The invention provides a cleaning device for cleaning when a coating machine detects a foreign body on the surface of a substrate. The coating machine comprises a nozzle assembly and a pair of slides on opposite sides of the nozzle assembly and a pair of first sensors. The first sensor is used to detect the foreign body on the sliding side when the nozzle assembly slides on the sliding rail. In an upward position, the cleaning device comprises a first bracket and a guide rail on opposite sides of the first bracket. The moving direction of the first bracket on the guide rail is perpendicular to the sliding direction of the nozzle assembly on the slide rail. The first bracket comprises a first driving device, a first driving device and an adsorption device arranged on the first driving device, and a first driving device. The moving device is used to drive the first transmission device to drive the adsorption device to the position of the foreign body in the sliding direction, and the adsorption device is used to absorb the foreign body when the first support moves along the guide rail. The invention can accurately clean the foreign body by the combination of the first sensor and the first rack, thus avoiding the trouble of manual cleaning.
【技术实现步骤摘要】
一种清洁装置、涂布机
本专利技术属于涂布机装置
,具体涉及一种清洁装置、涂布机。
技术介绍
在TFT-LCD的制备过程中,狭缝涂布是黄光制程中非常重要的一步。但当涂布机的基台或基板表面存在异物(如颗粒)时,会对涂布效果产生十分重要的影响,甚至会造成涂布机宕机。而当涂布机的基台或基板表面出现例如异物时需要对涂布机停机并进行人工清洗。因此,上述问题对涂布的效率影响非常大,大大增加了制备的时间,提高了制备的成本。目前,有人研发出一种用于涂布机的清洁装置,通过粘性滚轮将基台表面的异物去除,但当基板表面存在异物时,则无法用黏性滚轮进行去除。因此,现有的清洁装置仍然达不到用户的需求。
技术实现思路
鉴于此,为了解决上述问题,本专利技术提供了一种清洁装置,可用于清洁基板表面的异物,免去了人工清洁的困扰。不仅大大节约了喷涂的时间,而且还提高了产品的良率,降低了成本。本专利技术第一方面提供了一种清洁装置,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置 ...
【技术保护点】
1.一种清洁装置,其特征在于,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置用于当所述第一支架沿所述导轨移动时吸附所述异物。
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置,其特征在于,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置用于当所述第一支架沿所述导轨移动时吸附所述异物。2.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述第一支架靠近所述导轨的相对两侧设有第二传感器,所述第二传感器用于所述第一支架在所述导轨上移动的过程中检测所述异物在所述移动方向上的方位,所述第二传感器还用于将所述异物在所述移动方向上的方位信号传输给所述吸附装置,所述吸附装置用于接收所述方位信号并开启所述吸附装置使所述异物被所述吸附装置吸附。3.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述清洁装置还用于清洁所述涂布机的基台表面的异物,所述清洁装置还包括可沿所述导轨移动的第二支架,所述第二支架包括第二驱动装置、第二传动装置和与所述第二传动装置相连接的粘性滚筒,所述粘性滚筒平行设置于所述基台表面,所述第二驱动装置用于驱动所述第二传动装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐行涛,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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