一种高效石英槽制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高效石英槽制造装置，包括轴套、压板、置于轴套和压板之间的多件刀具，多件刀具之间分别设有隔板，隔板厚度与沟齿间隔相吻合，刀具与沟齿宽度相吻合，本实用新型专利技术通过压板将多件刀具套装并压紧在轴套上，集合成一个整体的多刀具制造装置，一次加工能同时对石英沟棒上的多个沟齿进行加工，大大提高了加工效率和企业产能，降低了加工成本，节约了加工时间，满足产品加工的短货期、低价格要求。

An efficient quartz trough manufacturing device

The utility model discloses an efficient quartz groove manufacturing device, which comprises a shaft sleeve, a pressing plate, a plurality of cutters arranged between the shaft sleeve and a pressing plate, and a plurality of cutters are respectively provided with a baffle, the thickness of the baffle coincides with the gap between the groove teeth, and the width of the cutter coincides with the groove teeth. The utility model sets and compresses a plurality of cutters through a pressing plate. On the shaft sleeve, a multi-tool manufacturing device is assembled as a whole, which can simultaneously process multiple groove teeth on the quartz groove bar at one time, greatly improving the processing efficiency and enterprise productivity, reducing the processing cost, saving processing time, and meeting the short-term and low-price requirements of product processing.

【技术实现步骤摘要】
一种高效石英槽制造装置
本技术涉及到一种切削加工领域
，尤其涉及到一种能同时加工多个沟槽的高效石英槽制造装置。
技术介绍
石英沟棒作为石英舟的重要部件，在硅片的热处理过程中起到非常重要的作用，近年来随着半导体技术的不断发展，单次工艺能够处理硅片的数量越来越多，石英沟棒的沟齿数量也不断增加，如图1所示，石英沟棒的顶面设有多个均匀排布的沟齿，现有沟齿的加工方法采用成型刀具，对沟齿进行连续加工，完成一个沟齿再继续对下一个沟齿进行加工。一根400齿的沟棒需要十几个小时才能加工完成，加工效率非常低下，严重降低了工厂产能，提高了加工成本。
技术实现思路
本技术主要解决现有沟齿加工效率低下、成本高昂的技术问题；提供了一种能同时加工多个沟槽的高效石英槽制造装置。为了解决上述存在的技术问题，本技术主要是采用下述技术方案：本技术的一种高效石英槽制造装置，用于石英沟棒上的沟齿加工，所述石英沟棒固置于加工机床的工作台上，所述装置包括轴套、压板、置于轴套和压板之间的多件刀具，所述多件刀具之间分别设有隔板，所述隔板厚度与所述石英沟棒上的沟齿间隔相吻合，所述轴套固设于加工机床的旋转轴上，所述刀具与沟齿宽度相吻合且对应沟齿，轴套、压板和隔板的外径均小于刀具的直径，通过压板将多件刀具套装并压紧在轴套上，集合成一个整体的多刀具制造装置，一次加工能同时对石英沟棒上的多个沟齿进行制造，大大提高了加工效率和企业产能，降低了加工成本，节约了加工时间，满足产品加工的短货期、低价格要求。作为优选，所述刀具数量为两件，所述两件刀具之间设有一件隔板。作为优选，所述轴套包括一体结构的轴颈和端面法兰，所述轴颈中央设有与所述加工机床旋转轴相适配的轴孔，端面法兰上设有若干均布的螺纹孔，所述压板中央设有与轴颈相适配的通孔，压板边沿设有与上述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的沉孔，所述刀具中央设有与轴颈相吻合的通孔，刀具边沿设有与所述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的装配孔，所述隔板中央设有与所述轴颈相适配的通孔，隔板边沿设有与所述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的装配孔，压板、刀具和隔板套设于轴套的轴颈上且通过紧固螺杆与端面法兰固定，各部件利用通孔套装在轴颈上，紧固螺杆穿过相应的装配孔将各部件紧固在轴套上，形成整体的制造装置，紧固螺杆的头部嵌设于压板的沉孔内，保证压板外表面的平整。作为优选，所述端面法兰上还设有环状凹槽。本技术的有益效果是：通过压板将多件刀具套装并压紧在轴套上，集合成一个整体的多刀具制造装置，一次加工能同时对石英沟棒上的多个沟齿进行制造，大大提高了加工效率和企业产能，降低了加工成本，节约了加工时间，满足产品加工的短货期、低价格要求。附图说明图1是石英沟棒的结构示意图。图2是本技术的一种结构示意图。图3是本技术的爆炸结构示意图。图4是本技术的使用示意图。图中1.石英沟棒，11.沟齿，2.轴套，21.轴颈，22.端面法兰，23.轴孔，24.螺纹孔，25.环状凹槽，3.压板，31.通孔，32.沉孔，4.刀具，41.装配孔，5.隔板，6.紧固螺杆。具体实施方式下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。实施例：本实施例的一种高效石英槽制造装置，用于石英沟棒1上的沟齿11加工，石英沟棒固置于加工机床的工作台上，如图2和图3所示，装置包括轴套2、压板3、置于轴套和压板之间的两件刀具4，两件刀具之间设计有隔板5，轴套、压板和隔板的外径均小于刀具的直径，隔板厚度与石英沟棒上的沟齿间隔相吻合，刀具与沟齿宽度相吻合且对应沟齿，其中轴套包括一体结构的轴颈21和端面法兰22，轴颈中央设计有与加工机床旋转轴相适配的轴孔23，轴颈套设在旋转轴上，端面法兰上设计有八个均匀环布的螺纹孔24，在端面法兰的内表面上加工有环状的凹槽25，上述压板的中央设计有与轴颈相适配的通孔31，压板边沿设计有与上述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的八个沉孔32，上述刀具的中央设计有与轴颈相适配的通孔，刀具边沿设计有与上述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的装配孔41，上述两件刀具之间的隔板中央设计有与轴颈相适配的通孔，隔板边沿设计有与上述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的装配孔，压板、刀具和隔板依次套设于轴套的轴颈上且通过紧固螺杆与端面法兰固定。如图4所示，使用时，操作人员将各部件按照刀具、隔板、刀具、压板的顺序依次套装到轴套的轴颈上，然后用紧固螺钉穿过相应的装配孔并与螺纹孔紧固，组合成整体的制造装置，最后，将组装后的制造装置直接固定在加工机床的旋转轴上，对放置在加工机床工作台上的石英沟棒进行制造作业即可。在本技术的描述中，技术术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本技术的技术方案，以上说明并非对本技术作了限制，本技术也不仅限于上述说明的举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效石英槽制造装置，用于石英沟棒(1)上的沟齿(11)加工，所述石英沟棒固置于加工机床的工作台上，其特征在于：所述制造装置包括轴套(2)、压板(3)、置于轴套和压板之间的多件刀具(4)，所述多件刀具之间分别设有隔板(5)，所述隔板厚度与所述石英沟棒上的沟齿间隔相吻合，所述轴套固设于加工机床的旋转轴上，所述刀具与沟齿宽度相吻合且对应沟齿，轴套、压板和隔板的外径均小于刀具的直径。

【技术特征摘要】
1.一种高效石英槽制造装置，用于石英沟棒(1)上的沟齿(11)加工，所述石英沟棒固置于加工机床的工作台上，其特征在于：所述制造装置包括轴套(2)、压板(3)、置于轴套和压板之间的多件刀具(4)，所述多件刀具之间分别设有隔板(5)，所述隔板厚度与所述石英沟棒上的沟齿间隔相吻合，所述轴套固设于加工机床的旋转轴上，所述刀具与沟齿宽度相吻合且对应沟齿，轴套、压板和隔板的外径均小于刀具的直径。2.根据权利要求1所述的一种高效石英槽制造装置，其特征在于：所述刀具(4)数量为两件，所述两件刀具之间设有一件隔板。3.根据权利要求1或2所述的一种高效石英槽制造装置，其特征在于：所述轴套(2)包括一体结构的轴颈(21)和端面...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈利祥，吴然红，杨军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33