【技术实现步骤摘要】
一种探针卡高度差检测工作台
本技术涉及一种探针高度检测设备,属于探针卡制作
技术介绍
半导体测试过程中,探针卡上的针尖必须都要接触到被测物的测定点,否则会发生误测定现象。但是在新卡的制作过程中以及长期使用后,每个探针的高度会存在偏差,超出设计的平面度要求,所以探针卡高度检侧是一个重要环节。现有的检测方法多以人为测量为主,即,检测人员通过使用显微镜测量每根探针的高度,然后进行校正,检测人员对探针的反复调整费时费力,效率很低。
技术实现思路
为解决现有技术存在的缺陷,本技术的目的是提供一种提高探针高度差检测效率的探针卡高度差检测工作台。本技术的技术方案是:一种探针卡高度差检测工作台,包括本体,所述本体上表面相对设有支架,支架之间设有与升降驱动装置连接的升降台,导电圆盘位于升降台上,所述导电圆盘和升降驱动装置通过线缆连接控制系统,所述支架上通过螺栓安装压板。所述螺栓位于压板两端。所述线缆通过位于本体侧部的接口连接导电圆盘。所述升降驱动装置为升降电机。所述支架上均布位置调节孔,固定螺栓贯穿所述位置调节孔连接本体。每个所述支架上均布有三个位置调节孔。所述控制系统连接控制手柄和显示器。所述导电圆盘为金圆盘。本技术的有益效果是:金圆盘具有良好的导电率和极好的平面度,通过控制金圆盘的升降,系统会感知到高度不同的探针与金圆盘接触并导通在时序上的差异,然后通过控制系统的换算,在显示器显示各个探针间的高度差,具有精度高,速度快,效率高的优点。附图说明图1为本技术的结构图;图2为控制系统的控制原理图。图中附图标记如下:1、本体,2、支架,3、压板,4、螺栓,5、导电圆盘,6、升 ...
【技术保护点】
1.一种探针卡高度差检测工作台,其特征在于,包括本体(1),所述本体(1)上表面相对设有支架(2),支架(2)之间设有与升降驱动装置(7)连接的升降台(6),导电圆盘(5)位于升降台(6)上,所述导电圆盘(5)和升降驱动装置(7)通过线缆连接控制系统(10),所述支架(2)上通过螺栓(4)安装压板(3)。
【技术特征摘要】
1.一种探针卡高度差检测工作台,其特征在于,包括本体(1),所述本体(1)上表面相对设有支架(2),支架(2)之间设有与升降驱动装置(7)连接的升降台(6),导电圆盘(5)位于升降台(6)上,所述导电圆盘(5)和升降驱动装置(7)通过线缆连接控制系统(10),所述支架(2)上通过螺栓(4)安装压板(3)。2.根据权利要求1所述的探针卡高度差检测工作台,其特征在于,所述螺栓(4)位于压板(3)两端。3.根据权利要求1所述的探针卡高度差检测工作台,其特征在于,所述线缆通过位于本体(1)侧部的接口(8)连接导电圆盘(5)。4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:张继,王世巍,
申请(专利权)人:大连火蓝电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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