The utility model relates to a graphic developing device, which comprises a flushing nozzle, a flushing nozzle is connected with a fixed installation part and a pipeline, and a flushing nozzle has a nozzle; a vibrating device has a horn, which is arranged on a fixed installation part and extends to a position intersecting the central axis of the nozzle; and a carrier is located at a flushing nozzle and a vibrating table. The control system is electrically connected with the pipeline, the vibration device and the rotating device. After the cleaning fluid ejected from the sprinkler head of the utility model vibrates through the horn, the cleaning fluid obtains the acoustic energy, so the impurities on the surface of the wafer can be cleaned more effectively, and the etching time of the wafer in the cleaning fluid can be shortened.
【技术实现步骤摘要】
图形显影装置
本技术涉及半导体的集成电路制作
,特别涉及一种图形显影装置。
技术介绍
在晶圆上制作集成电路的过程中,显影是光刻工艺中将曝光后的光刻胶图案化去除的步骤,其动作顺序为喷淋显影液、去离子水冲洗以及甩干三个过程。由于显影液的反应过程是酸碱中和反应,因此当在晶圆上用去离子水清洗时,晶圆中心点的强碱性骤降,酸碱中和反应发生逆反应,从而导致不容物质析出回粘到晶圆上的问题产生。特别是在晶圆上连接孔的制程工艺中,当不溶物质析出后使连接孔被残留物遮挡住,会导致晶圆后续蚀刻制程失效,蚀刻后的连接孔图形丢失或不完整,使得晶圆产品的良率降低。在
技术介绍
中公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解,因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
有鉴于此,本技术实施例提供一种图形显影装置,以解决或缓解现有技术中存在的技术问题,至少提供一种有益的选择。本技术实施例的技术方案是这样实现的:根据本技术的一个实施例,提供一种图形显影装置,包括:第一固定安装部;冲洗喷头,所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接,所述冲洗喷头具有第一喷嘴,所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中;振动装置,具有用于产生第一振幅的变幅杆,其中,所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上,另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置,所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围;载台,位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方,所述载台具有用于放置晶圆的固定部,所述固定部底部设置有转动装置;以及控制系统,与所述第一管路、所述振动装置以及所述 ...
【技术保护点】
1.一种图形显影装置,其特征在于,包括:第一固定安装部;冲洗喷头,所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接,所述冲洗喷头具有第一喷嘴,所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中;振动装置,具有用于产生第一振幅的变幅杆,其中,所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上,另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置,所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围;载台,位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方,所述载台具有用于放置晶圆的固定部,所述固定部底部设置有转动装置;以及控制系统,与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接;所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液,以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅,所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。
【技术特征摘要】
1.一种图形显影装置,其特征在于,包括:第一固定安装部;冲洗喷头,所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接,所述冲洗喷头具有第一喷嘴,所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中;振动装置,具有用于产生第一振幅的变幅杆,其中,所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上,另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置,所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围;载台,位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方,所述载台具有用于放置晶圆的固定部,所述固定部底部设置有转动装置;以及控制系统,与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接;所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液,以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅,所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。2.如权利要求1所述的图形显影装置,其特征在于,所述变幅杆相对所述第一固定安装部竖直设置,所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部倾斜设置,且所述冲洗喷头的所述第一喷嘴朝向所述变幅杆倾斜向下延伸。3.如权利要求2所述的图形显影装置,其特征在于,所述变幅杆的长度小于所述第一固定安装部与所述晶圆端面之间的间距。4.如权利要求2所述的图形显影装置,其特征在于,所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围为20°~70°。5.如权利要求1所述的图形显影装置,其特征在于,所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部竖直设置,所述变幅杆相对所述第一固定安装部倾斜设置,且所述变幅杆的所述另...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄帅,
申请(专利权)人:睿力集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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