The invention discloses a three-degree-of-freedom ultrasonic vibration assisted machining precision positioning platform, which is machined by EDM technology to reduce mechanical assembly, and adopts four symmetrical flexible differential amplifier mechanisms in parallel to realize high-precision translation of the moving platform in the XY plane, and a series bridge amplifier mechanism to realize Z. Directional translation; large platform in series with a small platform, using high-frequency piezoelectric ceramics to provide in-plane ultrasonic vibration; precision positioning platform with compact structure, can make the platform has a higher natural frequency; using symmetrical flexible mechanism can eliminate the coupling error caused by mechanism transmission; using differential amplification mechanism and bridge type The magnifying mechanism has a relatively large displacement magnification ratio, so that the moving platform has a larger travel in the X, Y and Z directions. The four groups of parallel flake flexible hinge mechanisms connected with the bridge mechanism can realize the decoupling of the X and Y directions translational motion of the precise positioning platform, and improve the motion accuracy of the moving platform.
【技术实现步骤摘要】
一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台
本专利技术涉及微纳制造领域,特别涉及一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台。
技术介绍
随着科学技术的发展,微纳技术得到迅速的发展,带有纳米精度的复杂微纳结构需求越来越广泛,为了获得更高的加工速度及加工精度,而将超声振动运用到微纳加工过程中,目前超声振动辅助加工平台较少,特别是具备三自由度运动性能的超声振动微动平台。目前,大多数超声振动辅助加工平台行程较小且无法实现立体加工,无法满足加工要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中的不足,提供一种具有X向平动、Y向平动和Z向平动三自由度、高精度、具有超声振动功能的三自由度超声振动辅助加工精密定位平台。本专利技术所采用的技术方案是:一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台,为X轴、Y轴轴对称结构,包括大平台和小平台,所述大平台的中央串联所述小平台,所述小平台的底部与桥式放大机构串联;所述桥式放大机构的外周侧沿X向、Y向对称连接有4个对称式差动放大机构,沿X向布置的2个所述对称式差动放大机构的其中一个所述对称式差动放大机构的前端设置有实现所述桥式放大机构带动所述小平台X向平动的第一压电陶瓷驱动器,沿Y向布置的2个所述对称式差动放大机构的其中一个所述对称式差动放大机构的前端设置有实现所述桥式放大机构带动所述小平台Y向平动的第二压电陶瓷驱动器;所述桥式放大机构的内部沿Z向设置有实现所述小平台Z向平动的第三压电陶瓷驱动器;所述小平台包括动平台,所述动平台的四周侧X向、Y向对称设置有4个柔性铰链机构,沿X向布置的2个所述柔性铰链机构的其中一个所述柔性铰链机构的前端设置有 ...
【技术保护点】
1.一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台,其特征在于,为X轴、Y轴轴对称结构,包括大平台和小平台,所述大平台的中央串联所述小平台,所述小平台的底部与桥式放大机构串联;所述桥式放大机构的外周侧沿X向、Y向对称连接有4个对称式差动放大机构,沿X向布置的2个所述对称式差动放大机构的其中一个所述对称式差动放大机构的前端设置有实现所述桥式放大机构带动所述小平台X向平动的第一压电陶瓷驱动器,沿Y向布置的2个所述对称式差动放大机构的其中一个所述对称式差动放大机构的前端设置有实现所述桥式放大机构带动所述小平台Y向平动的第二压电陶瓷驱动器;所述桥式放大机构的内部沿Z向设置有实现所述小平台Z向平动的第三压电陶瓷驱动器;所述小平台包括动平台,所述动平台的四周侧X向、Y向对称设置有4个柔性铰链机构,沿X向布置的2个所述柔性铰链机构的其中一个所述柔性铰链机构的前端设置有实现所述动平台X向高频振动的第一高频压电陶瓷片,沿Y向布置的2个所述柔性铰链机构的其中一个所述柔性铰链机构的前端设置有实现所述动平台Y向高频振动的第二高频压电陶瓷片。
【技术特征摘要】
1.一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台,其特征在于,为X轴、Y轴轴对称结构,包括大平台和小平台,所述大平台的中央串联所述小平台,所述小平台的底部与桥式放大机构串联;所述桥式放大机构的外周侧沿X向、Y向对称连接有4个对称式差动放大机构,沿X向布置的2个所述对称式差动放大机构的其中一个所述对称式差动放大机构的前端设置有实现所述桥式放大机构带动所述小平台X向平动的第一压电陶瓷驱动器,沿Y向布置的2个所述对称式差动放大机构的其中一个所述对称式差动放大机构的前端设置有实现所述桥式放大机构带动所述小平台Y向平动的第二压电陶瓷驱动器;所述桥式放大机构的内部沿Z向设置有实现所述小平台Z向平动的第三压电陶瓷驱动器;所述小平台包括动平台,所述动平台的四周侧X向、Y向对称设置有4个柔性铰链机构,沿X向布置的2个所述柔性铰链机构的其中一个所述柔性铰链机构的前端设置有实现所述动平台X向高频振动的第一高频压电陶瓷片,沿Y向布置的2个所述柔性铰链机构的其中一个所述柔性铰链机构的前端设置有实现所述动平台Y向高频振动的第二高频压电陶瓷片。2.根据权利要求1所述的一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台,其特征在于,所述对称式差动放大机构包括第一可动横梁、第二可动横梁、第一传力连杆、第三可动横梁、平行片状柔性铰链机构、第四可动横梁和第二传力连杆;所述第一可动横梁与所述第一压电陶瓷驱动器或所述第二压电陶瓷驱动器的压电陶瓷接触面为可动的半圆形,所述第一压电陶瓷驱动器或所述第二压电...
【专利技术属性】
技术研发人员:马越,田延岭,王福军,卢康康,张大卫,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:天津,12
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