升降机、工艺腔设备及其控制方法技术

本发明专利技术是关于一种升降机、工艺腔设备及其控制方法，该升降机包括：驱动装置；支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。该技术方案结构简单易实现，安装也简单。

Lifter, process cavity equipment and control method thereof

The invention relates to an elevator, a process chamber device and a control method thereof. The elevator comprises a driving device, a supporting device connected with the driving device, and the driving device drives the supporting device to lift and shrink; a bracket is connected with the supporting device to lift and shrink under the driving of the supporting device. The technical scheme is simple and easy to implement and simple to install.

【技术实现步骤摘要】
升降机、工艺腔设备及其控制方法
本专利技术涉及机械
，尤其涉及升降机、工艺腔设备及其控制方法。
技术介绍
在太阳能真空设备中，经常需要一些机械手将基板送入工艺腔的腔室内，工艺腔设备中的托起装置托住基板后升起，机械手就可以退出真空室，完成一次基板由外部至真空室的传输。该托起装置多是采用蜗轮蜗杆结构或滚珠丝杠结构，由电机作为动力源，在蜗轮蜗杆结构或滚珠丝杠结构与电机之间安装导向结构，引导该电机提供的动力使得蜗轮蜗杆结构或滚珠丝杠结构实现上下往复的运动，安装比较复杂，并且调整麻烦。
技术实现思路
本专利技术实施例提供升降机、工艺腔设备及其控制方法。所述技术方案如下：根据本专利技术实施例的第一方面，提供一种升降机，包括：驱动装置；支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。在一个实施例中，所述驱动装置包括电动滑台。在一个实施例中，所述托台包括：托板，与所述支撑装置一端连接；托柱，设置于所述托板，用于支撑被支撑物。在一个实施例中，所述支撑装置包括：波纹管；上法兰，与所述波纹管的一端连接；下法兰，与所述波纹管的另一端连接；内柱，与所述驱动装置连接，且所述内柱设置于所述波纹管内，所述内柱的一端与所述波纹管通过下法兰固定连接；所述内柱的另一端穿过所述波纹管一端的上法兰。在一个实施例中，所述上法兰设有密封槽。在一个实施例中，所述升降机还包括：固定架，连接所述驱动装置，用于将所述升降机固定在预设位置。根据本专利技术实施例的第二方面，提供一种工艺腔设备，包括上述的升降机和工艺腔；其中，所述工艺腔设置有开孔，所述升降机的支撑装置穿过所述开孔，且所述托台设置于所述工艺腔内。在一个实施例中，所述工艺腔为真空腔；所述工艺腔设备还包括：密封层，设置在所述开孔周围，用于密封所述开孔与所述支撑装置之间的间隙。在一个实施例中，所述支撑装置包括波纹管，与所述波纹管的一端连接的上法兰；与所述波纹管的另一端连接的下法兰；所述上法兰设置于所述开孔周围；所述密封层，设置于所述上法兰。在一个实施例中，所述上法兰朝向所述开孔一面设有密封槽；所述密封层设置于所述密封槽内。在一个实施例中，包括至少两个所述升降机；所述工艺腔的底部对应每个升降机设置有一个开孔。在一个实施例中，所述工艺腔设备还包括：传输装置，用于传输被支撑物；位置检测装置，用于检测所述被支撑物位置信息；控制装置，用于根据所述位置检测装置检测的所述被支撑物位置信息与所述控制装置内预先存储的预设位置信息之间的差值，控制所述传输装置和升降机。根据本专利技术实施例的第三方面，提供一种工艺腔设备的控制方法，应用于上述的工艺腔设备，所述方法包括：当位置检测装置检测到传输装置将被支撑物运输至第一预设位置时，控制装置控制升降机的驱动装置驱动支撑装置带动托台升起，使得所述被支撑物脱离所述传输装置；当所述位置检测装置检测到被支撑物已脱离所述传输装置的位置信息时，所述控制装置控制所述传输装置离开所述工艺腔；在所述传输装置离开工艺腔后，所述控制装置控制升降机的驱动装置驱动支撑装置带动托台上的被支撑物运动至第二预设位置。本专利技术的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：本实施例可以由驱动装置带动支撑装置进行升降运动，放置被支撑物的托台可以在支撑装置的带动下进行升缩运动，如此实现带动该被支撑物进行升缩运动，结构简单易实现，安装也简单。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。图1是根据一示例性实施例示出的一种升降机的结构示意图。图2是根据一示例性实施例示出的一种升降机的结构示意图。图3是根据一示例性实施例示出的一种支撑装置的结构示意图。图4是根据一示例性实施例示出的一种升降机的结构示意图。图5是根据一示例性实施例示出的一种工艺设备的结构示意图。图6是根据一示例性实施例示出的一种被支撑物从外部放入托台的传输流程示意图。图7是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔设备的控制方法的流程图。具体实施方式这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本专利技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本专利技术的一些方面相一致的装置和方法的例子。图1是根据一示例性实施例示出的一种升降机的结构示意图，如图1所示，该升降机1包括驱动装置10；支撑装置11连接所述驱动装置10，且所述驱动装置10驱动所述支撑装置11升缩；托台12，与所述支撑装置11连接，在所述支撑装置11的带动下进行升缩；示例的，该托台12可以固定在支撑装置11的顶部。这里，该驱动装置10可以是任一能够驱动支撑装置11做升缩运动的装置，这里的升缩可以是垂直方向上的升降运动，也可以是水平方向上的左右伸缩运动；可以是根据实际需要放置升降机1，使得该支撑装置11在驱动装置10的驱动下进行升缩。本实施例可以由驱动装置驱动支撑装置升缩，托台可以在支撑装置的带动下进行升缩，如此实现带动托台上的被支撑物进行升缩，结构简单易实现，安装也简单。在一种可能的实施例中，所述驱动装置10可以是电动滑台。这里，该电动滑台由直线滑台与马达驱动构成，该马达驱动可以带动直线滑台上的滑块做直线运动，如图1所示，本实施例中的驱动装置10即电动滑台中的滑块101可以在马达驱动的带动下做升缩的往复运动，该电动滑台上的滑块101连接支撑装置11，故滑块101在做升缩时会带动该支撑装置11升缩；该托台12与所述支撑装置11连接，如固定在支撑装置11的顶部，故支撑装置11在升缩时会带动该支撑装置11上的托台12升缩，该托台12上可以放置被支撑物，如此，本升降机1就可以带动该被支撑物进行升缩运动，传输该被支撑物。本实施例可以由电动滑台带动支撑装置进行升降运动，放置被支撑物的托台可以在支撑装置的带动下进行升降运动，如此实现带动该被支撑物进行升降运动，结构简单易实现，安装也简单。在一种可能的实施例中，图2是根据一示例性实施例示出的一种升降机的结构示意图，如图2所示，该托台12包括托板121和托柱122，该托板121与所述支撑装置11一端连接，示例的，该托板可以位于在所述支撑装置11的顶部；托柱122，设置于所述托板121，用于支撑被支撑物，示例的，托柱122可以设置在所述托板121的上表面；该托板121作为托柱122的支点，托柱122作为被支撑物的支点。这里，在托板121上设置的托柱122可以方便机械手等传输装置将被支撑物放置在托柱122，在托柱122托住该被支撑物后可以上升一段距离，该段距离不会让托板121碰到机械手，又使该被支撑物离开机械手，让机械手等运输器件可以离开；当然，该结构也方便机械手从托住上取出该被支撑物；完成被支撑物的交接。这里，该托柱122的分布不会影响该机械手等运输器件的运动，托板121上的托柱122可以根据实际需要进行位置分布，如可以根据其承受的被支撑物的重量分布，在承受的被支撑物的重量分布均匀时该托柱122可以在托板121上均本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升降机，其特征在于，包括：驱动装置；支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。

【技术特征摘要】
1.一种升降机，其特征在于，包括：驱动装置；支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。2.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述驱动装置包括电动滑台。3.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述托台包括：托板，与所述支撑装置一端连接；托柱，设置于所述托板，用于支撑被支撑物。4.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述支撑装置包括：波纹管；上法兰，与所述波纹管的一端连接；下法兰，与所述波纹管的另一端连接；内柱，与所述驱动装置连接，且所述内柱设置于所述波纹管内，所述内柱的一端与所述波纹管通过下法兰固定连接；所述内柱的另一端穿过所述波纹管一端的上法兰。5.根据权利要求4所述的升降机，其特征在于，所述上法兰设有密封槽。6.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述升降机还包括：固定架，连接所述驱动装置，用于将所述升降机固定在预设位置。7.一种工艺腔设备，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述的升降机和工艺腔；其中，所述工艺腔设置有开孔，所述升降机的支撑装置穿过所述开孔，且所述托台设置于所述工艺腔内。8.根据权利要求7所述的工艺腔设备，其特征在于，所述工艺腔为真空腔；所述工艺腔设备还包括：密封层，设置在所述开孔周围，用于密封所述开孔与所述支撑装置之间的间隙。9.根据权利要求8...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹京星，杨娜，张津岩，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11