于底板(2)的换热底座安装孔(2Ⅰ)上，通过与底板(2)的配合使碳源气从换热底座(3)内蜂窝孔(4Ⅱ)进入换热底座(3)；所述换热段(4)为一个或若干个换热体连接组成；与换热底座(3)通过台阶孔装配形成相互封闭的内环腔(7)和外环腔(8)，内环腔(7)对应的蜂窝孔气流向上流动，外环腔(8)对应的蜂窝孔气流向下流动；内环腔(7)和外环腔(8)的设计使换热体之间或换热段(4)与换热底座(3)之间只需保证轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢杰，陈涛，韩文静，任飒，
申请(专利权)人：西安航空制动科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61