一种洗料式晶硅废料回收去胶装置制造方法及图纸

技术编号:18997809 阅读:45 留言:0更新日期:2018-09-22 04:32
本发明专利技术公布了一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖、机体,机体内设置有清洗筒和安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;机体的上端设置有安装架,安装架内设置有旋转气缸二组,旋转气缸二组的转轴连接洗料机构,洗料机构包括第一筛网和第二筛网,第一筛网与第二筛网铰接,第一筛网上连接有连接环,连接环与清洗筒铰接,并与清洗筒内壁旋转连接。本发明专利技术的目的是针对以上问题,提供一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,该装置通过第一筛网和第二筛网,将落入的晶硅废料来回筛动,使粘在晶硅上的灰尘清洗干净,有效提高了晶硅废料的清洗速度。

A cleaning and degumming device for washing crystal silicon waste

The invention discloses a washing-type silicon scrap recovery and degumming device, which comprises an arc-shaped upper cover and a body, a cleaning cylinder and an installation rack are arranged in the body, and the body is divided into a purification chamber, a wet degumming chamber and a combustion degumming chamber, a degumming liquid is arranged in the wet degumming chamber, and a burner is arranged at the bottom of the combustion degumming chamber. The upper end of the mounting frame is provided with a mounting frame, and the rotating shaft of the rotating cylinder group is connected with a washing mechanism. The washing mechanism comprises a first screen and a second screen, the first screen and the second screen are articulated, the first screen is connected with a connecting ring, the connecting ring is articulated with the cleaning cylinder, and rotates with the inner wall of the cleaning cylinder. Connect. The object of the invention is to provide a washing type silicon scrap recovery and degumming device, which can screen the fallen silicon scrap back and forth through the first screen and the second screen, so as to clean the dust adhered to the silicon and effectively improve the cleaning speed of the silicon scrap.

【技术实现步骤摘要】
一种洗料式晶硅废料回收去胶装置
本专利技术属于晶硅废料的回收领域,具体为一种洗料式晶硅废料回收去胶装置。
技术介绍
人类进入21世纪后,随着半导体工业的快速发展,高纯晶体硅材料得到了广泛应用,在制成芯片过程中,经常会由于质量不合格,或切割过程中产生晶硅废料,如果能将这些废料综合回收利用,将会减少环境污染,提高能源的利用率,对缓解我国单晶硅和多晶硅的紧缺,减少进口有重大意义。单晶废料和多晶废料与其他原料有区别,废料上具有残留的UV胶水和粘胶条,若不完全去除将导致多晶硅锭纯度不达标等问题,在晶硅废料去胶技术前,需要对晶硅废料进行水洗,水洗后的污水直接排放造成水资源严重浪费,且在水洗完毕后需要晾干,导致时间延长,极大的降低了去胶效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对以上问题,提供一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,该装置通过第一筛网和第二筛网,将落入的晶硅废料来回筛动,使粘在晶硅上的灰尘清洗干净,有效提高了晶硅废料的清洗速度,随后通过烘干、燃烧工序,保证其去胶质量。为实现以上目的,本专利技术采用的技术方案是:一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖,所述上盖下端设置有机体,其特征在于,所述机体内设置有清洗筒和安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,所述的湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;所述机体的上端设置有安装架,所述安装架内设置有旋转气缸二组,所述旋转气缸二组的转轴穿过机体伸入清洗筒内连接洗料机构,所述洗料机构包括具有圆形结构的第一筛网和第二筛网,所述第一筛网与第二筛网铰接,第二筛网与转轴固定连接,第一筛网上连接有连接环,所述连接环与清洗筒铰接,并与清洗筒内壁旋转连接;所述清洗筒的上端开设有连通湿法去胶室的下料口。进一步的,所述湿法去胶室内设置有立柱,所述立柱上设置有螺旋板,所述的立柱上设置有开口,其杆身上具有多个与开口连通的热气口,所述的热气口其截面位于两螺旋板之间;所述立柱的下端设置有热气管,所述热气管与燃烧去胶室连接,湿法去胶室内还设置有出气口。进一步的,位于清洗筒的外侧机体内设置有抽水泵,循环水管连接抽水泵,一端伸入净化室,另一端与清洗筒的底部连通;所述净化室内设置有与水平面倾斜的净化室底板,所述循环水管口位于净化室底板的上端,所述上盖上插入有过滤柄杆,所述过滤柄杆由柄头、柄杆、柄杆架组成,所述柄杆架内设置有滤网,所述过滤柄杆伸入机体内,其柄杆架与滤网所形成的槽口正对循环水管口。进一步的,所述安装架上设置有旋转气缸一组,所述旋转气缸一组的活塞转杆上安装有锥形滚筒、引料锥筒以及翻料板,所述锥形滚筒和引料锥筒位于湿法去胶室内,翻料板位于燃烧去胶室内,所述锥形滚筒的筒身上设置有多个滤水孔和卷料折板,所述的引料锥筒上开设有多个用于衔接物料从卷料折板处掉落的引料槽,所述的清洗筒为方形筒,其底部和机体上设置有密封块,引料锥筒与密封块配合将湿法去胶室与燃烧去胶室隔开,所述机体上的底板其截面与锥形滚筒齐平。进一步的,所述的卷料折板为“Z”型结构,所述锥形滚筒的侧部设置有侧挡板。进一步的,所述的密封块由密封槽以及第二连接部组成,所述密封槽与第二连接部通过第一连接部连接,且第一连接部与第二连接部之间形成不小于90度的夹角。进一步的,所述引料锥筒上固定有密封环,所述密封环与密封槽配合。进一步的,所述燃烧去胶室与燃烧器之间设置有置料网板,其燃烧去胶室的下端设置有燃烧仓,所述置料板与燃烧仓通过销轴铰接,所述燃烧仓上设置有燃烧壳体,所述燃烧壳体上固定有连杆,所述置料网板的末端底部设置有支撑板,所述支撑板上开设有滑槽,所述支撑板通过滑槽与连杆活动连接,所述支撑板的另一端连接有卸料门,所述卸料门一端与燃烧壳体铰接,另一端通过旋关块与燃烧仓配合,所述的卸料门上设置有拉环,所述的旋关块通过轴芯与燃烧仓连接。进一步的,所述燃烧壳体的上端设置有弧形引射板,所述弧形引射板上开设有多个引射喷头,位于燃烧壳体的内壁上设置有多个引射管,所述引射管与引射喷头连接,所述引射管的下端与氧气管连接,所述燃烧器置于燃烧壳体中部。本专利技术的有益效果为:1.该装置通过第一筛网和第二筛网,将落入的晶硅废料在水上来回筛动,使粘在晶硅上的灰尘清洗干净,有效提高了晶硅废料的清洗速度,随后通过烘干、燃烧工序,保证其去胶质量。2.抽水泵将污水抽至过滤柄杆的槽口处,将灰尘阻挡在滤网处,通过定期对积聚在槽口和滤网处的灰尘进行清洗,实现清洗筒的水循环,减少水资源的浪费。3.清洗后的晶硅废料落入湿法去胶室内,在螺旋板的缓冲作用下,可有效避免了晶硅废料直接撞击锥形滚筒,在晶硅废料滑落期间,通过充入的热气,对晶硅废料残余水液进行烘干,防止水液与去胶液混合,降低去胶液浓度,充分利用了燃烧时所提供的热源。4.经锥形滚筒上的卷料折板将废料卷起实现搅拌,使去胶液充分浸入;当需要将废料排至燃烧去胶室时,搅拌的锥形滚筒,通过卷料折板将废料卷起,去胶液经滚筒上的滤水孔排出,防止去胶液同时进入燃烧去胶室;“Z”型结构的卷料折板可减少废料重新掉入去胶液中,通过折弯、锥形结构的滚筒,将大部分废料滑至引料锥筒的引料槽中,最终落入燃烧去胶室内。5.引料锥筒上固定有密封环与密封槽配合,实现密封,防止热量散发。6.通过拉动拉环打开卸料门,便可将深处内部的物料排出,操作简单,卸料快速,减少了热量的散发。7.为防止燃烧时,废料表面发黑,通过充入过量氧气,将火焰转化为氧化焰,充入的氧气通过弧形引射板,喷至燃烧区域,保证充分燃烧。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图2为图1中A处的局部放大结构示意图。图3为过滤柄杆的结构示意图。图4为洗料机构的立体结构示意图。图5为图4的俯视结构示意图。图6为螺旋板与立柱的连接结构示意图。图7为锥形滚筒和引料锥筒的立体结构示意图。图8为图7另一角度的立体结构示意图。图9为图8的俯视结构示意图。图10为卸料和燃烧去胶的结构示意图。图11为图10中B处的局部放大结构示意图。图12为燃烧器与弧形引射板连接的立体结构示意图。图13为引射管设置位置的立体结构示意图。图中所述文字标注表示为:1、机体;2、上盖;3、清洗筒;4、安装架;5、旋转气缸二组;6、过滤柄杆;7、净化室;8、湿法去胶室;9、燃烧去胶室;10、螺旋板;11、转轴;12、洗料机构;14、立柱;15、循环水管;16、抽水泵;17、净化室底板;18、底板;19、旋转气缸一组;20、安装架;21、活塞转杆;23、锥形滚筒;24、侧挡板;25、卷料折板;26、引料锥筒;27、密封环;28、翻料板;29、燃烧仓;31、密封块;32、置料网板;33、销轴;34、支撑板;35、连杆;36、卸料门;37、拉环;38、燃烧壳体;39、燃烧器;40、燃烧腔;41、弧形引射板;42、引射管;43、氧气管;44、旋关块;45、轴芯;46、热气管;47、出气口;121、连接环;122、第一筛网;123、第二筛网;140、开口;141、热气口;201、下料口;230、滤水孔;260、引料槽;301、下料口;310、密封槽;311、第一连接部;312、第二连接部;340、滑槽;420、引射喷口;601、柄头;602、柄杆;603、柄杆架;6030、滤网;6031、槽口。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本专利技术的本文档来自技高网...
一种洗料式晶硅废料回收去胶装置

【技术保护点】
1.一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有安装架(4),所述安装架(4)内设置有旋转气缸二组(5),所述旋转气缸二组(5)的转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内连接洗料机构(12),所述洗料机构(12)包括具有圆形结构的第一筛网(122)和第二筛网(122),所述第一筛网(122)与第二筛网(122)铰接,第二筛网(122)与转轴(11)固定连接,第一筛网(122)上连接有连接环(121),所述连接环(121)与清洗筒(3)铰接,并与清洗筒(3)内壁旋转连接;所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301)。

【技术特征摘要】
1.一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有安装架(4),所述安装架(4)内设置有旋转气缸二组(5),所述旋转气缸二组(5)的转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内连接洗料机构(12),所述洗料机构(12)包括具有圆形结构的第一筛网(122)和第二筛网(122),所述第一筛网(122)与第二筛网(122)铰接,第二筛网(122)与转轴(11)固定连接,第一筛网(122)上连接有连接环(121),所述连接环(121)与清洗筒(3)铰接,并与清洗筒(3)内壁旋转连接;所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301)。2.根据权利要求1所述的一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,其特征在于,所述湿法去胶室(8)内设置有立柱(14),所述立柱(14)上设置有螺旋板(10),所述的立柱(14)上设置有开口(140),其杆身上具有多个与开口(140)连通的热气口(141),所述的热气口(141)其截面位于两螺旋板(10)之间;所述立柱(14)的下端设置有热气管(46),所述热气管(46)与燃烧去胶室(9)连接,湿法去胶室(8)内还设置有出气口(47)。3.根据权利要求1所述的一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,其特征在于,位于清洗筒(3)的外侧机体(1)内设置有抽水泵(16),循环水管(15)连接抽水泵(16),一端伸入净化室(7),另一端与清洗筒(3)的底部连通;所述净化室(7)内设置有与水平面倾斜的净化室底板(17),所述循环水管(15)口位于净化室底板(17)的上端,所述上盖(2)上插入有过滤柄杆(6),所述过滤柄杆(6)由柄头(601)、柄杆(602)、柄杆架(603)组成,所述柄杆架(603)内设置有滤网(6030),所述过滤柄杆(6)伸入机体(1)内,其柄杆架(603)与滤网(6030)所形成的槽口(6031)正对循环水管(15)口。4.根据权利要求1所述的一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,其特征在于,所述安装架(4)上设置有旋转气缸一组(19),所述旋转气缸一组(19)的活塞转杆(21)上安装有锥形滚筒(23)、引料锥筒(26)以及翻料板(28),所述锥形滚筒(23)和引料...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓君孙振忠李川陈海彬
申请(专利权)人:东莞理工学院
类型:发明
国别省市:广东,44

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