烘烤装置及烘烤方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种烘烤装置及烘烤方法。所述烘烤装置的烘烤单元在腔体下方的加热层下方设置冷却介质管道，冷却介质管道的进口设有阀门，与此同时对应加热层设置温度传感器，并设置与阀门及温度传感器均电性连接的控制模块，当温度传感器感测到加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时，表示需要对加热层及腔体进行降温，此时控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供装置提供的冷却介质通入冷却介质管道内，将加热层及腔体内的热量带出，使加热层及腔体内的温度迅速降低，从而实现烘烤温度调整效率的提高，有效地提高生产产能。

Baking device and baking method

The invention provides a baking device and a baking method. The baking unit of the baking device is provided with a cooling medium pipeline below the heating layer below the cavity, a valve at the inlet of the cooling medium pipeline, a temperature sensor at the corresponding heating layer, and a control module connected with the valve and the temperature sensor electrically, when the temperature sensor senses the temperature of the heating layer. When the degree is higher than the required baking temperature of the product to be baked, it means that the heating layer and the cavity need to be cooled. At this time, the control module transmits the cooling signal to the valve to control the valve to open, and the cooling medium provided by the cooling medium supply device passes into the cooling medium pipeline, so that the heating layer and the heat in the cavity can be brought out and added. The temperature in the thermal layer and the cavity decreases rapidly, so that the efficiency of baking temperature adjustment can be improved and the production capacity can be increased effectively.

【技术实现步骤摘要】
烘烤装置及烘烤方法
本专利技术涉及显示器制造
，尤其涉及一种烘烤装置及烘烤方法。
技术介绍
随着显示技术的发展，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，ColorFilter)、薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，LiquidCrystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动芯片与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。现有技术中，当需要在特定膜层上形成图案时，一般会进行黄光制程。所谓黄光制程，是指通过在特定膜层表面涂覆光阻材料，对光阻材料进行曝光显影制程，以曝光显影后留下的光阻材料为遮挡对该特定膜层进行蚀刻最终在该特定膜层上获得永久性图案的过程。黄光制程中涉及到利用烘烤装置(bake)进行烘烤的制程，具体包括设置在对光阻材料进行曝光前的用于使原本呈液态的光阻初步固化的预烘烤(Pre-bake)制程，以及设置在对光阻材料进行显影后的用于使经过显影后的光阻完全固化的后烘烤(Post-bake)制程。对于不同的液晶显示装置产品，因制程的需要，对于同一种光阻的烘烤的需求温度有时是不同的，例如有的产品的预烘烤温度是110℃，有的产品的预烘烤温度是90℃，而对于不同的光阻，烘烤的需求温度不同的现象更加常见。现有的烘烤装置从低温升高至高温所需时间很短，然而如果要从高温降低至低温则需要很长的时间(每降低10℃约需要30min)，这使得在切换不同的待烘烤的产品时，如果烘烤的需求温度变低，则需要花费较多的时间去等待烘烤装置降温，降温效率较低，严重影响了制程的速度，降低了产能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种烘烤装置，可以快速降温，能够有效地提高生产产能。本专利技术的另一目的在于提供一种烘烤方法，能够有效地提高生产产能。为实现上述目的，本专利技术首先提供一种烘烤装置，包括至少一个烘烤单元、控制模块及冷却介质提供模块；每一烘烤单元均包括腔体、设于腔体下方的加热层、设于加热层下方的冷却介质管道及对应加热层设置的温度传感器；所述冷却介质管道具有进口及出口，所述冷却介质管道的进口设有一阀门；所述冷却介质提供模块与冷却介质管道的进口与出口均连接；所述阀门与控制模块电性连接；所述温度传感器与控制模块电性连接；所述腔体用于放置待烘烤的产品；所述加热层用于对腔体进行加热；所述冷却介质提供模块用于向冷却介质管道的进口通入冷却介质并接收从冷却液介质管道的出口流出的冷却介质；所述温度传感器用于感测加热层的温度并传输至控制模块；所述控制模块用于在加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门传输降温信号控制阀门开启，在加热层的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时控制阀门关闭。所述腔体的上表面设有开口，所述烘烤单元还包括设于腔体上方且覆盖所述开口的盖板。所述加热层包括多块间隔排列的加热板。所述冷却介质提供模块提供的冷却介质为工艺冷却水、冷却气体或冷却油。所述冷却介质管道所在平面与加热层平行。所述冷却介质管道在加热层所在平面的正投影呈“S”字型、“M”字型或螺旋状。所述烘烤装置包括两个烘烤单元；所述两个烘烤单元由上至下依次设置。所述烘烤装置还包括冷却板，所冷却板位于两个烘烤单元的下方。本专利技术还提供一种烘烤方法，采用上述的烘烤装置；当加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供模块向冷却介质管道内通入冷却介质，加热层及腔体内的温度下降；当加热层的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块控制阀门关闭。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种烘烤装置的烘烤单元在腔体下方的加热层下方设置冷却介质管道，冷却介质管道的进口设有阀门，与此同时对应加热层设置温度传感器，并设置与阀门及温度传感器均电性连接的控制模块，当温度传感器感测到加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时，表示需要对加热层及腔体进行降温，此时控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供模块提供的冷却介质通入冷却介质管道内，将加热层及腔体内的热量带出，使加热层及腔体内的温度迅速降低，从而实现烘烤温度调整效率的提高，有效地提高生产产能。本专利技术提供的一种烘烤方法能够有效地提高生产产能。附图说明为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图中，图1为本专利技术的烘烤装置的第一实施例的结构示意图；图2为本专利技术的烘烤装置的加热层的仰视示意图；图3为本专利技术的烘烤装置的加热层与冷却介质管道的一实施例的仰视示意图；图4为本专利技术的烘烤装置的加热层与冷却介质管道的另一实施例的仰视示意图；图5为本专利技术的烘烤装置的加热层与冷却介质管道的又一实施例的仰视示意图；图6为本专利技术的烘烤装置的腔体与盖板的剖视示意图；图7为本专利技术的烘烤装置的第二实施例的结构示意图；图8为本专利技术的烘烤方法的流程图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。本专利技术提供一种烘烤装置，可以应用于液晶显示面板制作过程的黄光制程中对光阻材料进行烘烤，当然，该烘烤装置也可以应用于现有的显示装置制作领域中需要进行烘烤的其他制程中。请参阅图1，本专利技术的烘烤装置的第一实施例包括两个烘烤单元10、控制模块20及冷却介质提供模块30。每一烘烤单元10均包括腔体11、设于腔体11下方的加热层12、设于加热层12下方的冷却介质管道13及对应加热层12设置的温度传感器14。所述冷却介质管道13具有进口131及出口132，所述冷却介质管道13的进口131设有一阀门133。所述冷却介质提供模块30与冷却介质管道13的进口131与出口132均连接。所述阀门133与控制模块20电性连接。所述温度传感器14与控制模块20电性连接。所述腔体11用于放置待烘烤的产品。所述加热层12用于对腔体11进行加热，从而对放置在腔体11内的待烘烤的产品进行烘烤制程。所述冷却介质提供模块30用于向冷却介质管道13的进口131通入冷却介质并接收从冷却液介质管道13的出口132流出的冷却介质。所述温度传感器14用于感测加热层12的温度并传输至控制模块20。所述控制模块20用于在加热层12的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门133传输降温信号控制阀门133开启，在加热层12的温度等于需求烘烤温度时控制阀门133关闭。具体地，在本专利技术的第一实施例中，所述两个烘烤单元10由上至下依次设置。本专利技术的第一实施例为进行后烘烤制程的烘烤装置。具体地，请本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种烘烤装置，其特征在于，包括至少一个烘烤单元(10)、控制模块(20)及冷却介质提供模块(30)；每一烘烤单元(10)均包括腔体(11)、设于腔体(11)下方的加热层(12)、设于加热层(12)下方的冷却介质管道(13)及对应加热层(12)设置的温度传感器(14)；所述冷却介质管道(13)具有进口(131)及出口(132)，所述冷却介质管道(13)的进口(131)设有一阀门(133)；所述冷却介质提供模块(30)与冷却介质管道(13)的进口(131)与出口(132)均连接；所述阀门(133)与控制模块(20)电性连接；所述温度传感器(14)与控制模块(20)电性连接；所述腔体(11)用于放置待烘烤的产品；所述加热层(12)用于对腔体(11)进行加热；所述冷却介质提供模块(30)用于向冷却介质管道(13)的进口(131)通入冷却介质并接收从冷却液介质管道(13)的出口(132)流出的冷却介质；所述温度传感器(14)用于感测加热层(12)的温度并传输至控制模块(20)；所述控制模块(20)用于在加热层(12)的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门(133)传输降温信号控制阀门(133)开启，在加热层(12)的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时控制阀门(133)关闭。...

【技术特征摘要】
1.一种烘烤装置，其特征在于，包括至少一个烘烤单元(10)、控制模块(20)及冷却介质提供模块(30)；每一烘烤单元(10)均包括腔体(11)、设于腔体(11)下方的加热层(12)、设于加热层(12)下方的冷却介质管道(13)及对应加热层(12)设置的温度传感器(14)；所述冷却介质管道(13)具有进口(131)及出口(132)，所述冷却介质管道(13)的进口(131)设有一阀门(133)；所述冷却介质提供模块(30)与冷却介质管道(13)的进口(131)与出口(132)均连接；所述阀门(133)与控制模块(20)电性连接；所述温度传感器(14)与控制模块(20)电性连接；所述腔体(11)用于放置待烘烤的产品；所述加热层(12)用于对腔体(11)进行加热；所述冷却介质提供模块(30)用于向冷却介质管道(13)的进口(131)通入冷却介质并接收从冷却液介质管道(13)的出口(132)流出的冷却介质；所述温度传感器(14)用于感测加热层(12)的温度并传输至控制模块(20)；所述控制模块(20)用于在加热层(12)的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门(133)传输降温信号控制阀门(133)开启，在加热层(12)的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时控制阀门(133)关闭。2.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述腔体(11)的上表面设有开口(111)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐行涛，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44