一种清洁装置、涂布机制造方法及图纸

技术编号:18962935 阅读:34 留言:0更新日期:2018-09-19 00:04
本发明专利技术提供了一种清洁装置,清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,涂布机包括喷嘴组件和设于喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,第一传感器用于喷嘴组件在滑轨上滑动时检测异物在滑动方向上的位置,清洁装置包括第一支架和设于第一支架相对两侧的导轨,第一支架在导轨上的移动方向垂直于喷嘴组件在滑轨上的滑动方向,第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于第一传动装置上的吸附装置,第一驱动装置用于驱动第一传动装置使吸附装置传动至异物在滑动方向上的位置,吸附装置用于当第一支架沿导轨移动时吸附异物。本发明专利技术通过第一传感器和第一支架的配合使用,可精确地将异物进行清洁,免去了人工清洁的困扰。

A cleaning device and coating machine.

The invention provides a cleaning device for cleaning when a coating machine detects a foreign body on the surface of a substrate. The coating machine comprises a nozzle assembly and a pair of slides on opposite sides of the nozzle assembly and a pair of first sensors. The first sensor is used to detect the foreign body on the sliding side when the nozzle assembly slides on the sliding rail. In an upward position, the cleaning device comprises a first bracket and a guide rail on opposite sides of the first bracket. The moving direction of the first bracket on the guide rail is perpendicular to the sliding direction of the nozzle assembly on the slide rail. The first bracket comprises a first driving device, a first driving device and an adsorption device arranged on the first driving device, and a first driving device. The moving device is used to drive the first transmission device to drive the adsorption device to the position of the foreign body in the sliding direction, and the adsorption device is used to absorb the foreign body when the first support moves along the guide rail. The invention can accurately clean the foreign body by the combination of the first sensor and the first rack, thus avoiding the trouble of manual cleaning.

【技术实现步骤摘要】
一种清洁装置、涂布机
本专利技术属于涂布机装置
,具体涉及一种清洁装置、涂布机。
技术介绍
在TFT-LCD的制备过程中,狭缝涂布是黄光制程中非常重要的一步。但当涂布机的基台或基板表面存在异物(如颗粒)时,会对涂布效果产生十分重要的影响,甚至会造成涂布机宕机。而当涂布机的基台或基板表面出现例如异物时需要对涂布机停机并进行人工清洗。因此,上述问题对涂布的效率影响非常大,大大增加了制备的时间,提高了制备的成本。目前,有人研发出一种用于涂布机的清洁装置,通过粘性滚轮将基台表面的异物去除,但当基板表面存在异物时,则无法用黏性滚轮进行去除。因此,现有的清洁装置仍然达不到用户的需求。
技术实现思路
鉴于此,为了解决上述问题,本专利技术提供了一种清洁装置,可用于清洁基板表面的异物,免去了人工清洁的困扰。不仅大大节约了喷涂的时间,而且还提高了产品的良率,降低了成本。本专利技术第一方面提供了一种清洁装置,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置用于当所述第一支架沿所述导轨移动时吸附所述异物。本专利技术第一方面提供的一种清洁装置,首先,当涂布机开始工作时,喷嘴组件开始沿着滑轨进行滑动并对基板表面进行喷涂。当喷涂的过程中喷嘴组件发现基板表面有异物时,此时第一传感器检测异物在滑动方向上的位置,而喷嘴组件回归初始位置。然后,第一传感器将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给第一支架中的所述第一驱动装置,第一驱动装置驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,紧接着第一支架开始沿着与滑轨相垂直的导轨上进行移动,并在移动的过程中开启吸附装置,吸附装置会在移动的过程中持续进行吸附。最终,吸附装置可将基板表面的异物吸附干净,达到了清洁基板表面的目的。本专利技术通过第一传感器和第一支架的配合使用,可精确地将异物进行清洁,免去了人工清洁的困扰。不仅大大节约了喷涂的时间,而且还提高了产品的良率,降低了成本。其中,所述第一支架靠近所述导轨的相对两侧设有第二传感器,所述第二传感器用于所述第一支架在所述导轨上的移动的过程中检测所述异物在所述移动方向上的方位,所述第二传感器还用于将所述异物在所述移动方向上的方位信号传输给所述吸附装置,所述吸附装置用于接收所述方位信号并开启所述吸附装置使所述异物被所述吸附装置吸附。其中,所述清洁装置还用于清洁所述涂布机的基台表面的异物,所述清洁装置还包括可沿所述导轨移动的第二支架,所述第二支架包括第二驱动装置、第二传动装置和与所述第二传动装置相连接的粘性滚筒,所述粘性滚筒平行设置于所述基台表面,所述第二驱动装置用于驱动所述第二传动装置使所述粘性滚筒沿垂直于所述基台表面的方向移动使所述粘性滚筒贴合至所述基台表面,所述粘性滚筒用于在所述第二支架沿所述导轨移动时清洁所述基台表面的所述异物。其中,所述清洁装置还包括控制器,所述控制器通过无线或有线的方式与所述第一驱动装置和所述第二驱动装置连接,所述控制器用于控制所述第一驱动装置和所述第二驱动装置。其中,当所述清洁装置开始工作时,所述控制器还用于控制所述清洁装置移动至所述基台表面和所述基板表面。其中,所述第一支架还包括第一联轴器,所述第一联轴器用于连接所述第一驱动装置和所述第一传动装置,所述第二支架还包括第二联轴器,所述第二联轴器用于连接所述第二驱动装置和所述第二传动装置。其中,所述第一传动装置包括第一移动平台,所述第一移动平台与所述吸附装置相连接,所述第一传动装置控制所述第一移动平台移动使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述第二传动装置包括第二移动平台,所述第二移动平台与所述粘性滚筒相连接,所述第二传动装置控制所述第二移动平台移动使所述粘性滚筒沿垂直于所述基台表面的方向移动。其中,所述第二传感器和所述第一传感器为光电传感器。其中,所述粘性滚筒由粘性材料制成,或者所述粘性滚筒的外表面包覆有粘性材料。本专利技术第二方面提供了一种涂布机,包括本专利技术第一方面提供的清洁装置。本专利技术第二方面提供的一种涂布机,利用本专利技术第一方面提供的清洁装置,可精确地清洁基板表面的异物,免去了人工清洁的困扰。大大提高了产品的良率,降低了成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对本专利技术实施例中所需要使用的附图进行说明。图1为本专利技术实施例中清洁装置的结构示意图;图2为本专利技术实施例中清洁装置内第一支架的结构示意图;图3为本专利技术实施例中清洁装置内第二支架的结构示意图。具体实施方式以下是本专利技术的优选实施方式,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本专利技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本专利技术的保护范围。请参考图1-图3本专利技术实施例提供的一种清洁装置1,所述清洁装置1用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件2和设于所述喷嘴组件2相对两侧的一对滑轨3和一对第一传感器4,所述第一传感器4用于当所述喷嘴组件2在所述滑轨3上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置1包括第一支架11和设于所述第一支架11相对两侧的导轨12,所述第一支架11在所述导轨12上的移动方向垂直于所述喷嘴组件2在所述滑轨3上的滑动方向,所述第一支架11包括第一驱动装置111、第一传动装置112和设于所述第一传动装置112上的吸附装置113,所述第一传感器4还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置111,所述第一驱动装置111用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置112使所述吸附装置113传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置113用于当所述第一支架11沿所述导轨12移动时吸附所述异物。本专利技术实施例提供的一种清洁装置1,首先,当涂布机开始工作时,喷嘴组件2开始沿着滑轨3进行滑动(如图1滑轨处的箭头方向)并对基板表面进行喷涂。当喷涂的过程中喷嘴组件2发现基板表面有异物时,此时第一传感器4检测异物在滑动方向上的位置,而喷嘴组件2回归初始位置。然后,第一传感器4将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给第一支架11中的所述第一驱动装置111,第一驱动装置111驱动所述第一传动装置112使所述吸附装置113传动(如图2中的箭头方向所示)至所述异物在所述滑动方向上的位置,紧接着第一支架11开始沿着与滑轨3相垂直的导轨12上进行移动(如图1中导轨处的箭头方向所示),并在移动的过程中开启吸附装置113,吸附装置113会在移动的过程中持续进行吸附。最终,吸附装置113可将基板表面的异物吸附干净,达到了清洁基板表面的目的本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种清洁装置,其特征在于,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置用于当所述第一支架沿所述导轨移动时吸附所述异物。

【技术特征摘要】
1.一种清洁装置,其特征在于,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置用于当所述第一支架沿所述导轨移动时吸附所述异物。2.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述第一支架靠近所述导轨的相对两侧设有第二传感器,所述第二传感器用于所述第一支架在所述导轨上移动的过程中检测所述异物在所述移动方向上的方位,所述第二传感器还用于将所述异物在所述移动方向上的方位信号传输给所述吸附装置,所述吸附装置用于接收所述方位信号并开启所述吸附装置使所述异物被所述吸附装置吸附。3.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述清洁装置还用于清洁所述涂布机的基台表面的异物,所述清洁装置还包括可沿所述导轨移动的第二支架,所述第二支架包括第二驱动装置、第二传动装置和与所述第二传动装置相连接的粘性滚筒,所述粘性滚筒平行设置于所述基台表面,所述第二驱动装置用于驱动所述第二传动装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐行涛
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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