极紫外线光罩护膜结构体及其制造方法技术

本发明专利技术可提供极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，上述极紫外线光罩护膜结构体的制造方法包括：准备光罩护膜薄膜的步骤，上述光罩护膜薄膜包括由多个极紫外线(EUV，Extreme Ultraviolet)透射层及散热层交替层叠而成的中间膜结构体(intermediate layer structure)、上述中间膜结构体的上部面上的上述第一薄膜以及配置于上述中间膜结构体的下部面且具有低于上述第一薄膜的热辐射率的第二薄膜；以及在上述光罩护膜薄膜的上述散热层所露出的边缘侧面(sidewall)上配置从上述光罩护膜薄膜吸收热量的冷却结构体的步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】极紫外线光罩护膜结构体及其制造方法
本专利技术涉及极紫外线(EUV)光罩护膜(pellicle)结构体及其制造方法，更详细地，涉及包括由具有优秀的散热、耐化学性或韧性强度的多个薄膜构成的光罩护膜薄膜以及从光罩护膜薄膜吸收热量及释放热量的冷却结构体的极紫外线光罩护膜结构体及其制造方法。
技术介绍
随着半导体设备的电路线宽急速变得微细化，通过目前使用的193nm波长范围的光源的液浸ArF光刻设备形成微细图案时具有限制。为了不改善光源及光刻设备地形成微细图案，适用了双重光刻或四重光刻等的技术，但是，这将在重视大量生产的半导体设备制造过程中导致如工序次数增加、工序价格增加、每小时处理的数量减少等的问题。为了解决如上所述的问题，正在研发适用将13.5nm波长的极紫外线用作光源的极紫外线光刻技术的新一代光刻设备。在极紫外线光刻技术中使用的13.5nm波长的光几乎在所有物质被吸收，因此使用如镜子的反射型分划板，而不使用以往的透射型分划板。若在这种分划板附着有灰尘或异物等不纯物，则由于这种不纯物，光被吸收或反射，因此产生转印的图案受损而导致降低半导体装置或液晶显示板等的性能或收益率的问题。因此，为了防止不纯物附着于分划板的表面，执行在分划板的表面附着光罩护膜(pellicle)的方法。因此，正在积极研发与对于极紫外线具有高透射率及薄厚度特性的光罩护膜。例如，在韩国专利授权公报KR1552940B1(申请号：KR20130157275A，申请人：三星电子株式会社)中公开了作为极紫外线光刻用光罩护膜薄膜制造具有高极紫外线透射率和强拉伸强度的含有石墨的薄膜的方法。目前，为了提高半导体制造工序的工序效率，持续研究将高输出光源适用于极紫外线光刻设备的研究。在使用高输出光源的情况下，光罩护膜薄膜的温度急速增加，因此，产生光罩护膜薄膜被弯曲的现象(Bowing)，从而导致妨碍图案形状或光罩护膜薄膜受损的问题。因此，需要研究可以解决光罩护膜薄膜的温度增加引起的光罩护膜薄膜的热变形问题的方法。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题本专利技术所要实现的一技术目的在于，提供散热效率得到提高的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法。本专利技术所要实现的再一技术目的在于，提供与极紫外线有关的透射率得到提高的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法。本专利技术所要实现的另一技术目的在于，提供工序时间及费用减少的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法。本专利技术所要实现的还有一技术目的在于，提供容易量产极紫外线用罩或分划板的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法。本专利技术所要实现的又一技术目的在于，提供容易全尺寸(full-size)制造的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法。本专利技术所要实现的技术目的并不限定于上述内容。技术方案为了解决如上所述的技术问题，本专利技术提供极紫外线光罩护膜结构体的制造方法。根据一实施例，上述极紫外线光罩护膜结构体的制造方法可包括：准备光罩护膜薄膜的步骤，上述光罩护膜薄膜包括由多个极紫外线(EUV，ExtremeUltraviolet)透射层及散热层交替层叠而成的中间膜结构体(intermediatelayerstructure)、上述中间膜结构体的上部面上的第一薄膜以及配置于上述中间膜结构体的下部面且具有低于上述第一薄膜的热辐射率的第二薄膜；以及在上述光罩护膜薄膜的上述散热层所露出的边缘侧面(sidewall)上配置从上述光罩护膜薄膜吸收热量的冷却结构体的步骤。根据一实施例，上述冷却结构体包括：第一部分及第二部分，沿着第一方向以相向的方式延伸；以及第三部分及第四部分，沿着与上述第一方向交叉的第二方向以相向的方式延伸，上述第一部分至第四部分以一体(onebody)化的方式构成，在配置上述冷却结构体的步骤中，向一体化的上述冷却结构体的内侧插入上述光罩护膜薄膜。根据一实施例，上述冷却结构体还包括朝向被上述第一部分至第四部分包围的内部突出的收容部，在配置上述冷却结构体的步骤中，可包括为了使上述第二薄膜与上述收容部相邻，在上述冷却结构体的上述收容部上配置上述光罩护膜薄膜，使得向上述冷却结构体的内侧插入上述光罩护膜薄膜。根据一实施例，上述冷却结构体包括：第一片段及第二片段(segment)，沿着第一方向以相向的方式延伸；以及第三片段及第四片段，沿着与上述第一方向交叉的第二方向以相向的方式延伸，在配置上述冷却结构体的步骤中，可包括独立地将上述第一片段至第四片段附着于上述光罩护膜薄膜。根据一实施例，上述冷却结构体还包括朝向被上述第一片段至第四片段包围的内部突出的收容部，在配置上述冷却结构体的步骤中，可包括为了使上述第二薄膜与上述收容部相邻，在上述冷却结构体的上述收容部上配置上述光罩护膜薄膜，使得向上述冷却结构体的内侧插入形成有上述第一薄膜及第二薄膜的上述光罩护膜薄膜。根据一实施例，上述散热层将从上述极紫外线透射层吸收的热量向上述冷却结构体传递，上述冷却结构体可包括将从上述极紫外线透射层及上述散热层吸收的热量向外部释放。根据一实施例，上述第一薄膜还可以包括将从上述极紫外线透射层吸收的热量向外部辐射释放。根据一实施例，上述极紫外线光罩护膜结构体的制造方法在配置上述冷却结构体之前还可包括：准备光罩护膜框架的步骤；以及将上述光罩护膜框架附着于上述光罩护膜薄膜的上述第二薄膜上的步骤。根据一实施例，上述冷却结构体可包括覆盖上述第一薄膜、上述第二薄膜及覆盖上述光罩护膜框架的外部面。为了实现如上所述的技术目的，本专利技术提供极紫外线光罩护膜结构体。根据一实施例，上述极紫外线光罩护膜结构体可包括：中间膜结构体，由多个极紫外线透射层及散热层交替层叠而成；第一薄膜，附着于上述中间膜结构体的上部面；第二薄膜，附着于上述中间膜结构体的下部面，具有低于上述第一薄膜的辐射率；以及冷却结构体，通过配置于上述光罩护膜薄膜的上述散热层所露出的边缘侧面来包围上述光罩护膜薄膜并从上述光罩护膜薄膜吸收热量。根据一实施例，上述冷却结构体可包括通过与上述光罩护膜薄膜的上述散热层直接接触(directlycontact)来从上述散热层接收热量的内部面及向外部释放热量的外部面。根据一实施例，上述冷却结构体的外部面可呈突出的图案形状。根据一实施例，上述冷却结构体还包括朝向配置有上述光罩护膜薄膜的上述冷却结构体的内部突出的收容部，可包括上述光罩护膜薄膜的上述第二薄膜配置于上述收容部上，使得上述第二薄膜与上述收容部相邻。根据一实施例，上述极紫外线光罩护膜结构体还可包括支撑上述光罩护膜薄膜并被上述冷却结构体包围的光罩护膜框架。有益效果根据本专利技术的实施例，可提供一种极紫外线光罩护膜结构体及其制造方法，上述极紫外线光罩护膜结构体及其制造方法包括：准备光罩护膜薄膜的步骤，上述光罩护膜薄膜包括由多个极紫外线透射层及散热层交替层叠而成的中间膜结构体、上述中间膜结构体的上部面上的第一薄膜，配置于上述中间膜结构体的下部面且具有低于上述第一薄膜的热辐射率的第二薄膜；以及在上述光罩护膜薄膜的上述散热层所露出的边缘侧面上配置从上述光罩护膜薄膜吸收热量的冷却结构体的步骤。首先，提供如下的上述光罩护膜薄膜的制造方法：在作为上述光罩护膜薄膜的上述中间膜结构体使用包括消光系数低的物质的上述极紫外线透射层的情况下，对于极紫外线的上述极紫外线透射层的吸收率小，因此，即使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，其特征在于，包括：准备光罩护膜薄膜的步骤，上述光罩护膜薄膜包括由多个极紫外线透射层及散热层交替层叠而成的中间膜结构体、上述中间膜结构体的上部面上的第一薄膜以及配置于上述中间膜结构体的下部面且具有低于上述第一薄膜的热辐射率的第二薄膜；以及在上述光罩护膜薄膜的上述散热层所露出的边缘侧面上配置从上述光罩护膜薄膜吸收热量的冷却结构体的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.26 KR 10-2016-00092851.一种极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，其特征在于，包括：准备光罩护膜薄膜的步骤，上述光罩护膜薄膜包括由多个极紫外线透射层及散热层交替层叠而成的中间膜结构体、上述中间膜结构体的上部面上的第一薄膜以及配置于上述中间膜结构体的下部面且具有低于上述第一薄膜的热辐射率的第二薄膜；以及在上述光罩护膜薄膜的上述散热层所露出的边缘侧面上配置从上述光罩护膜薄膜吸收热量的冷却结构体的步骤。2.根据权利要求1所述的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，其特征在于，上述冷却结构体包括：第一部分及第二部分，沿着第一方向以相向的方式延伸；以及第三部分及第四部分，沿着与上述第一方向交叉的第二方向以相向的方式延伸，上述第一部分至第四部分以一体化的方式构成，配置上述冷却结构体的步骤中，向一体化的上述冷却结构体的内侧插入上述光罩护膜薄膜。3.根据权利要求2所述的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，其特征在于，上述冷却结构体还包括向被上述第一部分至第四部分包围的内部突出的收容部，在配置上述冷却结构体的步骤中，为了使上述第二薄膜与上述收容部相邻，在上述冷却结构体的上述收容部上配置上述光罩护膜薄膜，使得向上述冷却结构体的内侧插入上述光罩护膜薄膜。4.根据权利要求1所述的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，其特征在于，上述冷却结构体包括：第一片段及第二片段，沿着第一方向以相向的方式延伸；以及第三片段及第四片段，沿着与上述第一方向交叉的第二方向以相向的方式延伸，在配置上述冷却结构体的步骤中，独立地将上述第一片段至第四片段附着于上述光罩护膜薄膜。5.根据权利要求4所述的极紫外线光罩护膜结构体的制造方法，其特征在于，上述冷却结构体还包括向被上述第一片段至第四片段包围的内部突出的收容部，在配置上述冷却结构体的步骤中，为了使上述第二薄膜与上述收容部相邻，在上述冷却结构体的上述收容部上配置上述光罩护膜薄膜，使得向上述冷却结构体的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：安镇浩，金廷桓，金正植，禹东坤，张镛铸，
申请(专利权)人：汉阳大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：韩国,KR