高温气相沉积炉用均匀热场结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高温气相沉积炉用均匀热场结构，包括内室和外室，所述外室内设有竖直放置的柱状石墨发热体，所述内室和所述外室的底部设有通气孔，所述内室炉底的中间位置上设有加热装置，所述加热装置为片状结构的石墨，所述加热装置外套设有防护结构；所述外室底部对称设置有进气管路，所述进气管路自所述外室底部向上延伸，并进入所述内室炉中位置，所述进气管路上位于所述内室炉中的管壁上设有通孔。本实用新型专利技术采用上述结构的高温气相沉积炉用均匀热场结构，增加炉体内室底部加热系统及炉体中部补气系统，达到均匀气相沉积并提高沉积效率的目的。

【技术实现步骤摘要】
高温气相沉积炉用均匀热场结构
本技术涉及沉积炉配套结构
，特别是涉及一种高温气相沉积炉用均匀热场结构。
技术介绍
气相沉积炉一般的使用的温度都比较高，且使用过程中一般会存在两个不同的热场，一个为熔料热场也就是所说的坩埚区域，一个为沉积热场，即沉积区。化学气相沉积的工艺决定了化学气相沉积炉有两个不同的热场，且温度比较高，这对确保炉内的稳定的热场并同时保证其高温工作安全性提出了挑战。目前，国内高温气相沉积炉工作温度为800-1200℃，炉体结构为内室沉积、外室加热。多数工业用气相沉积炉尺寸增大至直径4m、高度4m。加热方式为外室柱状石墨发热体辐射加热，气场为底部通气、顶部真空泵抽气作为气体流通动力；炉体尺寸过大导致气相沉积炉热场、气场不均匀，沉积效果、效率偏低。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种高温气相沉积炉用均匀热场结构，增加炉体内室底部加热系统及炉体中部补气系统，达到均匀气相沉积并提高沉积效率的目的。为实现上述目的，本技术提供了一种高温气相沉积炉用均匀热场结构，包括内室和外室，所述外室内设有竖直放置的柱状石墨发热体，所述内室和所述外室的底部设有通气孔，所述内室炉底的中间位置上设有加热装置，所述加热装置为片状结构的石墨，所述加热装置外套设有防护结构；所述外室底部对称设置有进气管路，所述进气管路自所述外室底部向上延伸，并进入所述内室炉中位置，所述进气管路上位于所述内室炉中的管壁上设有通孔。优选的，所述进气管路的数量为2个，所述进气管路的直径为2cm，所述通孔之间的间隔为5cm，所述通孔的直径为3mm。优选的，所述加热装置的直径为1.5m，并位于所述内室炉底中间高50cm的位置。优选的，所述进气管路的材质为耐热钢材，所述防护结构的材质为耐火材料。因此，本技术采用上述结构的高温气相沉积炉用均匀热场结构，增加炉体内室底部加热系统及炉体中部补气系统，达到均匀气相沉积并提高沉积效率的目的。下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。附图说明图1是本技术高温气相沉积炉用均匀热场结构实施例的示意图；其中：1、内室；2、外室；3、通气孔；4、加热装置；5、防护结构；6、进气管路；7、通孔。具体实施方式下面结合附图对本技术的实施方式做进一步的说明。图1是本技术高温气相沉积炉用均匀热场结构实施例的示意图，如图所示，一种高温气相沉积炉用均匀热场结构，包括内室1和外室2，外室2内设有竖直放置的柱状石墨发热体。内室1沉积、外室2加热，外室2加热方式为自上而下的柱状石墨发热体，热量辐射至内室1。内室1和外室2的底部设有通气孔3，气体在内室1从底部通入，温度低的气体进入内室1时会带走热量，导致炉底温度偏低。内室1炉底的中间位置上设有加热装置4，加热装置4为片状结构的石墨。加热装置4的直径为1.5m，位于内室1炉底中间高50cm的位置，可单独控制炉底温度，提高炉体热场均匀性。在内室1底部中间位置高50cm、直径1.5m处增加耐火砖砌筑的防护结构5，用于套设加热装置4。内部以片状结构石墨作为发热体的加热单独控制装置，可以保证内室1温度均匀。沉积效率、均匀性与接触到产品的新鲜气体量成正相关关系，内室1中部至上部新鲜气体较少，导致沉积效率较低。外室2底部对称设置有进气管路6，进气管路6的材质为耐热钢材，进气管路6自外室2底部向上延伸，并进入内室1炉中位置。进气管路6的数量为2个，进气管路6的直径为2cm。进气管路6上位于内室1炉中的管壁上设有通孔7。从外室2底部进气管路6对称引出2路至外室2炉中位置，然后弯曲伸入到内室1，弯曲连接处采用软连接，保证进入内室1的进气管路6长度可伸缩控制，进入内室1进气管路6部分间隔5cm打孔直径3mm通孔7，保证内室1中部至上部有足够的新鲜气体，增加炉体气场均匀性。本系统以上底部加热、中间补气系统可以提升沉积效率5-10％。并能确保高温气相沉积炉沉积内室热场、气场均匀。因此，本技术采用上述结构的高温气相沉积炉用均匀热场结构，增加炉体内室底部加热系统及炉体中部补气系统，达到均匀气相沉积并提高沉积效率的目的。最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本技术技术方案的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温气相沉积炉用均匀热场结构，其特征在于：包括内室和外室，所述外室内设有竖直放置的柱状石墨发热体，所述内室和所述外室的底部设有通气孔，所述内室炉底的中间位置上设有加热装置，所述加热装置为片状结构的石墨，所述加热装置外套设有防护结构；所述外室底部对称设置有进气管路，所述进气管路自所述外室底部向上延伸，并进入所述内室炉中位置，所述进气管路上位于所述内室炉中的管壁上设有通孔。

【技术特征摘要】
1.一种高温气相沉积炉用均匀热场结构，其特征在于：包括内室和外室，所述外室内设有竖直放置的柱状石墨发热体，所述内室和所述外室的底部设有通气孔，所述内室炉底的中间位置上设有加热装置，所述加热装置为片状结构的石墨，所述加热装置外套设有防护结构；所述外室底部对称设置有进气管路，所述进气管路自所述外室底部向上延伸，并进入所述内室炉中位置，所述进气管路上位于所述内室炉中的管壁上设有通孔。2.根据权利要求1所述的一种高温...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金铎，啜艳明，郭宾，郭凤祥，
申请(专利权)人：保定顺天新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13