柔性衬底及其制备方法、显示面板的制备方法和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于显示技术领域，具体涉及一种柔性衬底及其制备方法、显示面板的制备方法和显示装置。该一种柔性衬底，用于承载柔性显示器件，所述柔性显示器件设有显示区，所述显示区内划分为多个像素区，相邻所述像素区之间为间隔区，所述柔性衬底包括支撑层，所述支撑层的一侧表层在对应着所述间隔区的区域设置有多个微型凹槽。该柔性衬底通过对支撑层进行图案化微型凹槽设计，使支撑层及其上方的走线具有凹凸起伏的构造，而控制元件对应的区域并不设置起伏构造、还在其下方处理为较坚硬的结构，适于将柔性发光器件与延展层结合，形成具有可拉伸性质的柔性器件，特别适用于对柔性显示器件支撑。

Flexible substrate and its preparation method, preparation method and display device of display panel

The invention belongs to the field of display technology, in particular to a flexible substrate and a preparation method thereof, a preparation method of a display panel and a display device thereof. A flexible substrate for carrying flexible display devices is provided with a display area divided into a plurality of pixel areas and an interval area between adjacent pixel areas. The flexible substrate includes a support layer, and one side surface layer of the support layer is provided with an area corresponding to the interval area. Multiple micro grooves. The flexible substrate is designed by patterning the micro-groove of the support layer, so that the support layer and the line above it have a concave-convex structure, and the corresponding area of the control element does not have a undulating structure, and is also treated as a more rigid structure below it. It is suitable to combine the flexible light-emitting device with the extended layer to form a flexible light-emitting device. Stretches of flexible devices are especially suitable for supporting flexible displays.

【技术实现步骤摘要】
柔性衬底及其制备方法、显示面板的制备方法和显示装置
本专利技术属于显示
，具体涉及一种柔性衬底及其制备方法、显示面板的制备方法和显示装置。
技术介绍
随着科学技术的发展，平板显示装置已取代笨重的CRT显示装置日益深入人们的日常生活中。目前，常用的平板显示装置包括LCD(LiquidCrystalDisplay：液晶显示装置)和OLED(OrganicLight-EmittingDiode:有机发光二极管)显示装置。相比LCD装置，OLED显示具有自发光、可柔性等优点。近年来，柔性显示(FlexibleDisplay)技术发展十分迅速，各种柔性显示屏发展计划层出不穷，涉及显示、可穿戴式等多个领域。柔性显示具备可拉伸性(stretchable)，对其衬底、薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，简称TFT)、发光器件、电路布置等多个方面都提出了特别的要求。薄膜晶体管形成在衬底上，为适应可拉伸性，一般将薄膜晶体管做成独立岛状结构，以避免在拉伸动作时对显示器件造成破坏。但是，一般的设计由于柔性基板较厚且弹性模量较大，所以拉伸或变形时较为困难，甚至会造成断裂。设计一种具有较好延展性，又对薄膜晶体管具有较好支撑性的显示器件，成为目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中上述不足，提供一种柔性衬底及其制备方法、显示面板的制备方法和显示装置，该柔性衬底具有较好延展性，能更好的应对应力拉伸，又对薄膜晶体管具有较好的支撑性，保证显示性能。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种柔性衬底，用于承载柔性显示器件，所述柔性显示器件设有显示区，所述显示区内划分为多个像素区，相邻所述像素区之间为间隔区，所述柔性衬底包括支撑层，所述支撑层的一侧表层在对应着所述间隔区的区域设置有多个微型凹槽。优选的是，所述柔性显示器件还包括位于所述显示区外围的非显示区，所述非显示区内设有绑定区，所述支撑层的一侧表层在对应着所述非显示区除所述绑定区之外的区域设置有多个所述微型凹槽。优选的是，所述柔性衬底还包括延展层，所述延展层位于所述支撑层未设置所述微型凹槽的一侧。优选的是，每一所述像素区内均设置有控制元件，所述延展层由受光能发生改质的材料形成，所述延展层对应着所述控制元件的区域光照改质为加固区，所述加固区的弹性模量大于除所述加固区以外的其他区域的弹性模量。优选的是，所述微型凹槽的深度不大于所述支撑层的厚度的十分之一。优选的是，所述微型凹槽为圆形槽或矩形槽。优选的是，在对应着所述间隔区的区域，多个所述微型凹槽均匀分布；在对应着所述非显示区除所述绑定区之外的区域中，多个所述微型凹槽均匀分布；或者，多个所述微型凹槽在靠近边缘的密度大于处于中间的密度；或者，多个所述微型凹槽在靠近边缘的尺寸大小大于处于中间的尺寸大小。优选的是，所述支撑层包括聚酰亚胺材料，所述延展层包括聚二甲基硅氧烷材料。一种柔性衬底的制备方法，所述柔性衬底用于承载柔性显示器件，所述柔性显示器件设有显示区，所述显示区内划分为多个像素区，相邻所述像素区之间为间隔区，包括：设置支撑膜层；在所述支撑膜层的一侧表层对应着所述间隔区的区域形成多个微型凹槽，从而形成支撑层。优选的是，所述柔性显示器件还包括位于所述显示区外围的非显示区，所述非显示区内设有绑定区，所述制备方法包括：在所述支撑膜层的一侧表层对应着所述间隔区的区域形成多个微型凹槽的步骤中，还同时在所述支撑层的一侧表层在对应着所述非显示区除所述绑定区之外的区域形成多个所述微型凹槽。优选的是，形成多个所述微型凹槽的方法包括激光烧蚀方法，或者干法刻蚀方法，或者湿法刻蚀方法，或者纳米压印方法。优选的是，形成多个微型凹槽的步骤包括：在所述支撑膜层的一侧表层形成抗蚀层；对所述抗蚀层进行图案化处理，图案化处理后的抗蚀层包括抗蚀层去除区域和抗蚀层保留区域；利用刻蚀媒介所述抗蚀层去除区域对应的所述支撑膜层部分，形成所述微型凹槽；将所述抗蚀层剥离。优选的是，所述制备方法还包括：在所述支撑层未设置所述微型凹槽的一侧设置延展层，所述延展层由受光能发生改质的材料形成。优选的是，每一所述像素区内均设置有控制元件，所述制备方法还包括：对所述延展层远离所述支撑层的一侧表层在对应着所述控制元件的区域采用紫外光照射，使得所述延展层对应着所述控制元件的区域光照改质形成加固区，所述加固区的弹性模量大于除所述加固区以外的其他区域的弹性模量。一种显示面板的制备方法，包括：在衬底衬垫的上方设置上述的柔性衬底的支撑层；在所述支撑层设置有所述微型凹槽的一侧、对应着所述像素区的区域内的一角形成控制元件；在所述控制元件远离所述微型凹槽的一侧、对应着所述像素区的区域形成发光器件；将所述支撑层与所述衬底衬垫分离。优选的是，还包括：将所述支撑层及所述控制元件和所述发光器件转移到延展层的上方，所述支撑层未设置所述微型凹槽的一侧与所述延展层接触；对所述延展层远离所述支撑层的一侧表层在对应着所述控制元件的区域进行改质形成加固区，所述加固区的弹性模量大于除所述加固区以外的其他区域的弹性模量。一种显示装置，包括上述的制备方法形成的显示面板。本专利技术的有益效果是：该柔性衬底，通过对支撑层进行图案化微型凹槽设计，使支撑层及其上方的走线具有凹凸起伏的构造，而控制元件对应的区域并不设置凹凸起伏构造、还在其下方处理为较坚硬的结构，适于将柔性发光器件与延展层结合，形成具有可拉伸性质的柔性器件，特别适用于对柔性显示器件支撑。附图说明图1为本专利技术实施例1中柔性衬底的剖视图；图2为与图1对应的柔性衬底的平面示意图；图3A-图3C为图2中以AA截面剖视示例柔性衬底的制备方法的流程示意图；图4A为在图3C基础上形成加固区的平面示意图；图4B为紫外光照射前后检测延展层PDMS中各成分占比结果图；图5A-图5E为本专利技术实施例3中柔性显示面板的制备方法的流程示意图；图6A、图6B为对应图5C、图5E的平面示意图；附图标识中：1-衬底衬垫；10-像素区；11-间隔区；2-支撑层；20-微型凹槽；21-支撑膜层；3-控制元件；4-发光器件；5-封装层；6-延展层；60-加固区。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术柔性衬底及其制备方法、显示面板的制备方法和显示装置作进一步详细描述。实施例1：本实施例针对柔性衬底的品质影响控制元件TFT和发光器件OLED的性能的问题，提供一种柔性衬底，在保证支撑性能的情况下提供足够的延展性。该柔性衬底用于承载柔性显示器件，柔性显示器件设有显示区，显示区内划分为多个像素区，相邻像素区之间为间隔区，柔性衬底包括支撑层，如图1和图2所示，支撑层2的一侧表层在对应着相邻像素区10之间的间隔区11的区域设置有多个微型凹槽20。该柔性衬底在用来形成显示面板的过程中，在支撑层2设置柔性显示器件的一侧设置微型凹槽20，即微型凹槽20的槽口朝向柔性显示器件。该柔性衬底通过在支撑层2中设置微型凹槽20，由于微型凹槽20的存在，在支撑层2的表层形成厚薄不一的凹凸结构，在外力作用相同的情况下，由于厚度较薄的区域容易拉伸，所以容易吸收应力。从而避免了应力在像素区积累，而对像素区内的结构造成破坏。因此，该柔性衬底通过在间隙区11设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性衬底，用于承载柔性显示器件，所述柔性显示器件设有显示区，所述显示区内划分为多个像素区，相邻所述像素区之间为间隔区，其特征在于，所述柔性衬底包括支撑层，所述支撑层的一侧表层在对应着所述间隔区的区域设置有多个微型凹槽。

【技术特征摘要】
1.一种柔性衬底，用于承载柔性显示器件，所述柔性显示器件设有显示区，所述显示区内划分为多个像素区，相邻所述像素区之间为间隔区，其特征在于，所述柔性衬底包括支撑层，所述支撑层的一侧表层在对应着所述间隔区的区域设置有多个微型凹槽。2.根据权利要求2所述的柔性衬底，其特征在于，所述柔性显示器件还包括位于所述显示区外围的非显示区，所述非显示区内设有绑定区，所述支撑层的一侧表层在对应着所述非显示区除所述绑定区之外的区域设置有多个所述微型凹槽。3.根据权利要求1或2所述的柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底还包括延展层，所述延展层位于所述支撑层未设置所述微型凹槽的一侧。4.根据权利要求3所述的柔性衬底，其特征在于，每一所述像素区内均设置有控制元件，所述延展层由受光能发生改质的材料形成，所述延展层对应着所述控制元件的区域光照改质为加固区，所述加固区的弹性模量大于除所述加固区以外的其他区域的弹性模量。5.根据权利要求1或2所述的柔性衬底，其特征在于，所述微型凹槽的深度不大于所述支撑层的厚度的十分之一。6.根据权利要求1或2所述的柔性衬底，其特征在于，所述微型凹槽为圆形槽或矩形槽。7.根据权利要求2所述的柔性衬底，其特征在于，在对应着所述间隔区的区域，多个所述微型凹槽均匀分布；在对应着所述非显示区除所述绑定区之外的区域中，多个所述微型凹槽均匀分布；或者，多个所述微型凹槽在靠近边缘的密度大于处于中间的密度；或者，多个所述微型凹槽在靠近边缘的尺寸大小大于处于中间的尺寸大小。8.根据权利要求3所述的柔性衬底，其特征在于，所述支撑层包括聚酰亚胺材料，所述延展层包括聚二甲基硅氧烷材料。9.一种柔性衬底的制备方法，所述柔性衬底用于承载柔性显示器件，所述柔性显示器件设有显示区，所述显示区内划分为多个像素区，相邻所述像素区之间为间隔区，其特征在于，包括：设置支撑膜层；在所述支撑膜层的一侧表层对应着所述间隔区的区域形成多个微型凹槽，从而形成支撑层。10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述柔性显示器件还包括位于所述显示区外围的非显示区，所述非显示区内设有绑定区，所述制备方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢明哲，杨静，郭远征，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11