The invention discloses a washing-type silicon scrap recovery and degumming device, which comprises an arc-shaped upper cover and a body, a cleaning cylinder and an installation rack are arranged in the body, and the body is divided into a purification chamber, a wet degumming chamber and a combustion degumming chamber, a degumming liquid is arranged in the wet degumming chamber, and a burner is arranged at the bottom of the combustion degumming chamber. The upper end of the mounting frame is provided with a mounting frame, and the rotating shaft of the rotating cylinder group is connected with a washing mechanism. The washing mechanism comprises a first screen and a second screen, the first screen and the second screen are articulated, the first screen is connected with a connecting ring, the connecting ring is articulated with the cleaning cylinder, and rotates with the inner wall of the cleaning cylinder. Connect. The object of the invention is to provide a washing type silicon scrap recovery and degumming device, which can screen the fallen silicon scrap back and forth through the first screen and the second screen, so as to clean the dust adhered to the silicon and effectively improve the cleaning speed of the silicon scrap.
【技术实现步骤摘要】
一种洗料式晶硅废料回收去胶装置
本专利技术属于晶硅废料的回收领域,具体为一种洗料式晶硅废料回收去胶装置。
技术介绍
人类进入21世纪后,随着半导体工业的快速发展,高纯晶体硅材料得到了广泛应用,在制成芯片过程中,经常会由于质量不合格,或切割过程中产生晶硅废料,如果能将这些废料综合回收利用,将会减少环境污染,提高能源的利用率,对缓解我国单晶硅和多晶硅的紧缺,减少进口有重大意义。单晶废料和多晶废料与其他原料有区别,废料上具有残留的UV胶水和粘胶条,若不完全去除将导致多晶硅锭纯度不达标等问题,在晶硅废料去胶技术前,需要对晶硅废料进行水洗,水洗后的污水直接排放造成水资源严重浪费,且在水洗完毕后需要晾干,导致时间延长,极大的降低了去胶效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对以上问题,提供一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,该装置通过第一筛网和第二筛网,将落入的晶硅废料来回筛动,使粘在晶硅上的灰尘清洗干净,有效提高了晶硅废料的清洗速度,随后通过烘干、燃烧工序,保证其去胶质量。为实现以上目的,本专利技术采用的技术方案是:一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖,所述上盖下端设置有机体,其特征在于,所述机体内设置有清洗筒和安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,所述的湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;所述机体的上端设置有安装架,所述安装架内设置有旋转气缸二组,所述旋转气缸二组的转轴穿过机体伸入清洗筒内连接洗料机构,所述洗料机构包括具有圆形结构的第一筛网和第二筛网,所述第一筛网与第二筛网铰接,第二筛网与转轴固定连接,第一筛网上连接有连接环, ...
【技术保护点】
1.一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有安装架(4),所述安装架(4)内设置有旋转气缸二组(5),所述旋转气缸二组(5)的转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内连接洗料机构(12),所述洗料机构(12)包括具有圆形结构的第一筛网(122)和第二筛网(122),所述第一筛网(122)与第二筛网(122)铰接,第二筛网(122)与转轴(11)固定连接,第一筛网(122)上连接有连接环(121),所述连接环(121)与清洗筒(3)铰接,并与清洗筒(3)内壁旋转连接;所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301)。
【技术特征摘要】
1.一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有安装架(4),所述安装架(4)内设置有旋转气缸二组(5),所述旋转气缸二组(5)的转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内连接洗料机构(12),所述洗料机构(12)包括具有圆形结构的第一筛网(122)和第二筛网(122),所述第一筛网(122)与第二筛网(122)铰接,第二筛网(122)与转轴(11)固定连接,第一筛网(122)上连接有连接环(121),所述连接环(121)与清洗筒(3)铰接,并与清洗筒(3)内壁旋转连接;所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301)。2.根据权利要求1所述的一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,其特征在于,所述湿法去胶室(8)内设置有立柱(14),所述立柱(14)上设置有螺旋板(10),所述的立柱(14)上设置有开口(140),其杆身上具有多个与开口(140)连通的热气口(141),所述的热气口(141)其截面位于两螺旋板(10)之间;所述立柱(14)的下端设置有热气管(46),所述热气管(46)与燃烧去胶室(9)连接,湿法去胶室(8)内还设置有出气口(47)。3.根据权利要求1所述的一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,其特征在于,位于清洗筒(3)的外侧机体(1)内设置有抽水泵(16),循环水管(15)连接抽水泵(16),一端伸入净化室(7),另一端与清洗筒(3)的底部连通;所述净化室(7)内设置有与水平面倾斜的净化室底板(17),所述循环水管(15)口位于净化室底板(17)的上端,所述上盖(2)上插入有过滤柄杆(6),所述过滤柄杆(6)由柄头(601)、柄杆(602)、柄杆架(603)组成,所述柄杆架(603)内设置有滤网(6030),所述过滤柄杆(6)伸入机体(1)内,其柄杆架(603)与滤网(6030)所形成的槽口(6031)正对循环水管(15)口。4.根据权利要求1所述的一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,其特征在于,所述安装架(4)上设置有旋转气缸一组(19),所述旋转气缸一组(19)的活塞转杆(21)上安装有锥形滚筒(23)、引料锥筒(26)以及翻料板(28),所述锥形滚筒(23)和引料...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓君,孙振忠,李川,陈海彬,
申请(专利权)人:东莞理工学院,
类型:发明
国别省市:广东,44
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