The invention discloses a rotating cleaning device for microelectronic components, which relates to the technical field of microelectronic cleaning equipment, including a cleaning tank, a driving device and a rotating jet device. The middle position is provided with a rotating seat two, the servo motor is fixed on the motor fixed plate, the sprocket one is fixed on the output shaft of the servo motor, the sprocket two is fixed on the rotating pipe, the rotating jet device comprises a rotating pipe and a rotating jet pipe, the rotating pipe enters the cleaning groove through the rotating seat one and the rotating seat two. The upper end of the rotating jet pipe is fixedly connected with the rotating pipe, and the rotating jet pipe is provided with a vertical jet pipe and a transverse jet pipe. The whole device of the invention has compact structure and high degree of automation. The micro-electronic components are rotated and cleaned by spraying cleaning liquid. The cleaning effect is good and the cleaning efficiency is high.
【技术实现步骤摘要】
一种微电子元器件旋转清洗装置
本专利技术涉及微电子清洗装置
,具体为一种微电子元器件旋转清洗装置。
技术介绍
微电子产品在生产加工过程中会因各种因素的影响导致产品受到污染。一般情况下,这些污染物会通过物理吸附或化学吸附等方式存留在产品表面,对产品的质量和使用寿命会造成严重的影响。例如,在生产硅片时,一些污染物的离子或粒子会存留在硅片表面或氧化膜中。这主要是因为生产加工过程中,硅片的化学键受到了破坏,加剧了污染物的吸附力度。这种情况给硅片的清洗工作带来了很大的难度。目前,我国使用的微电子清洗手段主要有两种,即干法清洗和湿法清洗。旋转清洗法是一种综合性比较强的清洗技术,将化学溶剂法、机械清洗法进行有机结合,可以有效清洗硅片表面的污染物,清洗原理为:旋转清洗法通过机械的方法,使硅片保持高速旋转,在这种情况下,向硅片表面喷洒清洗液,使清洗液与硅片表面的污染物发生化学反应,溶解硅片表面的污染物,从而完成清洗工作。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供一种微电子元器件旋转清洗装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。一种微电子元器件旋转清洗装置,包括清洗槽、驱动装置和旋转喷射装置,所述清洗槽上方设有延伸板,且延伸板与清洗槽固定连接,所述清洗槽内部设有放置台,所述延伸板左侧设有竖直架板,所述竖直架板上设有电机固定板,所述清洗槽正上方位置的设有旋转座一,且旋转座一通过螺栓固定在延伸板上,所述延伸板上设有四组支柱,所述支柱上端设有顶板,所述顶板中间位置设有旋转座二,且旋转座二通过螺栓固定在顶板上,所述驱动装置包括伺服电机、链轮一、链轮二和链条,所述伺服电机固定在电机固定板,所 ...
【技术保护点】
1.一种微电子元器件旋转清洗装置,其特征在于,包括清洗槽(1)、驱动装置(2)和旋转喷射装置(3),所述清洗槽(1)上方设有延伸板(10),且延伸板(10)与清洗槽(1)固定连接,所述清洗槽(1)内部设有放置台(11),所述延伸板(10)左侧设有竖直架板(10‑1),所述竖直架板(10‑1)上设有电机固定板(10‑11),所述清洗槽(1)正上方位置设有旋转座一(10‑2),且旋转座一(10‑2)通过螺栓固定在延伸板(10)上,所述延伸板(10)上设有四组支柱(10‑2),所述支柱(10‑3)上端设有顶板(10‑4),所述顶板(10‑4)中间位置设有旋转座二(10‑41),且旋转座二(10‑41)通过螺栓固定在顶板(10‑4)上,所述驱动装置(2)包括伺服电机(20)、链轮一(21)、链轮二(22)和链条(23),所述伺服电机(20)固定在电机固定板(10‑11),所述旋转喷射装置(3)包括旋转管(30)和旋转喷射管(31),所述链轮一(21)固定在伺服电机(20)的输出轴上,所述链轮二(22)固定在旋转管(30)上,所述链条(23)通过链轮一(21)和链轮二(22)张紧,所述旋转管(3 ...
【技术特征摘要】
1.一种微电子元器件旋转清洗装置,其特征在于,包括清洗槽(1)、驱动装置(2)和旋转喷射装置(3),所述清洗槽(1)上方设有延伸板(10),且延伸板(10)与清洗槽(1)固定连接,所述清洗槽(1)内部设有放置台(11),所述延伸板(10)左侧设有竖直架板(10-1),所述竖直架板(10-1)上设有电机固定板(10-11),所述清洗槽(1)正上方位置设有旋转座一(10-2),且旋转座一(10-2)通过螺栓固定在延伸板(10)上,所述延伸板(10)上设有四组支柱(10-2),所述支柱(10-3)上端设有顶板(10-4),所述顶板(10-4)中间位置设有旋转座二(10-41),且旋转座二(10-41)通过螺栓固定在顶板(10-4)上,所述驱动装置(2)包括伺服电机(20)、链轮一(21)、链轮二(22)和链条(23),所述伺服电机(20)固定在电机固定板(10-11),所述旋转喷射装置(3)包括旋转管(30)和旋转喷射管(31),所述链轮一(21)固定在伺服电机(20)的输出轴上,所述链轮二(22)固定在旋转管(30)上,所述链条(23)通过链轮一(21)和链轮二(22)张紧,所述旋转管(30)穿过旋转座一(10-2)和旋转座二(10-41)进入清洗槽(1)内...
【专利技术属性】
技术研发人员:艾蒙雁,
申请(专利权)人:安徽吉乃尔电器科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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