真空转换室密封设备和带真空转换室的设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空转换室密封设备，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封真空转换室；以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。以及本实用新型专利技术还提供一种带真空转换室的设备。实施本实用新型专利技术，可以在密封或开启真空转换室的过程中避免细微颗粒进入真空室。

【技术实现步骤摘要】
真空转换室密封设备和带真空转换室的设备
本技术涉及机械传动
，尤其涉及一种真空转换室密封设备和带真空转换室的设备。
技术介绍
在半导体或电子电路当中，通常需要置于真空条件中实现，一般会在设备中设置一个用于放置待处理元器件、组件或装置的真空转换室，该真空转换室设置有一个门板，当打开该门板时可以放置或从中取出待处理的元器件、组件或装置，而此时该真空转换室为大气状态，并非为真空状态，那么为了使其变为真空状态，则需要将门板关闭并使该真空转换室处于密闭的状态，进而真空转换室设置的抽气机构，在接收到相关指令后执行抽气操作，使得真空转换室内的环境为真空。如图1所示，专利技术人在使用用于开启或关闭真空转换室的真空转换室密封设备时发现，该装置包括设置有顶板111的门板110、上下气缸120、至少两个夹紧气缸130、导轴140和导向槽150；其中，上下气缸120包括浮动支撑柱121、第一导气管122、第二导气管123和气压缸124；导轴140和导向槽150分别设置一组在门板110的两侧。以下将结合上述装置的结构图描述当关闭真空转换室时上述装置的工作原理：第一步：外部的CDA充气设备通过上下气缸120的第一导气管122将空气导入气压缸124中以向上推动门板110向上移动，同时浮动支撑柱121也往上支撑顶板111，由于门板110的两侧与导向槽150连接，因而在向上推动门板110的过程中门板110和导向槽150沿着导轴140向上平移至门板110正对真空转换室的窗口的位置；第二步：外部的CDA充气设备通过上下气缸120的第二导气管123将空气导进夹紧气缸130中，夹紧气缸130为泄漏型的夹紧气缸，此时，夹紧气缸130内的气压使得门板110往前推动，门板110贴合真空转换室的窗口。但是上述技术方案存在以下缺点：1、长时间的使用，气压缸124内的空气会使金属制作的导轴140和浮动支撑柱121的头部产生腐蚀。2、在门板110上下移动的过程，门板110的导向槽150会刮擦导轴140，以及夹紧气缸130内部的设置由于上下摩擦，均会产生细微颗粒物，该细微颗粒物会被带进真空室内部，而当真空转换室内存在类似元器件、组件的产品需要进行处理时，细微粒子会影响到这些产品处理过程，甚至造成产品异常。3、导轴140和浮动支撑柱121的头部也会因长期使用过程中都会有摩擦的操作，磨损过大，需要经常更换。
技术实现思路
本技术实施例提供一种真空转换室密封设备和带真空转换室的设备，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。作为本技术实施例的一个方面，本技术实施例提供一种真空转换室密封设备，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封所述真空转换室；其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。结合第一方面，在第一方面的第一种实施方式中，所述真空转换室密封设备还包括：设置在所述框架主体下方且为所述第一传送组件和所述第二传送组件提供动力的气压缸，所述气压缸包括缸体，和在所述缸体中往复运动的第一活塞和第二活塞；所述第一活塞分别与所述第一传送组件和所述第二传送组件接，所述第二活塞与所述第二传送组件连接。结合第一方面的第一种实施方式，在第一方面的第二种实施方式中，所述第一传送组件包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述门板连接，所述支撑杆的另一端与所述第一活塞连接，以在所述第一活塞的带动下沿垂直方向移动。结合第一方面的第二种实施方式，在第一方面的第三种实施方式中，所述第一活塞的上表面包括第一凸起，所述第二活塞的下表面包括第二凸起；以及所述第二传送组件包括：第一推动件，设置在所述第一活塞的上方，包括第一固定转轴和用于与所述第一凸起衔接的第一凹槽，所述第一凹槽的尺寸不大于所述第一凸起；第二推动件，设置在所述第二活塞的下方，包括第二固定转轴和用于与所述第二凸起衔接的第二凹槽，所述第二凹槽的尺寸不大于所述第二凸起；其中，当所述第一活塞沿垂直方向向上移动，且所述第一凸起与所述第一凹槽接触时，所述第一固定转轴在所述第一凸起的压力下往上滑动，带动所述第一推动件绕所述第一固定转轴顺时针旋转，进而带动所述第一活塞连接的支撑杆沿水平方向朝背向所述窗口的方向移动；以及当所述第二活塞沿垂直方向向下移动，且所述第二凸起与所述第二凹槽接触时，所述第二固定转轴在所述第二凸起的压力下往下滑动，带动所述第二推动件绕所述第二固定转轴逆时针旋转，以带动所述第二活塞以及所述第一活塞连接的支撑杆均沿水平方向朝向所述窗口的方向移动。结合第一方面的第二种实施方式或第三种实施方式，在第一方面的第四种实施方式中，所述气压缸包括：第一导气孔，用于将气体导入所述缸体和/或从所述缸体中导出气体，以使所述第一活塞在所述缸体中进行往复运动；以及第二导气孔，用于将气体导入所述缸体和/或从所述缸体中导出气体，以使所述第二活塞在所述缸体中进行往复运动。结合第一方面的第二种实施方式，在第一方面的第五种实施方式中，所述支撑杆包括至少三个竖杆，以及使所述竖杆相互连接的固定连接件。结合第一方面，在第一方面的第六种实施方式中，所述预设间隔在18mm至22mm之间。结合第一方面，在第一方面的第七种实施方式中，所述真空转换室密封设备还包括：密封圈，设置在所述门板与所述窗口贴合的表面上，以在所述第二阶段中，使所述真空转换室密封，其中，所述密封圈的周长大于所述窗口的周长。结合第一方面的第七种实施方式，在第一方面的第八种实施方式中，所述密封圈由塑胶构成。第二方面，本技术实施例还提供一种带真空转换室的设备，其包括第一方面提供的任一项所述的真空转换室密封设备。本技术采用上述技术方案，通过设置门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，可以避免门板在沿垂直方向移动时与框架主体的内壁产生摩擦，一方面可以避免细微颗粒进入真空室，另一方面可以减少组件磨损，提高设备使用寿命。以及，由于第一传送组件可以带动门板垂直运行至与真空转换室的窗口对准，此时由于门板与窗口也是具有一定的间隔的，需要第二传送组件推动第一传送组件沿水平方向移动，从而使门板与与窗口贴合，进行实现真空转换室的关闭。上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本技术进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。附图说明在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本技术公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本技术范围的限制。图1是现有技术提供的真空转换室密封设备的结构示意图；图2是本技术提供的一种真空转换室密封设备的正视结构示意图；图3是本技术提供的一种真空转换室密封设备的侧视结构示意图；图4是本技术提供的真空转换室密封设备的门板与密封圈之间的位置关系示意图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空转换室密封设备，其特征在于，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封所述真空转换室；其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔；以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或者水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。

【技术特征摘要】
1.一种真空转换室密封设备，其特征在于，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封所述真空转换室；其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔；以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或者水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。2.如权利要求1所述的真空转换室密封设备，其特征在于，还包括：设置在所述框架主体下方且为所述第一传送组件和所述第二传送组件提供动力的气压缸，所述气压缸包括缸体，以及在所述缸体中往复运动的第一活塞和第二活塞；所述第一活塞分别与所述第一传送组件和所述第二传送组件连接，所述第二活塞与所述第二传送组件连接。3.如权利要求2所述的真空转换室密封设备，其特征在于，所述第一传送组件包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述门板连接，所述支撑杆的另一端与所述第一活塞连接，以在所述第一活塞的带动下沿垂直方向移动。4.如权利要求3所述的真空转换室密封设备，其特征在于，所述第一活塞的上表面包括第一凸起，所述第二活塞的下表面包括第二凸起；以及所述第二传送组件包括：第一推动件，设置在所述第一活塞的上方，包括第一固定转轴和用于与所述第一凸起衔接的第一凹槽，所述第一凹槽的尺寸不大于所述第一凸起；第二推动件，设置在所述第二活塞的下方，包括第二固定转轴和用于与所述第二凸起衔接的第二凹槽，所述第二凹槽的尺寸不大于所述第二凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：睿力集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34