一种加热器支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种加热器支撑装置，包括多个限位件以及多个支撑件，其中，各限位件连接相对应的各卡合部，各卡合部以轴向且具有间隔的形成于一垂直式熔炉内的周围绝热体的内周缘；支撑件位于限位件的一端，且支撑件具有一板体，板体的一端具有一定位槽，供容纳一线圈型加热组件，定位槽周缘的板体上具有邻接且与定位槽的外形相同的一凸出部，凸出部的厚度大于板体的厚度。借此，即可快速升、降温以缩短作业时间，提高生产效率。

A heater supporting device

The utility model relates to a heater supporting device, which comprises a plurality of limiting parts and a plurality of supporting parts, wherein each limiting part is connected with corresponding clamping parts, and each clamping part is formed in an axial direction and has an interval at the inner periphery of an insulating body around a vertical furnace; the supporting part is located at one end of the limiting part and supports it. The part has a plate body, and one end of the plate body has a positioning groove for accommodating a coil-like heating assembly. The plate body around the positioning groove has a protruding part adjacent to and identical to the shape of the positioning groove, and the thickness of the protruding part is greater than the thickness of the plate body. By this way, the operation time can be shortened and the production efficiency can be increased quickly.

【技术实现步骤摘要】
一种加热器支撑装置
本技术涉及一种加热器支撑装置，尤其涉及一种能快速升降温，而被运用于半导体制造设备上的垂直式熔炉中的加热器支撑装置。
技术介绍
在半导体工艺的扩散程序及化学气相沉积(CVD)程序中，垂直式熔炉主要是利用熔炉内的线圈型加热组件加热反应气体，借以在各如晶圆之类的基板上形成一薄膜。其中，线圈型加热组件由多个轴向排列的支撑构件所支撑，多个支撑构件由构件支架所支撑定位，而绝热体则是环绕在构件支架周围。上述结构在晶圆进行薄膜形成期间的热膨胀/收缩过程中，因为各应力的作用，各支撑构件容易会因损坏而降低加热效率，或是使线圈型加热组件的预期使用寿命缩短。如中国台湾专利公告号为I555959的“加热器支撑装置、加热器、半导体制造设备、半导体制造方法及支撑构件”的专利案，则是提供一种解决上述问题的加热器支撑装置，其包括：一线圈型加热组件，其具有一线圈形状，并被配置在一待加热的物体的周围；以及多个被垂直连接的支撑构件，其中一具有朝半径方向延长的椭圆形状的多个中空体分别形成于这些支撑构件之间，该线圈型加热组件被插入这些中空体内，并分别由这些支撑构件所支撑，多个凹嵌部朝一与该线圈型加热组件交叉的方向分别被安置在这些支撑构件的多个上表面上，并且多个凸嵌部分别被安置在这些支撑构件的多个下表面上，而这些支撑构件其中之一的这些凸嵌部与支撑构件中之一相邻接的这些支撑构件中的其他的这些凹嵌部被插入配合，并且多个支撑构件通过这些凹嵌部与这些凸嵌部的插入配合而被垂直连接。多个构件支架被垂直连接以便支撑这些支撑构件；及一周围绝热体，其被配置在该线圈型加热组件周围以便支撑这些构件支架，其中这些构件支架控制这些支撑构件在水平方向上的移动。通过上述结构以分别限制各支撑构件在一垂直式熔炉的半径及圆周方向上的相对位移，并限制一被连接至各自支撑构件上的构件支架朝该垂直式熔炉的中心方向的移动。如图8所示，通过上述加热器支撑装置9，确实可以达到预期的效果。但是，各支撑构件91主要是由高氧化铝材料所制成，在加热至约800℃再冷却以移出基板所需要的吸热及散热时间较长，对于缩短整个作业时间尚有待加强的空间；另外，为了防止各支撑构件91由于线圈型加热组件92的热膨胀/收缩而导致偏离或变形、短路，上述加热器支撑装置9的各构件支架93的周围上形成两层与线圈型加热组件92呈同轴心的周围绝热体(94、95)，沿着内侧周围绝热体94轴向并等距雕刻多个U形沟槽941，分别支撑各构件支架93，使任一构件支架93的三个横向侧紧靠在各沟槽941内；而各多构件支架93的上部与下部分别插入上、下支架支撑凹部内并分别由其所支撑，以控制各构件支架93不会从周围绝热体94处脱离，并移向垂直式熔炉的轴心位置。
技术实现思路
有鉴于此，为了提供一种有别于现有技术的结构，并改善上述的缺点的结构。本技术的一目的在于提供一种加热器支撑装置，使其能解决现有各支撑构件在加热再冷却以移出基板所需要的吸热及散热时间较长的问题，而能有效缩短整个作业时间，以提高生产效率。本技术的一目的在于提供一种加热器支撑装置，使其能解决现有各构件支架以三个横向侧紧靠在一周围绝热体的各沟槽内，并使各多构件支架的上部与下部分别限制在上、下支架支撑凹部内，以控制各构件支架不会从周围绝热体处脱离的问题，而能利用另一种方式，通过直接对构件支架及沟槽的形状予以加工成型，使产生同样的效益，而可简化加工程序，降低生产成本。为达上述技术的目的，本技术所设的加热器支撑装置安装于一垂直式熔炉内的一周围绝热体的内周缘，供支撑与该周围绝热体同轴心的一线圈型加热组件；其主要的技术特点在于：该周围绝热体的内周缘设有多个轴向且具有间隔的卡合部；而该加热器支撑装置包括：多个限位件以及多个支撑件，限位件连接相对应的卡合部；支撑件位于限位件的一端，且支撑件具有一板体，板体的一端具有一定位槽，供容纳线圈型加热组件，定位槽周缘的板体上具有邻接且与定位槽的外形相同的一凸出部，凸出部的厚度大于板体的厚度。实施时，本技术还包括一延伸部，延伸部邻接板体另一端的顶面，且延伸部由凸出部的一端延伸，延伸部的厚度大于板体的厚度。实施时，该限位件松动地卡接相对应的卡合部，使限位件与卡合部不会脱离；限位件与卡合部的间具有一径向空间，使限位件在卡合部内具有足够的径向移动距离。实施时，该卡合部为由周围绝热体的内周缘径向凹陷的长条形轴向凹槽，且卡合部的截面与限位件的截面分别为锥状的梯形，或是为T字形。实施时，该限位件的一端具有一限位槽，限位槽内具有至少一第一卡接部；支撑件的板体一端插入限位槽内，板体的该端两侧面具有至少一第二卡接部，用以卡接相对应的至少一第一卡接部。实施时，上述第一卡接部为形成于限位件的限位槽内的轴向凹槽，第二卡接部为由板体的两侧面向外凸出的轴向凸肋。实施时，该板体的顶面与底面具有相同形状而可相互连接的一第一连接部与一第二连接部。实施时，上述第一连接部为位于板体顶面的鸠形块，第二连接部为位于板体底面且与鸠形块形状相同的鸠形槽。附图说明图1为本技术安装于垂直式熔炉内的立体外观图。图2为本技术安装于垂直式熔炉内的俯视图。图3为本技术安装于垂直式熔炉内的立体剖面图。图4为本技术的较佳实施例的立体外观图。图5为本技术的较佳实施例的另一实施方式的立体外观图。图6-7为本技术的较佳实施例的使用状态示意图。图8为现有加热器支撑装置的使用状态示意图。附图标记说明加热器支撑装置1周围绝热体11加热组件12卡合部13限位部131径向空间14限位件2小端面21大端面22限位槽23第一卡接部24支撑件3板体31第二卡接部32第一连接部33第二连接部34定位槽35凸出部36延伸部37加热器支撑装置9支撑构件91线圈型加热组件92构件支架93周围绝热体94、95U形沟槽941。具体实施方式下面结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。如图1-3所示，本技术加热器支撑装置1供安装于一垂直式熔炉内的一周围绝热体11的内周缘，供支撑与该周围绝热体11同轴心的一线圈型加热组件12。上述垂直式熔炉可用以各如扩散及化学气相沉积(CVD)之类的半导体制造程序，且垂直式熔炉可通过上述程序，加热熔炉内部的反应气体，以使各如晶圆之类的基板表面上形成一薄膜。而该周围绝热体11呈圆管状，其内周缘设有多个轴向且具有间隔的长条形轴向凹槽，该凹槽做为卡合部13，凹槽由周围绝热体11的内周缘径向凹陷而成，且该凹槽的截面为锥状的梯形，其开口位置具有宽度小于该凹槽内部宽度的一限位部131；实施时，该凹槽的截面亦可呈T字形。而本技术加热器支撑装置1包括多个限位件2以及多个支撑件3。其中，多个限位件2分别连接周围绝热体11内周缘的多个卡合部13内，而多个支撑件3分别连接多个限位件2，以支撑线圈型加热组件12。图4为本技术加热器支撑装置1的较佳实施例，其中，该限位件2呈长条状，限位件2的截面与卡合部13本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器支撑装置，安装于一垂直式熔炉内的一周围绝热体的内周缘，用以支撑与该周围绝热体同轴心的一线圈型加热组件；其特征在于：该周围绝热体的内周缘设有多个轴向且具有间隔的卡合部；该加热器支撑装置包括：多个限位件，该限位件连接相对应的该卡合部；以及多个支撑件，该支撑件位于该限位件的一端，且该支撑件具有一板体，该板体的一端具有一定位槽，用以容纳该线圈型加热组件，该定位槽周缘的该板体上具有邻接且与该定位槽的外形相同的一凸出部，该凸出部的厚度大于该板体的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种加热器支撑装置，安装于一垂直式熔炉内的一周围绝热体的内周缘，用以支撑与该周围绝热体同轴心的一线圈型加热组件；其特征在于：该周围绝热体的内周缘设有多个轴向且具有间隔的卡合部；该加热器支撑装置包括：多个限位件，该限位件连接相对应的该卡合部；以及多个支撑件，该支撑件位于该限位件的一端，且该支撑件具有一板体，该板体的一端具有一定位槽，用以容纳该线圈型加热组件，该定位槽周缘的该板体上具有邻接且与该定位槽的外形相同的一凸出部，该凸出部的厚度大于该板体的厚度。2.根据权利要求1所述的加热器支撑装置，其特征在于，该加热器支撑装置其还包括一延伸部，该延伸部邻接该板体一端的顶面，且该延伸部由该凸出部的一端延伸，该延伸部的厚度大于该板体的厚度。3.根据权利要求1所述的加热器支撑装置，其特征在于，该限位件松动地卡接相对应的该卡合部；该限位件与该卡合部之间具有一径向空间，使该限位件在该卡合部内具有足够的径向移动距离。4.根据权利要求3所述的加热器支撑装置，其特征在于，该卡合部为由该周围绝热体的内周缘径...

【专利技术属性】
技术研发人员：大野昌孝，林士杰，
申请(专利权)人：鸿成国际科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71