电镜循环水降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电镜循环水降温装置，涉及电镜测试技术领域。该电镜循环水降温装置包括冷气供给组件及涡轮组件。冷气供给组件与涡轮组件连通；涡轮组件设置在电镜的循环水室内；涡轮组件上设有出气孔。本实用新型专利技术的电镜循环水降温装置，冷气供给组件为涡轮组件提供用于冷却循环水的气体，涡轮组件转动时，冷却气体由出气孔流出，与循环水室内的循环水混合，使循环水的温度快速降低，循环水迅速地被冷却，解决了电镜循环水降温速度慢的问题，具有进行推广应用的价值。

【技术实现步骤摘要】
电镜循环水降温装置
本技术涉及电镜测试
，特别是涉及一种电镜循环水降温装置。
技术介绍
针对现有的电镜测试腔体，水是比较理想的保证其常温的介质。原因是水的比热容较大，气化和蒸发热也较大，所以在电镜的常温循环装置中选用水作为介质。现有的循环系统为敞开式的循环装置。在循环过程中，循环水被送往电子枪周围的环境中，冷却水本身温度变高，再被循环出来。由于是敞开式的循环装置，所以循环水的温度会受到周围温度的影响。如果实验室环境温度过高，为使仪器正常运转，要等循环水恢复至正常温度(25℃)后才能开始工作，但是，循环水一般要经过半天甚至更长时间的等待，才能降到正常温度，这就大大地耽误了电镜测试作业的正常进行。目前，亟需一种能够使电镜循环水快速降温的装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电镜循环水降温装置，以解决现有技术中存在的电镜循环水降温速度慢的技术问题。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供的一种电镜循环水降温装置，包括冷气供给组件及涡轮组件；所述冷气供给组件与所述涡轮组件连通；所述涡轮组件设置在电镜的循环水室内；所述涡轮组件上设有出气孔。进一步地，所述冷气供给组件包括氮气阱；所述氮气阱通过冷氮气导气管与所述涡轮组件连通。该技术方案的技术效果在于：氮气阱直接为涡轮组件提供冷却用的氮气，结构简单。进一步地，所述冷气供给组件包括氮气阱、压缩氮气罐及氮气混合腔；所述氮气阱通过冷氮气导气管与所述氮气混合腔连通；所述压缩氮气罐通过常温氮气导气管与所述氮气混合腔连通；所述氮气混合腔通过混合气体导气管与所述涡轮组件连通。该技术方案的技术效果在于：氮气阱、压缩氮气罐通过氮气混合腔与涡轮组件连通，冷却用的气体在氮气混合腔内预先混合，而后再进入涡轮组件内来对循环水室内的循环水进行冷却；氮气混合腔的设置，使得冷却用的气体的温度预先被控制，进而使得循环水的温度更容易被调节，循环水的冷却过程的可控性更高，冷却操作也能够更加可靠。进一步地，所述常温氮气导气管上设有氮气控制阀。该技术方案的技术效果在于：氮气控制阀的设置，使得氮气混合腔内的混合氮气的温度更加容易调节。进一步地，所述循环水室连接有循环水出水管。该技术方案的技术效果在于：循环水通过循环水出水管进入循环水室，结构简单。进一步地，所述循环水室连接有循环水进水管。该技术方案的技术效果在于：循环水通过循环水进水管流出循环水室，冷却回路简单。进一步地，所述循环水进水管内设有空气过滤片。该技术方案的技术效果在于：通过空气过滤片来过滤去循环水中的微量气体，避免因循环水中含有微量气体而带来可能的不良影响，使得电镜测试能够正常地进行。进一步地，所述涡轮组件包括空腔及叶片；所述叶片与所述空腔连通；所述出气孔设置所述叶片上。该技术方案的技术效果在于：空腔和叶片构成中空的涡轮组件，结构简单；冷却气体通过出气孔流出到循环水室，出气孔设置叶片上，使得冷却气体能够更加均匀地与循环水室内的循环水进行混合，对循环水的冷却效果更好，冷却速度更快。进一步地，所述出气孔设置在所述叶片上，并且，所述出气孔位于所述叶片的下方。该技术方案的技术效果在于：出气孔位于叶片的下方，使得循环水室内的循环水不易进入到叶片内，也就不易进入到涡轮组件内，有利于涡轮组件的稳定工作。进一步地，所述叶片的数量为多个；多个所述叶片周向均匀地连接在所述空腔上。该技术方案的技术效果在于：叶片的数量为多个，使得涡轮组件具备多个出气孔，涡轮组件旋转时，多个叶片搅动循环水室内的循环水，多个出气孔释放冷却气体，使得循环水室内的循环水能够快速、均匀地被冷却。本技术提供的电镜循环水降温装置，涡轮组件设置在循环水室内，涡轮组件与冷气供给组件连通，冷气供给组件为涡轮组件提供用于冷却循环水的气体，冷却气体由出气孔流出。本技术提供的电镜循环水降温装置，冷气供给组件为涡轮组件提供用于冷却循环水的气体，工作时，涡轮组件转动，冷却气体由出气孔流出，与循环水室内的循环水混合，使循环水的温度快速降低，循环水迅速地被冷却，解决了电镜循环水降温速度慢的问题，适于进行推广应用。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例一提供的一种电镜循环水降温装置的整体结构示意图；图2为本技术实施例一提供的一种电镜循环水降温装置的部分结构示意图；图3为本技术实施例一提供的一种电镜循环水降温装置的部分结构示意图；图4为本技术实施例一提供的一种电镜循环水降温装置中的循环水进水管的结构示意图。附图标记：0-冷气供给组件；1-氮气阱；2-压缩氮气罐；3-氮气控制阀；4-冷氮气导气管；5-常温氮气导气管；6-氮气混合腔；7-温度显示装置；8-混合气体导气管；9-循环水室；10-涡轮组件；11-循环水进水管；12-循环水出水管；13-出气孔；14-空气过滤片。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例一：在本实施例的可选方案中，如图1、图3所示，本实施例提供的一种电镜循环水降温装置，包括冷气供给组件0及涡轮组件10；冷气供给组件0与涡轮组件10连通；涡轮组件10设置在电镜的循环水室9内；涡轮组件10上设有出气孔13。在本实施例中，涡轮组件10设置在循环水室9内，涡轮组件10与冷气供给组件0连通，冷气供给组件0为涡轮组件10提供用于冷却循环水的气体，冷却气体由出气孔13流出；冷气供给组件0为涡轮组件10提供用于冷却循环水的气体，工作时，涡轮组件10转动，冷却气体由出气孔13流出，与循环水室9内的循环水混合，使循环水的温度快速降低，循环水迅速地被冷却。并且，冷气供给组件0与涡轮组件10内部空腔连通。可以理解，涡轮组件10转动，冷却气体由出气孔13流出，冷却气体与循环水室9内的循环水混合，使得循环水迅速冷却。在本实施例的可选方案中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电镜循环水降温装置，其特征在于，包括冷气供给组件(0)及涡轮组件(10)；所述冷气供给组件(0)与所述涡轮组件(10)连通；所述涡轮组件(10)设置在电镜的循环水室(9)内；所述涡轮组件(10)上设有出气孔(13)。

【技术特征摘要】
1.一种电镜循环水降温装置，其特征在于，包括冷气供给组件(0)及涡轮组件(10)；所述冷气供给组件(0)与所述涡轮组件(10)连通；所述涡轮组件(10)设置在电镜的循环水室(9)内；所述涡轮组件(10)上设有出气孔(13)。2.根据权利要求1所述的电镜循环水降温装置，其特征在于，所述冷气供给组件(0)包括氮气阱(1)；所述氮气阱(1)通过冷氮气导气管(4)与所述涡轮组件(10)连通。3.根据权利要求1所述的电镜循环水降温装置，其特征在于，所述冷气供给组件(0)包括氮气阱(1)、压缩氮气罐(2)及氮气混合腔(6)；所述氮气阱(1)通过冷氮气导气管(4)与所述氮气混合腔(6)连通；所述压缩氮气罐(2)通过常温氮气导气管(5)与所述氮气混合腔(6)连通；所述氮气混合腔(6)通过混合气体导气管(8)与所述涡轮组件(10)连通。4.根据权利要求3所述的电镜循环水降温装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琰琪，王钰雅，李栋，蒋方丹，王栩生，邢国强，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32