磁控溅射卷绕镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其包括：真空箱、安装于真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于真空箱外的若干抽气装置。卷绕装置包括滑动安装于真空箱上的支撑框架、安装于支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，第一张力测量辊与放卷辊相对设置，第二张力测量辊位于跟踪机构的一侧，收卷辊位于跟踪机构的另一侧。镀膜装置包括主框体、局部位于主框体内的镀膜鼓、设于主框体内且与镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于镀膜腔室内的溅射靶。该磁控溅射卷绕镀膜机的空间占用小、镀膜质量高、便于使用及维护。

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射卷绕镀膜机
本技术涉及柔性卷绕真空镀膜设备领域，特别是涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机。
技术介绍
磁控溅射是真空镀膜的重要方法之一，其具有膜层控制精度高，镀膜均匀性好，成膜温度低等优点，尤其适用受温升限制的金属产品和非金属如塑料、纸张等产品的表面改性镀膜。磁控溅射卷绕镀膜是采用磁控溅射镀膜工艺，以卷对卷的生产方式，对柔性基材如纸张、PET、PI、BOPP等材料进行表面改性的镀膜方法，其制造的产品涉及光学、电子学、电磁学等多个领域，现有产品如建筑及汽车窗膜、防伪包装膜、电磁屏蔽膜、透明导电膜等已经得到广泛的应用。进年来随着产品和技术的进步，柔性基材表面镀膜的膜系结构更加复杂，要求磁控溅射卷绕设备需要配置更多的溅射靶来满足复杂膜系工艺的需求。溅射靶一般布置在镀膜鼓的周围。通常一个镀膜鼓配置溅射靶位在六个以下，更多的溅射靶就需要镀膜机配置二个镀膜鼓。现有磁控溅射卷绕镀膜机的设计通常采用多真空室单元的串联方式。如装有放卷基材的真空室为放卷室单元，装有镀膜鼓及周围布置溅射靶的为镀膜室单元，装有收卷基材的为收卷室单元。如双镀膜鼓的磁控溅射卷绕镀膜机由放卷室单元、第一镀膜室单元、第二镀膜室单元和收卷室单元组成，上述四个单元之间通过矩形管道依次连接。采用真空室单元的串联方式的磁控溅射卷绕镀膜机设备占地面积大，对设备场地基础要求高。由于柔性基材不同于钢带、玻璃等硬质材料，设备安装后各单元室之间的位置偏差，容易出现卷绕系统运行路径平行度变差，基材容易出现变形起皱的问题。同时采用真空室单元串联方式的设计，磁控溅射卷绕镀膜机的卷绕系统同样被分为多个单元模块，安置于各个真空室单元中。使得基材走膜路径变复杂，基材牵引和卷绕系统各部件的检修维护难度增加。
技术实现思路
基于此，有必要针对磁控溅射卷绕镀膜机问题，提供一种空间占用小、镀膜质量高、便于使用及维护的磁控溅射卷绕镀膜机。一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀膜腔室内的溅射靶。上述磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空箱、安装于真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于真空箱外的若干抽气装置，使用时卷绕装置配合轨道车使用。由于真空箱一体构成，八边形真空箱的上部采用大的斜边结构设计，有效增加真空箱的顶部承压能力，同时也有效减少真空箱的容积，空间占用小且便于抽真空。由于镀膜装置上设有若干镀膜腔室，每个镀膜腔室相对独立，便于每个溅射靶进行良好的镀膜，隔离组件使相邻镀膜腔室实现隔离，使的每组溅射都能互不干扰进行，避免气体相互干扰影响镀膜质量，镀膜质量高。通过第一张力测量辊、第二张力测量辊及跟踪机构的设置，可以保证柔性基材的输送的稳定性，及时调整，保证镀膜的质量。由于卷绕装置和两个镀膜装置都位于真空箱内，使柔性基材的走膜路径更加简便，从而便于各个部件的排布安装，便于使用和维护。在其中一个实施例中，所述卷绕装置位于所述镀膜装置的上方，两个所述镀膜装置并排设置。在其中一个实施例中，所述主框体之间形成中央抽气通道。在其中一个实施例中，所述卷绕装置还包括安装于所述支撑框架上的在线监测组件及辅助动力辊，所述在线监测组件位于所述第二张力测量辊远离所述跟踪机构的一侧，所述辅助动力辊位于所述在线监测组件的远离所述第二张力测量辊的一侧。在其中一个实施例中，所述真空箱的内壁上设有若干吊梁轨道及第一低温盘管，所述吊梁轨道与所述支撑框架连接。在其中一个实施例中，所述支撑框架包括滑动安装于所述吊梁轨道上的墙板、安装于所述轨道车上的门板、两端分别与所述墙板、门板连接的第一支撑梁及第二支撑梁。在其中一个实施例中，所述镀膜腔室内安装有第二低温盘管。在其中一个实施例中，所述隔离组件包括两块第一隔离板、倾斜安装于所述第一隔离板上的第二隔离板、夹设于相邻所述第二隔离板上的中间柱，相邻所述第二隔离板呈锥形设置。在其中一个实施例中，所述抽气装置与所述真空箱、镀膜腔室一一对应连通。在其中一个实施例中，所述抽气装置包括分子泵、与所述分子泵连接的管道、安装于所述管道上的阀门。附图说明图1为本技术一较佳实施例的磁控溅射卷绕镀膜机的截面示意图；图2为图1所示磁控溅射卷绕镀膜机中的部分示意图；图3为图1所示磁控溅射卷绕镀膜机中的局部示意图；图4为图1所示磁控溅射卷绕镀膜机中跟踪机构的使用示意图。附图标注说明：100-磁控溅射卷绕镀膜机，20-真空箱，21-吊梁轨道，22-第一低温盘管，30-卷绕装置，31-放卷辊，32-第一张力测量辊，33-第二张力测量辊，34-跟踪机构，35-收卷辊，36-导向辊，37-展平辊，38-在线监测组件，39-辅助动力辊，341-机构框架，342-下过辊，343-跟踪展平辊，344-上过棍，345-发光探头，346-接收探头，381-监测发射器，382-监测接收器，41-墙板，42-第一支撑梁，43-第二支撑梁，50-镀膜装置，51-主框体，52-镀膜鼓，53-镀膜腔室，54-隔离组件，55-溅射靶，56-第二低温盘管，57-中央抽气通道，541-第一隔离板，542-第二隔离板，543-中间柱，60-抽气装置，61-分子泵，62-管道，63-阀门，70-收卷。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。请参照图1至图4，为本技术一较佳实施例的磁控溅射卷绕镀膜机100，配合轨道车使用，该磁控溅射卷绕镀膜机100包括真空箱20、安装于真空箱20内的卷绕装置30及两个镀膜装置50、安装于真空箱20外的若干抽气装置60，其中卷绕装置30位于镀膜装置50的上方，两个镀膜装置50并排设置。使将待镀膜的基材料卷安装在卷绕装置30上，并将基材开卷从镀膜装置50上绕过，之后抽气装置60将真空箱和镀膜装置50内的气体抽走形成真空状态，最后启动进行镀膜加工。所述真空箱20有单一的八边形室体构成，八边形真空箱20上部采用大的斜边结构，有效增加真空箱20的顶部承压能力，同时八边形真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其特征在于，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀膜腔室内的溅射靶。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其特征在于，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀膜腔室内的溅射靶。2.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕装置位于所述镀膜装置的上方，两个所述镀膜装置并排设置。3.根据权利要求2所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述主框体之间形成中央抽气通道。4.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕装置还包括安装于所述支撑框架上的在线监测组件及辅助动力辊，所述在线监...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军生，
申请(专利权)人：广东中钛节能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44