补料装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种补料装置，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，坩埚设于真空反应室内，喂线机构安装在真空反应室的内壁上，喂线机构向坩埚输送线型材料，线型材料在坩埚内被熔融为液体并蒸发，压力感应器用于检测坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至控制件，控制件根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，以使坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。通过压力感应器监测坩埚的重量，控制件根据压力感应器提供的不同数据，根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，从而使得坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内，从而使得补料装置可以实现自动控制补料操作，避免停机，提高工作效率。本发明专利技术还提供了一种蒸镀设备。

【技术实现步骤摘要】
补料装置及蒸镀设备
本专利技术属于显示
，尤其涉及一种补料装置及蒸镀设备。
技术介绍
在OLED器件制作过程中，需要用到蒸镀制程，通过坩埚将金属材料熔融并形成蒸汽，将金属蒸汽通过掩膜版沉积在基板上，制成薄膜结构。在蒸镀过程中，需要不断将金属原材料投入坩埚中，以产生稳定的金属蒸汽，而蒸镀制程一般都在真空环境中进行，传统的补料方法为固定间隔时间进行补料，此方法存在以下问题：蒸汽的产生和消耗是受多重因素影响的，例如，当坩埚的温度偏低或偏高，使得蒸汽产生的速度会偏慢或偏快，又或者，由于蒸汽消耗主要是在基板上，当基板上的薄膜的结构变化时，消耗的蒸汽量也会产生变化，而采用固定时间补料显然不能满足以上工况对于补料的要求，偏差增大会导致经常停机，严重影响工作效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种补料装置，以解决现有技术的补料不能满足要求的问题，实现补料的自动化控制，避免停机而影响工作效率。为实现本专利技术的目的，本专利技术提供了如下的技术方案：第一方面，本专利技术提供补料装置，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，所述坩埚设于真空反应室内，所述喂线机构安装在所述真空反应室的内壁上，所述喂线机构向所述坩埚输送线型材料，所述线型材料在所述坩埚内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器用于检测所述坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件，所述控制件根据预设模式控制所述喂线机构的喂线速度，以使所述坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述压力感应器设置于所述坩埚下，所述压力感应器与所述坩埚之间还设有隔热板。结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述坩埚与所述压力感应器之间还设有导向柱，所述隔热板包括第一隔热板和第二隔热板，所述第一隔热板设置于所述坩埚和所述导向柱之间，所述第二隔热板设置于所述导向柱与所述压力感应器之间，所述第二隔热板与所述压力感应器之间通过立柱连接，所述导向柱用于将所述坩埚的重量全部传递至第二隔热板，并经所述立柱传递至所述压力感应器。结合第一方面及第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，还设有冷却立板和环板，所述冷却立板顶部设置有所述环板，所述环板围绕所述导向柱设置，以使所述导向柱在所述环板的限位下上下移动，所述冷却立板内设有液流管路，冷却液体在所述液流管路内循环流动，以进行散热。结合第一方面及第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，还设有保温立板，所述保温立板围绕在所述第一隔热板至所述冷却立板的外周，以减少所述冷却立板的温度散失，以使所述冷却立板用于加热液体。结合第一方面及第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述冷却立板上还设有支撑板，所述支撑板上设有缓冲弹簧，所述立柱穿设于所述支撑板和所述缓冲弹簧内，所述缓冲弹簧用于承载所述坩埚突变的载荷，以使所述压力感应器受到的冲击减小。在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述真空反应室的内壁上还设有监视器，所述监视器对准所述坩埚内的液面位置，所述坩埚上还设有液面刻度，所述监视器将监视到的坩埚液面的画面信息输送至所述控制件，所述控制件根据所述坩埚液面的刻度控制所述喂线机构的喂线速度。结合第一方面及第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，所述真空反应室的内壁上还设有调节挡板，所述调节挡板包围所述监视器，所述控制件根据预设模式控制所述调节挡板打开，以使所述监视器监视所述坩埚。结合第一方面及第一方面的第一种至第七种任一可能的实现方式，在第一方面的第八种可能的实现方式中，还包括显示器，所述显示器用于显示所述控制件的工作参数。第二方面，本专利技术还提供了一种蒸镀设备，其特征在于，包括真空反应室和第一方面任一实现方式中所述的补料装置，所述补料装置设置于所述真空反应室内。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种补料装置，通过设置压力感应器和控制件，通过压力感应器监测坩埚的重量，控制件根据压力感应器提供的不同数据，根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，从而使得坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内，从而使得补料装置可以实现自动控制补料操作，避免停机，提高工作效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一种实施方式的蒸镀设备的真空反应室立体结构示意图；图2是本专利技术一种实施方式的真空反应室的内部结构示意图；图3是本专利技术一种实施方式的补料装置的控制结构示意图；图4是一种实施方式的坩埚和压力感应器的结构示意图；图5是一种实施方式的坩埚和压力感应器的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1和图2，图1是本专利技术一种实施方式的蒸镀设备的真空反应室立体结构示意图，图2是本专利技术一种实施方式的真空反应室的内部结构示意图，本专利技术实施例提供一种蒸镀设备，包括真空反应室10和补料装置，所述补料装置的坩埚20、喂线机构40和压力感应器30设置于所述真空反应室10内。请参阅图2和图3，图3是本专利技术一种实施方式的补料装置的控制结构示意图，本专利技术实施例提供一种补料装置，包括坩埚20、喂线机构40、压力感应器30和控制件60，所述坩埚20设于真空反应室10内，所述喂线机构40安装在所述真空反应室10的内壁上，所述喂线机构40向所述坩埚20输送线型材料41，所述线型材料41在所述坩埚20内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器30用于检测所述坩埚20的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件60，所述控制件60根据预设模式控制所述喂线机构40的喂线速度，以使所述坩埚20内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。本实施方式中，通过设置压力感应器30和控制件60，通过压力感应器30监测坩埚20的重量，控制件60根据压力感应器30提供的不同数据，根据预设模式控制喂线机构40的喂线速度，从而使得坩埚20内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内，从而使得补料装置可以实现自动控制补料操作，避免停机，提高工作效率。本实施方式中，坩埚20用于加热并储存熔融的蒸镀材料，坩埚20的加热结构可以设置于坩埚20底部，呈圆盘结构，或设置于四周的外表面，呈网状结构，坩埚20的侧壁为隔热材料制作，可减少热量从坩埚20的侧壁散失，提高热效率。坩埚20中熔融的蒸镀材料的体积要求在规定范围内，该规定范围根据坩埚20的尺寸而定，具体实施例中，坩埚20的容积为2L，则坩埚20内的熔融的蒸镀材料的体积范围为0.5～1.5L，换而言之，坩埚20内熔融的蒸镀材料不允许干锅、也不允许溢出，而应留有一定余量。本实施方式中，压力感应器30可以为压力传感器，例如表压传感器、差压传感器和绝压传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种补料装置，其特征在于，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，所述坩埚设于真空反应室内，所述喂线机构安装在所述真空反应室的内壁上，所述喂线机构向所述坩埚输送线型材料，所述线型材料在所述坩埚内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器用于检测所述坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件，所述控制件根据预设模式控制所述喂线机构的喂线速度，以使所述坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。

【技术特征摘要】
1.一种补料装置，其特征在于，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，所述坩埚设于真空反应室内，所述喂线机构安装在所述真空反应室的内壁上，所述喂线机构向所述坩埚输送线型材料，所述线型材料在所述坩埚内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器用于检测所述坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件，所述控制件根据预设模式控制所述喂线机构的喂线速度，以使所述坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。2.如权利要求1所述的补料装置，其特征在于，所述压力感应器设置于所述坩埚下，所述压力感应器与所述坩埚之间还设有隔热板。3.如权利要求2所述的补料装置，其特征在于，所述坩埚与所述压力感应器之间还设有导向柱，所述隔热板包括第一隔热板和第二隔热板，所述第一隔热板设置于所述坩埚和所述导向柱之间，所述第二隔热板设置于所述导向柱与所述压力感应器之间，所述第二隔热板与所述压力感应器之间通过立柱连接，所述导向柱用于将所述坩埚的重量全部传递至第二隔热板，并经所述立柱传递至所述压力感应器。4.如权利要求3所述的补料装置，其特征在于，还设有冷却立板和环板，所述冷却立板顶部设置有所述环板，所述环板围绕所述导向柱设置，以使所述导向柱在所述环板的限位下上下移动，所述冷却立板内设有液流管路，冷却液体在所述液流管路内循环流动，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：张佳，匡友元，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44