一种高精度喷头制作装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高精度喷头制作装置，包括一基座，基座上端连接有一呈倒置设置的L型架体，同时基座上端还设有第一、第二连接杆，且第一、第二连接杆的上端和L型架体上端形成连接；第一、第二连接杆内侧横向设有一平板，第一连接杆上设有一横向穿孔，该横向穿孔位于平板左端上侧位置；L型架体内侧设有第一滑槽，第一滑槽上滑动连接有伺服滑动块，伺服滑动块前端横向连接有一抛光装置，抛光装置的抛光端贯穿横向穿孔；同时第一、第二连接杆之间还设有一纵向滑动式装夹装置；本实用新型专利技术采用横向抛光和纵向高精度贴合的结构来进行背面的液体流道制作以及使喷嘴与通道贴合高精度连接，大大提高了喷头的精度，同时降低了加工的难度。

A high precision sprinkler device

The utility model discloses a high-precision sprinkler head fabrication device, which comprises a base, an inverted L-shaped frame body is connected at the upper end of the base, and a first and second connecting rods are arranged at the upper end of the base, and the upper ends of the first and second connecting rods are connected with the upper ends of the L-shaped frame body; the inner side of the first and second connecting rods are transversely arranged. A flat plate is provided with a transverse perforation on the first connecting rod, which is located on the upper side of the left end of the flat plate; a first sliding groove is arranged inside the L-shaped frame; a servo sliding block is sliding on the first sliding groove; a polishing device is transversely connected with the front end of the servo sliding block; and the polishing end of the polishing device is transversely perforated; and the polishing end of the polishing A longitudinal sliding clamping device is also provided between the second connecting rod; the utility model adopts the structure of transverse polishing and longitudinal high-precision bonding to fabricate the liquid runner on the back surface and to make the nozzle bond with the channel with high precision, thus greatly improving the precision of the nozzle and reducing the difficulty of processing.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度喷头制作装置
本技术涉及一种高精度喷头制作装置，属于微机械制造

技术介绍
在微机械发展过程中，微喷头的应用占据了很大一部分的市场，如何制作高精度的喷头一直是一个很关键的课题，目前行业内普遍采用的是深硅双面刻蚀的方法来制作高精度喷头，但是现有技术存在的难点在于：加工精度难以控制，同时加工成本高，并且没有任何相应的设备来进行专业加工。
技术实现思路
本技术就是针对上述问题，提出一种高精度喷头制作装置，该高精度喷头制作装置制作出来的喷头精度高，而且结构简单，操作方便。为解决上述技术问题，本技术提供的一种高精度喷头制作装置，包括一基座，所述基座上端连接有一呈倒置设置的L型架体，同时基座上端还设有第一连接杆和第二连接杆，且第一连接杆和第二连接杆的上端和L型架体上端形成连接；所述第一连接杆和第二连接杆内侧横向设有一平板，所述第一连接杆上设有一横向穿孔，该横向穿孔位于平板左端上侧位置；所述L型架体内侧设有一长度和横向穿孔的直径相同的第一滑槽，该第一滑槽上滑动连接有一基于伺服控制的伺服滑动块，所述伺服滑动块前端横向连接有一抛光装置，该抛光装置的抛光端贯穿所述横向穿孔；同时所述第一连接杆和第二连接杆之间还设有一纵向滑动式装夹装置。作为本技术之优选，所述纵向滑动式装夹装置包括位于第一连接杆内侧的第二滑槽以及位于第二连接杆内侧的第三滑槽，所述第二滑槽和第三滑槽之间滑动连接有一滑块，所述L型架体上端的底部设有一基于伺服控制的液压伸缩装置，且该液压伸缩装置的底部和所述滑块相连接，同时所述滑块底部设有一基于伺服控制的液压钳。本技术采用横向抛光和纵向高精度贴合的结构来进行背面的液体流道制作以及使喷嘴与通道贴合高精度连接，大大提高了喷头的精度，同时降低了加工的难度。附图说明图1所示的是本技术的外观结构图。其中：1、基座；2、L型架体；3、第一连接杆；4、第二连接杆；5、平板；6、横向穿孔；7、第一滑槽；8、伺服滑动块；9、抛光装置；10、抛光端；11、第二滑槽；12、第三滑槽；13、滑块；14、液压伸缩装置；15、液压钳。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细地说明。由图1可知，一种高精度喷头制作装置，包括一基座1，该基座1上端连接有一呈倒置设置的L型架体2，同时基座1上端还设有第一连接杆3和第二连接杆4，且第一连接杆3和第二连接杆4的上端和L型架体2上端形成连接；在第一连接杆3和第二连接杆4内侧横向设有一平板5，在第一连接杆3上设有一横向穿孔6，该横向穿孔6位于平板5左端上侧位置；在L型架体2内侧设有一长度和横向穿孔6的直径相同的第一滑槽7，该第一滑槽7上滑动连接有一基于伺服控制的伺服滑动块8，伺服滑动块8前端横向连接有一抛光装置9，该抛光装置9的抛光端10贯穿横向穿孔6；同时在第一连接杆3和第二连接杆4之间还设有一纵向滑动式装夹装置。在本技术中，优选的纵向滑动式装夹装置包括位于第一连接杆3内侧的第二滑槽11以及位于第二连接杆4内侧的第三滑槽12，在第二滑槽11和第三滑槽12之间滑动连接有一滑块13，在L型架体2上端的底部设有一基于伺服控制的液压伸缩装置14，且该液压伸缩装置14的底部和滑块13相连接，同时滑块13底部设有一基于伺服控制的液压钳15。上述结构这样使用：将硅片放置于平板5上端，采用夹具固定，然后采用抛光装置9前端的抛光端10贯穿横向穿孔6后对硅片进行正面湿法抛光，接着将制作好的喷头夹持于液压钳15上，通过液压伸缩装置14使滑块13沿着第二滑槽11和第三滑槽12下滑，和硅片贴合。总的来说，本技术采用横向抛光和纵向高精度贴合的结构来进行背面的液体流道制作以及使喷嘴与通道贴合高精度连接，大大提高了喷头的精度，同时降低了加工的难度。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度喷头制作装置，包括一基座，所述基座上端连接有一呈倒置设置的L型架体，同时基座上端还设有第一连接杆和第二连接杆，且第一连接杆和第二连接杆的上端和L型架体上端形成连接；所述第一连接杆和第二连接杆内侧横向设有一平板，其特征在于，所述第一连接杆上设有一横向穿孔，该横向穿孔位于平板左端上侧位置；所述L型架体内侧设有一长度和横向穿孔的直径相同的第一滑槽，该第一滑槽上滑动连接有一基于伺服控制的伺服滑动块，所述伺服滑动块前端横向连接有一抛光装置，该抛光装置的抛光端贯穿所述横向穿孔；同时所述第一连接杆和第二连接杆之间还设有一纵向滑动式装夹装置。

【技术特征摘要】
1.一种高精度喷头制作装置，包括一基座，所述基座上端连接有一呈倒置设置的L型架体，同时基座上端还设有第一连接杆和第二连接杆，且第一连接杆和第二连接杆的上端和L型架体上端形成连接；所述第一连接杆和第二连接杆内侧横向设有一平板，其特征在于，所述第一连接杆上设有一横向穿孔，该横向穿孔位于平板左端上侧位置；所述L型架体内侧设有一长度和横向穿孔的直径相同的第一滑槽，该第一滑槽上滑动连接有一基于伺服控制的伺服滑动块，所述伺服滑动块前端横向连接有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘尧，
申请(专利权)人：苏州锐材半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32