The invention discloses a refining method for recovering crude argon, in which the recovered argon is pressurized, pre-cooled once and mixed with hydrogen to remove oxygen, and the high-temperature argon after the reaction is cooled in turn, pre-cooled twice, and then purified to obtain dry crude argon. The method is characterized in that the dry crude argon is fed into the crude argon containing the first adsorption capacity. The pressure swing adsorption unit of the sorbent and the second sorbent vessel, the first sorbent vessel filled with the sorbent selectively adsorbs oxygen, carbon dioxide and nitrogen gas components under the working pressure, and the pure argon after adsorption is discharged from the top of the first sorbent vessel; the second sorbent vessel desorbs the adsorbed impurity gas from the sorbent, and Discharge through the bottom of the second adsorption vessel. The reclamation and purification method for recovering crude argon simplifies the process and site installation and construction, cancels the nitrogen removal unit of the cryogenic method, and greatly reduces the cost of the complete set of equipment and the manufacturing time.
【技术实现步骤摘要】
一种回收粗氩气再提纯方法
本专利技术涉及一种回收气体的方法,尤其涉及一种回收粗氩气再提纯方法。
技术介绍
直拉法是生产单晶硅的主要方法,全球70%~80%的单晶硅通过直拉法生产。最常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用即像真空工艺又像流动气氛工艺的减压拉晶工艺;减压工艺是在硅单晶拉制过程中,连续等速地向单晶炉炉膛内通入高纯度氩气,同时真空泵不断地从炉膛向外抽送氩气,保持炉膛内真空度稳定在20托左右,这种工艺既有真空工艺的特点,又有流动气氛工艺的特点。减压拉晶工艺的真空泵一般采用滑阀泵,滑阀泵是用油来保持密封的机械真空泵。氩气携带单晶拉制过程中由于高温而产生的硅氧化物和杂质挥发物,并通过真空泵的抽送排放到大气。通过对排放氩气的分析,主要杂质成分为,氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等烷烃;回收利用这部分氩气有很大现实意义。氩气回收纯化的公知技术:对来自单晶炉回收的氩气进行粗除油,再经压缩冷却后高精度除油除尘;接着通过高温催化使甲烷等烃类和一氧化碳同氧气反应生产水和二氧化碳,催化反应中保证氧气轻微过量(杂质氧气不够则加入氧气);通过冷却后在催化剂作用下使过量氧气同加入的氢气反应生成水,并保证反应氢气过量,处理后氩气中杂质成分为水、二氧化碳、氢气和氮气;最后经过氩气常温吸附单元吸附水和二氧化碳,得到只含有氮气和氢气为杂质的粗氩气。氩气常温吸附单元由二个吸附器组成,吸附器中装有吸附水和二氧化碳的吸附剂,一个吸附器进行吸附工作,另一个吸附器进行包括泄压、加温、吹冷的再生工作。氩气常温吸附单元及变压吸附单元通过时间程序控制器自动控制运行切换。如专利201210078306 ...
【技术保护点】
1.一种回收粗氩气再提纯方法,回收氩气经加压、一次预冷后与氢气混合反应除去氧气,反应后的高温氩气依次经降温、二次预冷后,再经纯化处理得干燥的粗氩气,其特征在于,干燥的粗氩气送入含有第一吸附容器和第二吸附容器的变压吸附单元,装填有吸附剂的所述第一吸附容器在工作压力下选择性地吸附掉氧气、二氧化碳、氮气气体组分,吸附后的纯氩气由所述第一吸附容器顶排出;所述第二吸附容器将吸附剂中吸附的杂质气体解吸出来,并通过第二吸附容器底部逆放排出。
【技术特征摘要】
1.一种回收粗氩气再提纯方法,回收氩气经加压、一次预冷后与氢气混合反应除去氧气,反应后的高温氩气依次经降温、二次预冷后,再经纯化处理得干燥的粗氩气,其特征在于,干燥的粗氩气送入含有第一吸附容器和第二吸附容器的变压吸附单元,装填有吸附剂的所述第一吸附容器在工作压力下选择性地吸附掉氧气、二氧化碳、氮气气体组分,吸附后的纯氩气由所述第一吸附容器顶排出;所述第二吸附容器将吸附剂中吸附的杂质气体解吸出来,并通过第二吸附容器底部逆放排出。2.根据权利要求1所述的回收粗氩气再提纯方法,其特征在于,所述加压后的回收氩气先经粗氩气缓冲罐缓冲后进入第一预冷器进行一次预冷,所述一次预冷处理后的粗氩气温度为5-8℃。3.根据权利要求1所述的回收粗氩气再提纯方法,其特征在于,所述一次预冷处理后的粗氩气,先依次经油过滤器和活性炭吸附器除油后,再送入除氧器与氢气混合反应除去氧气...
【专利技术属性】
技术研发人员:王传瑞,
申请(专利权)人:上海联风能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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