定位装置及三坐标测量仪制造方法及图纸

本发明专利技术涉及产品测量技术领域，提供一种定位装置及三坐标测量仪。该定位装置包括三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角形分布且分布位置与产品的表面的形状相匹配，通过将产品的表面同时与三个定位部相接触，能够使产品被固定在工作台上的由三个定位部所确定的预设位置。在产品的位置固定后，可以对产品进行后续处理，并使后续的处理流程得到简化。该三坐标测量仪包括测量仪本体以及上述定位装置，定位装置固定在测量仪本体的工作台上。使用该三坐标测量仪对产品的三维尺寸进行多次测量时，可以通过定位装置对产品进行定位，无需每次建立测量坐标系，测量效率较高。

【技术实现步骤摘要】
定位装置及三坐标测量仪
本专利技术涉及产品测量
，具体而言，涉及一种定位装置及三坐标测量仪。
技术介绍
晶圆载具(WaferCarrier)是半导体制造领域用于承载晶圆的一种装置，常见为圆盘状。为检测晶圆载具的加工质量，可以利用三坐标测量仪对晶圆载具的尺寸进行测量。三坐标测量仪是一种能够自动测量产品的三维尺寸的设备，常见的三坐标测量仪可以分为接触式、非接触式以及接触式与非接触式等类型。在测量时，将晶圆载具放置在三坐标测量仪的工作台上的某一位置，三坐标测量仪需要首先在该位置处建立起一个测量坐标系，然后才能基于该坐标系进行自动测量。然而，多次测量时每次晶圆载具在工作台上放置的位置并不一定相同，导致每次测量时三坐标测量仪都要在晶圆载具的放置位置处建立一个新的测量坐标系，需要耗费较长的时间，造成测量效率低下。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种定位装置及三坐标测量仪，以解决上述技术问题。本专利技术的实施例通过以下技术方案实现：第一方面，本专利技术实施例提供一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，包括：三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角形分布且分布位置与产品的表面的形状相匹配，通过将产品的表面同时与三个定位部相接触，能够使产品被固定在工作台上的由三个定位部所确定的预设位置。通常而言，工作台为一个放置产品的平面，产品在工作台内有三个自由度，分别是x轴方向上的平移，y轴方向上的平移以及绕z轴进行旋转。通过。通过上述三个定位部的设置方式，能够对产品在工作台内的自由度作出限定，从而使得产品在其表面同时与三个定位部相接触时具有唯一确定的位置，即被固定在工作台的由三个定位部所确定的预设位置处。在产品的位置固定后，可以对产品进行后续处理，并使后续的处理流程得到简化。例如该工作台可以是三坐标测量仪的工作台，产品可以是晶圆载具，通过使用本专利技术实施例提供的定位装置，每次测量时都可以将晶圆载具固定在同样的位置，三坐标测量仪不必每次都建立测量坐标系，提高测量效率。结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实施方式中，产品为圆盘状，三个定位部的连线构成的三角形的外接圆与产品的圆面相匹配。圆盘状为一种常见的产品形状，例如很多晶圆载具即为圆盘状，对这类产品，定位部的分布位置是明确的，需要满足上述匹配条件。结合第一方面的第一种可能的实施方式，在第一方面的第二种可能的实施方式中，定位装置还包括：连接部，三个定位部均设置在连接部上，连接部固定在工作台上，连接部将三个定位部连接为一个整体，可以增加定位装置的结构强度。结合第一方面的第二种可能的实施方式，在第一方面的第三种可能的实施方式中，连接部为L型，三个定位部中的第一定位部以及第二定位部凸出设置在连接部的第一侧边上，三个定位部中的第三定位部凸出设置在连接部的不同于第一侧边的第二侧边上。L型的工件其形状常见，加工简单，易于大量生产，将三个定位部中的第一定位部以及第二定位部设置在第一侧边，将第三定位部设置在第三侧边也能够保证三个定位部呈三角形分布。结合第一方面的第三种可能的实施方式，在第一方面的第四种可能的实施方式中，第一定位部设置在第一侧边的未与第二侧边连接的一端，第三定位部设置在第二侧边的未与第一侧边连接的一端，上述设置方式可以节省定位装置的制作材料。结合第一方面的第三种或第四种可能的实施方式，在第一方面的第五种可能的实施方式中，连接部的下表面与工作台的上表面通过粘合剂或粘合介质粘合，从而将连接部与工作台固定在一起。结合第一方面的第三种或第四种可能的实施方式，在第一方面的第六种可能的实施方式中，工作台为铁磁性材料制成，连接部的下表面设置有磁性贴，连接部与工作台之间通过磁性贴与铁磁性材质的相互吸引作用固定在一起。结合第一方面的第三种或第四种可能的实施方式，在第一方面的第七种可能的实施方式中，工作台的上表面为光滑表面，连接部的下表面设置有真空吸盘，连接部与工作台之间通过真空吸盘的吸合作用固定在一起。结合第一方面的第三种或第四种可能的实施方式，在第一方面的第八种可能的实施方式中，连接部还包括：旋转轴，第一侧边以及第二侧边均与旋转轴可转动地连接，第一侧边能够沿旋转轴转动至与第二侧边重合。通过设置旋转轴，使得定位装置在不用时可以进行折叠，从而方便收纳。第二方面，本专利技术实施例提供一种三坐标测量仪，用于测量产品的尺寸，包括：测量仪本体，测量仪本体包括有工作台；第一方面以及第一方面的任意一种实施方式的定位装置，定位装置固定在工作台上。使用该三坐标测量仪对产品的三维尺寸进行多次测量时，可以通过工作台上的定位装置对产品进行定位，从而只需在第一次测量时在产品的放置位置处建立测量坐标系，以后多次测量都可以使用第一建立的测量坐标系，从而可以节省测量时间，提高测量效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1示出了本专利技术第一实施例提供的定位装置的一种结构示意图；图2示出了本专利技术第二实施例提供的定位装置的第一种结构示意图；图3示出了本专利技术第二实施例提供的定位装置的第二种结构示意图；图4示出了本专利技术第二实施例提供的定位装置的第三种结构示意图。图中：10－定位装置；100－第一定位部；110－第二定位部；120－第三定位部；130－连接部；132－第一侧边；134－第二侧边；136－旋转轴；20－产品。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，其特征在于，包括：三个定位部，所述三个定位部均固定在所述工作台上，所述三个定位部在所述工作台上呈三角形分布且分布位置与所述产品的表面的形状相匹配，通过将所述产品的表面同时与所述三个定位部相接触，能够使所述产品被固定在所述工作台上的由所述三个定位部所确定的预设位置。

【技术特征摘要】
1.一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，其特征在于，包括：三个定位部，所述三个定位部均固定在所述工作台上，所述三个定位部在所述工作台上呈三角形分布且分布位置与所述产品的表面的形状相匹配，通过将所述产品的表面同时与所述三个定位部相接触，能够使所述产品被固定在所述工作台上的由所述三个定位部所确定的预设位置。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述产品为圆盘状，所述三个定位部的连线构成的三角形的外接圆与所述产品的圆面相匹配。3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括：连接部，所述三个定位部均设置在所述连接部上，所述连接部固定在所述工作台上。4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述连接部为L型，所述三个定位部中的第一定位部以及第二定位部凸出设置在所述连接部的第一侧边上，所述三个定位部中的第三定位部凸出设置在所述连接部的不同于所述第一侧边的第二侧边上。5.根据权利要求4所述的定位装...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，陈文庆，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33