蒸镀掩模制造技术

本实用新型专利技术提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模
本公开的实施方式涉及蒸镀掩模。
技术介绍
近年，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，即使对于可移动设备，应对超全高清的需要也在不断高涨，这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。在显示装置中，由于响应性良好、能耗低且对比度高，有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知这样的方法：使用形成有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所希望的图案形成像素。具体来说，首先，使蒸镀掩模紧密贴合于有机EL显示装置用的基板，接着，将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起放入蒸镀装置中，执行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。由此，能够以与蒸镀掩模的贯通孔的图案相对应的图案在基板上形成含有有机材料的像素。在蒸镀工序中，蒸镀掩模例如如专利文献1所公开的那样被固定于具有规定的刚性的框架上。例如，在蒸镀掩模具有包含一对长边和一对短边的矩形形状的情况下，蒸镀掩模以在长边的方向上被拉伸的状态固定于框架上。由此，能够抑制蒸镀掩模挠曲，提高像素的尺寸精度和位置精度。专利文献1：日本特许第5382259号公报作为决定在基板上形成的像素的位置精度的重要因素，可以列举出蒸镀掩模相对于基板或框架的对位精度。作为对位时的蒸镀掩模的基准位置，例如利用蒸镀掩模的外形的轮廓。对于蒸镀掩模的轮廓的位置，例如通过使用照相机等对蒸镀掩模进行摄影来检测出来。在根据利用照相机等所拍摄的图像来检测蒸镀掩模的轮廓位置的工序中，优选在图像中明确地显示出蒸镀掩模的区域与其它区域的边界。可是，若在限定蒸镀掩模的轮廓的部分中发生光的散射，则会导致蒸镀掩模的区域与其它区域的边界在图像中变得模糊。
技术实现思路
本公开的实施方式的目的在于提供一种能够有效地解决这样的课题的蒸镀掩模。本公开的第1实施方式是蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其中，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述贯通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔连接部靠所述第1面侧的位置。可以是，所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。或者也可以是，所述第1端部位于比所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部靠外侧的位置，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。本公开的第2实施方式是蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其中，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。在本公开的实施方式的蒸镀掩模中，可以是，所述第1面和所述长侧面相连接的位于与所述第1面相同的平面上的第1连接部、与所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部之间的在所述第1面的面方向上的距离为3.5μm以下。在本公开的第1和第2实施方式的蒸镀掩模中，可以是，所述第1部分位于比通过所述第1端部和所述第2端部的假想的平面或直线靠内侧的位置。在本公开的第1和第2实施方式的蒸镀掩模中，所述蒸镀掩模的厚度可以是50μm以下。在本公开的第1和第2实施方式的蒸镀掩模中，可以是，所述第2端部与所述第2面和所述长侧面相连接的第2连接部一致，所述第2连接部位于与所述第2面相同的平面上。根据本公开的实施方式，能够高精度地检测出蒸镀掩模的轮廓。附图说明图1是示出具备本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。图2是示出使用图1所示的蒸镀掩模装置制造出的有机EL显示装置的剖视图。图3是示出本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的俯视图。图4是示出蒸镀掩模的立体图。图5是示出图3所示的蒸镀掩模的有效区域的部分俯视图。图6是沿图5的VI-VI线的剖视图。图7是沿图5的VII-VII线的剖视图。图8是沿图5的VIII-VIII线的剖视图。图9是将图5所示的贯通孔及其附近的区域放大并示出的剖视图。图10是沿图4的X-X线的剖视图。图11是示出从第1面侧观察蒸镀掩模的情况的俯视图。图12是示出从第2面侧观察蒸镀掩模的情况的俯视图。图13是用于在整体上说明蒸镀掩模的制造方法的一例的示意图。图14是示出在金属板上形成抗蚀剂膜的工序的图。图15是示出使曝光掩模紧密贴合于抗蚀剂膜的工序的图。图16是示出使抗蚀剂膜显影的工序的图。图17是示出第1面蚀刻工序的图。图18是示出利用树脂包覆第1凹部的工序的图。图19是示出第2面蚀刻工序的图。图20是示出与图19连续的第2面蚀刻工序的图。图21是示出从金属板除去树脂和抗蚀剂图案的工序的图。图22A是示出通过加工金属板所得到的中间制品的俯视图。图22B是将图22A的中间制品中的、由带标号XXIIB的虚线所包围的区域放大后示出的图。图23是示出使蒸镀掩模部分从支承部分分离的工序的图。图24是将从中间制品得到的蒸镀掩模放大后示出的俯视图。图25是示出制作蒸镀掩模装置的工序的图。图26是示出蒸镀掩模的长侧面的一个变形例的剖视图。图27是示出实施例1的蒸镀掩模的长侧面的截面的观察结果的图。图28A是示出从第1面侧观察图27所示的蒸镀掩模的结果的图。图28B是示出从第2面侧观察图27所示的蒸镀掩模的结果的图。图29A是示出实施例2的蒸镀掩模的长侧面的截面的观察结果的图。图29B是将图29A所示的长侧面的第2部分放大后示出的剖视图。图30是示出实施例3的蒸镀掩模的长侧面的截面的观察结果的图。标号说明10：蒸镀掩模装置；15：框架；20：蒸镀掩模；20a：第1面；20b：第2面；21：基材；22：有效区域；23：周围区域；25：贯通孔；26：长侧面；261：第1部分；262：第2部分；27：短侧面；30：第1凹部；31：壁面；35：第2凹部；36：壁面；41：孔连接部；43：顶部；50：中间制品；51：蒸镀掩模部分；54：连接部位；55：间隙；56：支承部分；64：金属板；65a：第1抗蚀剂图案；65b：第2抗蚀剂图案；65c：第1抗蚀剂膜；65d：第2抗蚀剂膜；70：加工装置；72：输送辊；73：分离装置；90：蒸镀装置；92：有机EL基板；98：蒸镀材料。具体实施方式下面，参照附图对本公开的一个实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述贯通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔连接部靠所述第1面侧的位置。

【技术特征摘要】
2017.01.17 JP 2017-005999;2017.12.13 JP 2017-238981.一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述贯通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔连接部靠所述第1面侧的位置。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第1端部位于比所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部靠外侧的位置，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。4.一种蒸镀掩...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田泰弘，松浦幸代，池永知加雄，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP