本发明专利技术公开了一种晶圆搬运机械手臂,涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置,所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座,所述固定座上转动连接有转动座,所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构;所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆,所述滑杆至少设置为三个,多个所述滑杆的轴线相互平行,并平行于所述转动座的转动轴线,至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧;所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座,所述连接基座用于安装所述搬运头,所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。减小了搬运装置晃动的可能,增加了晶圆的加工精度。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆搬运机械手臂
本专利技术涉及半导体零件输送领域,尤指一种晶圆搬运机械手臂。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆在制造加工过程中,需要通过机械手臂进行位置的更改;但在现有的机械手臂的结构中,丝杠及两个滑杆形成一个平面,因此造成机械手臂在竖直方向运动的过程中,运输晶圆的机械手臂受到的约束较少,稳定性较低,存在摇晃摆动的现象,不利于机械手臂将晶圆运输到特定的位置,降低了晶圆的加工精度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种晶圆搬运机械手臂,增加滑杆与转动座之间的约束,减小了搬运装置晃动的可能,有利于机械手臂将晶圆运输到特定的位置,增加了晶圆的加工精度。本专利技术提供的技术方案如下:一种晶圆搬运机械手臂,包括主体和搬运装置,所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座,所述固定座上转动连接有转动座,所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构;所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆,所述滑杆至少设置为三个,多个所述滑杆的轴线相互平行,并平行于所述转动座的转动轴线,至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧;所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座,所述连接基座用于安装所述搬运头,所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。本实施例中,通过至少三个平行设置的滑杆,由于至少一个滑杆的轴线在其余滑杆形成的平面的外侧,即所有滑杆的轴线不能够在同一个平面内,至少存在三个滑杆在同一平面内能够形成一个三角形,所有滑杆能够组成稳定的结构,升降机构在驱动搬运装置升降的过程中,增加滑杆与转动座之间的约束,减小了搬运装置晃动的可能,有利于机械手臂将晶圆运输到特定的位置,增加了晶圆的加工精度。进一步,所述转动座上设有用于所述滑杆穿过的轴套,所述轴套的内径与所述滑杆的直径相同。本实施例中,通过轴套的设置,进一步增加了转动座与滑杆之间的约束,增加了每个滑杆在滑移过程中的约束,减小了搬运装置在升降过程中晃动的可能。进一步,所述轴套设置在所述转动座靠近所述连接基座的一侧,所述轴套远离所述转动座的一端还设有止动环,所述止动环为柔性材料。本实施例中,当升降装置在升降过程中,连接基座向转动座的一侧靠近时,止动环的设置,减小了连接基座对转动座的冲击,减小了转动座损坏的可能,增加了转动座的安全性。进一步,所述连接底座靠近转动座的一侧开设有第一限位槽,所述滑杆靠近连接底座的一端的抵接在所述第一限位槽内;所述连接基座靠近转动座的一侧开设有第二限位槽,所述滑杆靠近连接基座的一端的抵接在所述第二限位槽内;所述第一限位槽、第二限位槽与所述滑杆均为过盈配合。本实施例中,滑杆能够插接并固定在第一限位槽和第二限位槽内,实现了连接基座、连接底座与滑杆的可拆卸连接。进一步,所述第一限位槽远离转动座的一侧开设有第一连通槽;所述第二限位槽远离转动座的一侧开设有第二连通槽。本实施例中,在滑杆插接在第一限位槽和第二限位槽内时,第一限位槽或第二限位槽内的气体能够从第一连通槽或第二连通槽内溢出,减小了气体残留在连接基座、连接底座与滑杆之间的间隙内,减小了连接基座与连接底座抖动的可能,增加了连接基座与连接底座的稳定性。进一步,所述转动机构包括设置在所述主体上的转动轮,所述转动轮的轴线平行于所述转动座的转动轴线;所述转动机构还包括套设在所述转动轮与所述转动座上的转动皮带,且所述转动皮带抵接在所述转动轮和所述转动座上;所述固定座上还设有用于驱动所述转动轮转动的第一转动电机。本实施例中,通过第一转动电机的设置,第一电机转动能够带动转动轮转动,且由于转动轮的轴线平行于转动座的转动轴线,套设在转动轮与转动座上的转动皮带能够带动转动座转动,实现了转动座的转动,实现了搬运装置的转向。进一步,所述固定座上还设有用于抵接在所述转动皮带上的张紧轮,所述张紧轮的轴线平行于所述转动轮的轴线。本实施例中,张紧轮的设置,增加了转动皮带的张力,减小了转动皮带相对于转动座或转动轮打滑的可能,增加了转动皮带传输作用的稳定性。进一步,所述固定座上设有张力调节装置,所述张力调节装置包括设置在所述固定座上的滑移块,所述滑移块与所述转动皮带的轴线之间的间距可调,所述滑移块上还设有用于抵接在所述转动皮带上的调节轮,所述调节轮的轴线平行于所述转动轮的轴线。本实施中,通过张力调节装置的设置,进一步调节了转动皮带的张力,减小了转动皮带相对于转动座或转动轮打滑的可能,也减小了转动皮带因张力过大损坏的可能,增加了转动皮带传输作用的稳定性。进一步,所述升降机构包括设置在所述连接底座上的丝杠,所述丝杠螺纹连接在转动座上,所述丝杠远离连接底座的一端转动连接在所述连接基座上,所述连接基座上还设有用于驱动所述丝杠转动的第二转动电机。本实施例中,第二转动电机转动即可带动丝杠转动,由于丝杠螺纹连接在转动座上,且转动座转动连接在固定座上,转动座竖直方向上的高度确定,因此,丝杠转动接口带动搬运装置升降,实现了升降装置高度的变化。进一步,所述转动座上设有用于螺纹连接在所述丝杠上的螺纹套。本实施例中,通过螺纹套的设置,进一步增加了转动座与丝杠之间的约束,增加了搬运装置在滑移过程中的约束,减小了搬运装置在升降过程中晃动的可能。与现有技术相比,本专利技术提供的一种晶圆搬运机械手臂具有以下有益效果:1、增加滑杆与转动座之间的约束,减小了搬运装置晃动的可能,有利于机械手臂将晶圆运输到特定的位置,增加了晶圆的加工精度。2、通过轴套的设置,进一步增加了转动座与滑杆之间的约束,增加了每个滑杆在滑移过程中的约束,减小了搬运装置在升降过程中晃动的可能。3、通过第一转动电机的设置,第一电机转动能够带动转动轮转动,且由于转动轮的轴线平行于转动座的转动轴线,套设在转动轮与转动座上的转动皮带能够带动转动座转动,实现了转动座的转动,实现了搬运装置的转向。4、通过张力调节装置的设置,进一步调节了转动皮带的张力,减小了转动皮带相对于转动座或转动轮打滑的可能,也减小了转动皮带因张力过大损坏的可能,增加了转动皮带传输作用的稳定性。附图说明下面将以明确易懂的方式,结合附图说明优选实施方式,对一种晶圆搬运机械手臂的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。图1是本专利技术一种晶圆搬运机械手臂的结构示意图;图2是图1的A处放大图;图3是本专利技术一种晶圆搬运机械手臂中搬运装置的结构示意图;图4是图1的B处放大图;图5是本专利技术另一种晶圆搬运机械手臂中搬运装置的部分结构示意图;图6是本专利技术又一种晶圆搬运机械手臂中连接底座的结构示意图;图7是本专利技术又一种晶圆搬运机械手臂中连接基座的结构示意图;图8是本专利技术再一种晶圆搬运机械手臂中转动皮带的状态示意图。附图标号说明:11.支架,12.固定座,121.燕尾槽,122.锁紧孔,13.转动座,131.滑孔,132.升降孔,133.电线孔,14.第一转动轴承,21.转动轮,22.转动皮带,23.第一转动电机,24.张紧轮,25.滑移块,26.调节轮,27.腰型孔,31.滑杆,32.连接基座,321.第二限位槽,322.第二连通槽,33.连接底座,331.第一限位槽,332.第一连通槽,34.丝杠本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆搬运机械手臂,其特征在于,包括主体和搬运装置,所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座,所述固定座上转动连接有转动座,所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构;所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆,所述滑杆至少设置为三个,多个所述滑杆的轴线相互平行,并平行于所述转动座的转动轴线,至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧;所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座,所述连接基座用于安装所述搬运头,所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运机械手臂,其特征在于,包括主体和搬运装置,所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座,所述固定座上转动连接有转动座,所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构;所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆,所述滑杆至少设置为三个,多个所述滑杆的轴线相互平行,并平行于所述转动座的转动轴线,至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧;所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座,所述连接基座用于安装所述搬运头,所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手臂,其特征在于:所述转动座上设有用于所述滑杆穿过的轴套,所述轴套的内径与所述滑杆的直径相同。3.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运机械手臂,其特征在于:所述轴套设置在所述转动座靠近所述连接基座的一侧,所述轴套远离所述转动座的一端还设有止动环,所述止动环为柔性材料。4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手臂,其特征在于:所述连接底座靠近转动座的一侧开设有第一限位槽,所述滑杆靠近连接底座的一端的抵接在所述第一限位槽内;所述连接基座靠近转动座的一侧开设有第二限位槽,所述滑杆靠近连接基座的一端的抵接在所述第二限位槽内;所述第一限位槽、第二限位槽与所述滑杆均为过盈配合。5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运机械手臂,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:金浩天,张怀宣,任行军,李今玉,
申请(专利权)人:上海众鸿电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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