The invention discloses a nozzle, a coating machine and a coating method, relating to the technical field of coating equipment, in order to improve the time crop rate of the coating machine and reduce the waste of the substrate. The nozzle comprises a nozzle body with a slit-like material spitting outlet arranged on the nozzle body, a pump for introducing material into the nozzle body, the pump arranged above the nozzle body, the pump outlet is connected with the material spitting outlet, and an outlet width adjustment for adjusting the width of the material spitting outlet. The outlet width regulator is arranged on the nozzle body, and the film thickness detector for detecting the film thickness is arranged on the nozzle body. By using the nozzle, the coating parameters can be adjusted during the process of one-time coating on a substrate to form a film, which improves the time cropping rate of the coating machine, reduces the number of substrates used and reduces the waste of substrates. The nozzle provided by the invention is used for coating and forming the film.
【技术实现步骤摘要】
一种喷嘴、涂布机及涂布方法
本专利技术涉及涂布设备
,尤其涉及一种喷嘴、涂布机及涂布方法。
技术介绍
在显示装置的制造过程中,通常需要采用涂布机在基板上形成膜层,例如,采用涂布机在基板上形成彩膜层。现有的涂布机通常包括喷嘴,其中,喷嘴为狭缝喷嘴,即喷嘴的材料吐出口呈狭缝,采用现有的涂布机正式形成膜层前,通常需要对涂布机的涂布参数进行调整,涂布参数通常包括喷嘴的材料吐出速度、喷嘴的移动速度、喷嘴的材料吐出口的宽度、喷嘴的材料吐出口与基板之间的距离等,通常为:先根据待形成膜层的目标膜厚计算初步涂布参数,并将涂布机的涂布参数调整为初步涂布参数;然后启动涂布机,涂布机则在初步涂布参数下形成膜层;然后对在初步涂布参数下形成的膜层的膜厚进行测量,并将测量得到的在初步涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚进行对比,以获得涂布参数的一次调整值,并对涂布参数进行一次调整;然后在一次调整后的涂布参数下形成膜层,并对在一次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚进行测量,并将测量得到的在一次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚进行对比,以获得涂布参数的二次调整值,并对涂布参数进行二次调整,如此,经过对涂布参数的多次调整后,使得涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚相同(需要注意的是,此处的“相同”可以指绝对相同,即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚在数值上完全相同,也可以指相对相同,即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚在目标膜厚的偏差范围内),以使采用涂布机正式形成膜层时所形成的膜层的膜厚与目标膜厚相同。因此,采用 ...
【技术保护点】
1.一种喷嘴,其特征在于,包括:喷嘴本体,所述喷嘴本体上设置有呈狭缝状的材料吐出口;将材料引入所述喷嘴本体内的泵,所述泵设置在所述喷嘴本体上方,所述泵的出口与所述材料吐出口连通;调节所述材料吐出口的宽度的出口宽度调节器,所述出口宽度调节器设置在所述喷嘴本体上;检测膜层的膜厚的膜厚检测器,所述膜厚检测器设置在喷嘴本体上。
【技术特征摘要】
1.一种喷嘴,其特征在于,包括:喷嘴本体,所述喷嘴本体上设置有呈狭缝状的材料吐出口;将材料引入所述喷嘴本体内的泵,所述泵设置在所述喷嘴本体上方,所述泵的出口与所述材料吐出口连通;调节所述材料吐出口的宽度的出口宽度调节器,所述出口宽度调节器设置在所述喷嘴本体上;检测膜层的膜厚的膜厚检测器,所述膜厚检测器设置在喷嘴本体上。2.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于,所述膜厚检测器包括数据处理单元和多个检测头,多个所述检测头均设置在所述喷嘴本体上,且多个所述检测头沿所述材料吐出口的长度方向均匀排布;所述数据处理单元与所述检测头连接。3.根据权利要求2所述的喷嘴,其特征在于,所述检测头位于所述喷嘴本体上背向涂布方向的一侧。4.根据权利要求2所述的喷嘴,其特征在于,所述出口宽度调节器的数量为多个,多个所述出口宽度调节器沿所述材料吐出口的长度方向均匀排布。5.根据权利要求4所述的喷嘴,其特征在于,所述检测头的数量与所述出口宽度调节器的数量相同。6.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于,所述膜厚检测器为分光计。7.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于,所述出口宽度调节器包括出口宽度调节件和驱动部件,所述驱动部件与所述宽度调节件连接。8.根据权利要求7所述的喷嘴,其特征在于,所述喷嘴本体包括连接在一起的前侧本体和背侧本体,所述前侧本体和所述背侧本体之间形成狭缝状的材料吐出口;所述出口宽度调节件包括螺杆和螺...
【专利技术属性】
技术研发人员:李广志,吴斌,尹冬冬,马永增,李志强,杜强强,王畅,刘志,崔红丽,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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