位移测量装置制造方法及图纸

技术编号:19021307 阅读:26 留言:0更新日期:2018-09-26 18:33
本发明专利技术提供一种位移测量装置,用以让用户容易识别包括不具有电子电路的传感器头的位移测量装置的测量状态。位移测量装置(1)包括:传感器头(30),具有光学系统且不具有电子电路;控制器(100);第1光纤维,将来自光投射部(10)的照射光传递至传感器头(30);及第2光纤维,将来自传感器头(30)的反射光传递至控制器(100)。控制部(50)具有:第1模式,对传感器头(30)与反射位置之间的距离进行测量;及第2模式,通过光投射部(10)的光投射状态来表示传感器头(30)与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部。

【技术实现步骤摘要】
位移测量装置
本专利技术是涉及一种位移测量装置。尤其,本专利技术是涉及一种包括不具有电子电路的传感器头的位移测量装置。
技术介绍
作为对测量对象物的表面形状等进行检查的装置,已知有位移测量装置(位移传感器)。例如,日本专利特开2012-208102号公报(专利文献1)揭示利用共焦光学系统来以非接触的方式测量测量对象物的位移的共焦测量装置。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2012-208102号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]在日本专利特开2012-208102号公报(专利文献1)中所记载的共焦测量装置中,传感器头不具有电子电路且传感器头与控制器分离。为了掌握位移测量装置的测量状态,位于传感器头附近的用户需要确认控制器的显示。例如,在设置传感器头时,为了进行正确的测量,需要调整设置传感器头的位置。位移测量装置可测量的范围可表示为自感测器头的前面的距离的范围。一般而言,制造厂将该范围定义为位移测量装置的规格。本说明书中,将作为位移测量装置可测量的距离的范围而预先规定的范围称为“规定距离范围”。以放置工件的位置为基准,调整传感器头的设置位置,以使该工件的位置进入规定距离范围内。在用户位于传感器头的附近时,有如下可能性:难以通过自控制器至用户的距离或用户相对于控制器的位置来确认控制器的显示。本专利技术的目的在于提供一种用以用户容易识别包括不具有电子电路的传感器头的位移测量装置的测量状态的技术。[解决问题的技术手段]依据本专利技术的某局面的位移测量装置包括:传感器头,具有光学系统且不具有电子电路;控制器;第1光纤维,将来自光投射部的照射光传递至传感器头;以及第2光纤维,将来自传感器头的反射光传递至控制器,所述控制器具有:光投射部,产生照射光;光接收部,接收由传感器头所接收的照射光的反射光;及控制部,基于光接收部的光接收量来算出传感器头与反射光的反射位置之间的距离。控制部具有:第1模式,对传感器头与反射位置之间的距离进行测量;及第2模式,通过光投射部的光投射状态来表示传感器头与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部。规定距离范围定义为位移测量装置可测量的距离的范围。规定距离范围的中央部定义为规定距离范围的中心附近的既定的距离。第1光纤维与第2光纤维可相同。根据所述构成,可提供一种可实现用户容易识别传感器头与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部的位移测量装置。在第2模式中,用户可通过自传感器头射出的光来确认位移测量装置的测量状态。优选为:在第2模式中,控制部判断传感器头与反射位置之间的距离是否进入规定距离范围的中央部内,并通过光投射部的光投射状态来表示该判断结果。通过所述构成,可提供一种可使用户容易识别规定距离范围的中央部的位移测量装置。在第2模式中,用户可通过自传感器头射出的光来确认传感器头与反射位置之间的距离为规定距离范围的中央部内。优选为:在第2模式中,在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部内时,控制部使光投射部连续点灯。在第2模式中,在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部的外侧且为规定距离范围内时,控制部使光投射部闪烁。根据所述构成,用户可通过确认自传感器头连续射出光来确认传感器头与反射位置之间的距离为规定距离范围的中央部内。优选为:在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部的外侧的范围内的情况下,在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部的外侧且为规定距离范围内的既定的距离范围内时,控制部使光投射部以第1间隔闪烁,在自传感器头至反射位置的距离在规定距离范围内处于规定距离范围的中央部的外侧且既定的距离范围外时,控制部使光投射部以大于第1间隔的第2间隔闪烁。根据所述构成,用户可通过自传感器头射出的光的闪烁的间隔来确认传感器头与反射位置之间的距离自规定距离范围的中央部远离多少。优选为:在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部的外侧且为规定距离范围内的情况下,控制部随着自传感器头至反射位置的距离与规定距离范围的中央部的上限或下限之间的差变大而增大光投射部的闪烁的间隔。根据所述构成,用户可通过自传感器头射出的光的闪烁的间隔来确认传感器头与反射位置之间的距离自规定距离范围的中央部远离多少。优选为:在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部内的情况下,控制部控制光投射部,以使光投射部的光投射功率成为一定值。在自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部的外侧且为规定距离范围内的情况下,控制部控制光投射部,以使光投射部的光投射功率的波峰值高于自传感器头至反射位置的距离处于规定距离范围的中央部内时的光投射部的输出。根据所述构成,在传感器头与反射位置之间的距离处于规定距离范围的中央部的外侧且为规定距离范围内时,位移测量装置可使自传感器头射出的光闪烁并测量传感器头与反射位置之间的距离。[专利技术的效果]根据本专利技术,可提供一种可实现用户容易识别传感器头与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部的位移测量装置。附图说明图1是用以说明本专利技术的实施方式的位移测量装置的距离测量的原理的图。图2(A)、图2(B)是用以说明依据本实施方式的位移测量装置的导光部的构成的示意图。图3是表示依据本实施方式的位移测量装置的构成的一例的示意图。图4是用以说明通常测量模式(第1模式)中的传感器头的光投射状态的图。图5是用以说明规定距离范围中心确认模式(第2模式)中的传感器头的光投射状态的图。图6是用以说明通常测量模式(第1模式)中的光投射部的控制的信号波形图。图7是用以说明规定距离范围中心确认模式(第2模式)中的光投射部的控制的信号波形图。图8是用以说明利用控制器的控制部控制光投射的流程图。图9是用以说明规定距离范围中心确认模式(第2模式)中的传感器头的光投射状态的另一实施方式的图。[符号的说明]1:位移测量装置2:测量对象物3:位置(反射位置)10:光投射部20:导光部21:输入侧缆线22:输出侧缆线23:耦合器24:头侧缆线30:传感器头32:色差单元34:物镜40:光接收部41:准直透镜42:分光器43:缩小光学系统44:检测器45:读取电路50:控制部60:显示部100:控制器202:核心204:包层206:包覆材208:外装材241、243、245:缆线242、244:连接器AX:光轴D1:规定距离范围的中央部D2:规定距离范围D3:规定距离范围内的既定的距离范围S1~S8:步骤d:距离λ1、λ2、λ3:波长具体实施方式参照图示对本专利技术的实施方式进行详细说明。再者,对图中的同一或相当的部分标注同一符号并不重复进行其说明。<A.概要>图1是用以说明本专利技术的实施方式的位移测量装置的距离测量的原理的图。参照图1,位移测量装置1包括导光部20、传感器头30及控制器100。本专利技术的实施方式中,位移测量装置1包括具有光学系统,另一方面不具有电子电路的传感器头30。以下所说明的实施方式中,作为此种传感器头的一例,示出包含共焦光学系统的传感器头30。然而,并不限定传感器头30中所含的光学系统的种类。传感器头30包括色差单元32及物镜34。控制器100包括光投射部10、光接收部40、控制部50及显示部60。光接收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位移测量装置,其特征在于包括:传感器头,具有光学系统且不具有电子电路;控制器,其具有:光投射部,产生照射光;光接收部,接收由所述传感器头所接收的所述照射光的反射光;及控制部,基于所述光接收部的光接收量来算出所述传感器头与所述反射光的反射位置之间的距离;第1光纤维,将来自所述光投射部的所述照射光传递至所述传感器头;以及第2光纤维,将来自所述传感器头的所述反射光传递至所述控制器,所述控制部具有:第1模式,对所述传感器头与所述反射位置之间的距离进行测量;及第2模式,通过所述光投射部的光投射状态来表示所述传感器头与所述反射位置之间的所述距离是否处于规定距离范围的中央部。

【技术特征摘要】
2017.03.14 JP 2017-0482831.一种位移测量装置,其特征在于包括:传感器头,具有光学系统且不具有电子电路;控制器,其具有:光投射部,产生照射光;光接收部,接收由所述传感器头所接收的所述照射光的反射光;及控制部,基于所述光接收部的光接收量来算出所述传感器头与所述反射光的反射位置之间的距离;第1光纤维,将来自所述光投射部的所述照射光传递至所述传感器头;以及第2光纤维,将来自所述传感器头的所述反射光传递至所述控制器,所述控制部具有:第1模式,对所述传感器头与所述反射位置之间的距离进行测量;及第2模式,通过所述光投射部的光投射状态来表示所述传感器头与所述反射位置之间的所述距离是否处于规定距离范围的中央部。2.根据权利要求1所述的位移测量装置,其特征在于:在所述第2模式中,所述控制部判断所述传感器头与所述反射位置之间的所述距离是否进入所述规定距离范围的所述中央部内,并通过所述光投射部的所述光投射状态来表示所述判断结果。3.根据权利要求2所述的位移测量装置,其特征在于:在所述第2模式中,在自所述传感器头至所述反射位置的所述距离处于所述规定距离范围的所述中央部内时,所述控制部使所述光投射部连续点灯,在所述第2模式中,在自所述传感器头至所述反射位置的所述距离处于所述规定距离范围的所述中央部的外侧且为所述规定距离范围内时,所述控制部使所述光投射部闪烁。4.根据权利要求3所述的位移测量装置,其特征在于:在自所述传感器头至所述反射位置的距离处于所...

【专利技术属性】
技术研发人员:三浦佑太菅孝博
申请(专利权)人:欧姆龙株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1