The utility model provides a clamp and a grinding device for grinding the outer diameter of a crystal rod. The clamp comprises two paired clamps, each of which comprises a clamp block for contacting the end face of a crystal rod, a spring pressing mechanism for clamping the crystal rod by the clamp block, and an adjusting column arranged on the clamp block. The adjusting column can be moved forward and backward to adjust the direction of the clamping block so as to adjust the coaxiality of the crystal bar and the axis of the clamping device. The fixture and grinding device for grinding the outer diameter of crystal rod provided by the utility model can ensure the coaxiality between the crystal rod and the axis of the fixture, reduce unnecessary grinding amount, thereby saving raw materials and processing time.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置
本技术涉及半导体
,具体而言涉及一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置。
技术介绍
晶片的制造需要经过很多道不同的工序。通常,首先使用提拉法(Czochralskimethod)制成晶棒,制得的晶棒具有圆柱状的晶身部和锥状的端部,接着通过切片机、带锯等将锥状的端部切离,从而获取圆柱状的晶棒。之后,还需对晶棒的外径进行研磨而使其具有规定的直径,最后将晶棒切割为具有精确厚度的晶片(wafer)。晶棒的外径研磨装置采用两端面夹紧的夹具对晶棒进行夹紧,由装卸装置进行晶棒的装卸。在研磨过程中,由上述夹具传递旋转驱动力,使晶棒绕轴旋转,而且将旋转中的圆盘状磨头往晶棒旋转轴向进给,由此对晶棒的外表面进行研磨。然而,如果晶棒两端面的平行度及晶棒面与端面的垂直度比较差,则有可能会出现部分晶棒外径没有研磨到位或产生不必要的磨削量,导致产品的不必要的损失,造成浪费。因此,有必要提出一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置,以解决上述问题。
技术实现思路
在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念,这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本技术的
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。针对现有技术的不足,本技术提供一种用于晶棒外径研磨的夹具,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴 ...
【技术保护点】
1.一种用于晶棒外径研磨的夹具,其特征在于,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶棒外径研磨的夹具,其特征在于,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。2.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,所述调节柱上设置有偏心调节螺丝,所述偏心调节螺丝用于调节所述调节柱前后移动。3.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,每个所述夹头上设置有一个、两个或三个所述调节柱。4.根据权利要求3所述的夹具,其特征在于,所述调节柱相对于晶棒对称设置或非对称设置。5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵旭良,
申请(专利权)人:上海新昇半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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