图像传感器制造技术

公开了一种图像传感器件，可以包括：像素阵列，其中布置了多个像素块。像素块中的每个像素块可以包括：光接收器，包括浮置扩散部和多个单位像素，以及被配置成接收入射光和响应于所接收的入射光而产生光电荷，该多个单位像素共享浮置扩散部；第一驱动器，位于光接收器的第一侧，并包括驱动器晶体管；第二驱动器，位于光接收器的第二侧，并包括复位晶体管；以及导线，具有将驱动器晶体管耦接到浮置扩散部的第一区和将浮置扩散部耦接到复位晶体管的第二区，其中，驱动器晶体管和复位晶体管在对角方向上分别位于光接收器的第一侧和第二侧。

image sensor

An image sensor device is disclosed, which can include: a pixel array, wherein a plurality of pixel blocks are arranged. Each pixel block in a pixel block may include: an optical receiver, including a floating diffusion portion and a plurality of unit pixels, and a photoelectric charge configured to receive incident light and generate in response to the received incident light, the plurality of unit pixels sharing a floating diffusion portion; a first driver, located on the first side of the optical receiver, and comprising A driver transistor; a second driver, located on the second side of the optical receiver and comprising a reset transistor; and a conductor having a first region coupling the driver transistor to the floating diffuser and a second region coupling the floating diffuser to the reset transistor, wherein the driver transistor and the reset transistor are in diagonal directions It is located on the first and second sides of the optical receiver respectively.

【技术实现步骤摘要】
图像传感器相关申请的交叉引用本申请要求2017年3月6日向韩国知识产权局提交的申请号为10-2017-0028056的韩国专利申请的优先权，其公开内容通过引用整体合并于此。
本专利技术的示例性实施例涉及一种包括图像传感器的半导体器件制造技术。
技术介绍
图像传感器指将光学图像转换成电信号的器件。近年来，随着计算机产业和通信产业的发展，在诸如数码相机、摄像机、个人通信系统(PCS)、游戏机、安全相机、医疗微型相机和机器人的各种领域中，对具有高集成度的增强型图像传感器的需求正在增加。
技术实现思路
各种实施例针对一种增强型图像传感器。在一个实施例中，一种图像传感器件可以包括：像素阵列，其中布置了多个像素块。像素块中的每个像素块可以包括：光接收器，包括浮置扩散部和多个单位像素，并且被配置成接收入射光和响应于所接收的入射光而产生光电荷，该多个单位像素共享浮置扩散部；第一驱动器，位于光接收器的第一侧，并包括驱动器晶体管；第二驱动器，位于光接收器的第二侧，并包括复位晶体管；以及导线，具有将驱动器晶体管耦接到浮置扩散部的第一区和将浮置扩散部耦接到复位晶体管的第二区，其中，驱动器晶体管和复位晶体管在对角方向上分别位于光接收器的第一侧和第二侧。导线的第一区和导线的第二区可以具有基本上相同的长度。导线的第一区和第二区可以关于浮置扩散部对称。第一驱动器还可以包括选择晶体管，以及选择晶体管可以相比于驱动器晶体管位于更靠近浮置扩散部处。选择晶体管可以与浮置扩散部基本上位于同一线上。导线的第一区可以电耦接到驱动器晶体管的栅极，以及导线的第二区可以电耦接到复位晶体管的源极。复位晶体管可以具有相比于复位晶体管的源极位于更靠近对应的像素块的外部处的栅极。多个单位像素可以包括邻近于驱动器晶体管的第一单位像素和邻近于复位晶体管的第二单位像素，第一单位像素和第二单位像素被配置成感测相同的颜色。在一个实施例中，一种图像传感器件可以包括：像素阵列，其中布置了多个像素块。像素块中的每个像素块可以包括：光接收器，包括浮置扩散部和共享浮置扩散部的第一单位像素至第四单位像素，第一单位像素至第四单位像素中的每个单位像素被配置成接收入射光以及响应于所接收的入射光而产生光电荷，其中，第一单位像素位于浮置扩散部的第一上侧，第二单位像素位于浮置扩散部的第二上侧，第三单位像素位于浮置扩散部的第一下侧，以及第四单位像素位于浮置扩散部的第二下侧；第一驱动器，位于邻近于第一单位像素处且包括驱动器晶体管；第二驱动器，位于邻近于第四单位像素处且包括复位晶体管；以及导线，具有将驱动器晶体管耦接到浮置扩散部的第一区和将浮置扩散部耦接到复位晶体管的第二区。图像传感器件还可以包括具有与多个像素块相对应的多个颜色图案的滤色器阵列，其中，多个颜色图案中的每个颜色图案包括与第一单位像素相对应的第一滤色器、与第二单位像素相对应的第二滤色器、与第三单位像素相对应的第三滤色器和与第四单位像素相对应的第四滤色器，以及第一滤色器和第四滤色器具有相同的颜色。第一滤色器和第四滤色器可以包括绿色滤色器。导线的第一区和导线的第二区可以具有基本上相同的长度。导线的第一区和第二区可以关于浮置扩散部对称。第一驱动器的驱动器晶体管可以位于邻近于第一单位像素处，以及第二驱动器的复位晶体管可以位于邻近于第四单位像素处。第一驱动器还可以包括选择晶体管，以及选择晶体管可以相比于驱动器晶体管位于更靠近浮置扩散部处。选择晶体管的栅极与浮置扩散部可以基本上位于同一线上。导线的第一区可以电耦接到驱动器晶体管的栅极，以及导线的第二区可以电耦接到复位晶体管的源极。复位晶体管可以具有相比于复位晶体管的源极位于更靠近对应的像素块的外部处的栅极。在一个实施例中，一种图像传感器件可以包括：第一像素块，包括：第一光接收器，具有第一浮置扩散部和共享第一浮置扩散部的多个单位像素，该多个单位像素中的每个单位像素被配置成接收入射光以及响应于所接收的入射光而产生光电荷；第一驱动器，形成在第一光接收器的左上部处；以及第二驱动器，形成在第一光接收器的右下部处；以及第二像素块，位于邻近于第一像素块处，且包括：第二光接收器，具有第二浮置扩散部以及共享第二浮置扩散部的多个单位像素，该多个单位像素中的每个单位像素被配置成接收入射光以及响应于所接收的入射光而产生光电荷；第三驱动器，形成在第二光接收器的左上部处；以及第四驱动器，形成在第二光接收器的右下部处，其中，第二驱动器和第三驱动器位于同一线上。图像传感器件还可以包括：第一导线，具有将第一驱动器晶体管与第一浮置扩散部耦接的第一区和将第一浮置扩散部与第一复位晶体管耦接的第二区；以及第二导线，具有将第二驱动器晶体管与第二浮置扩散部耦接的第三区和将第二浮置扩散部与第二复位晶体管耦接的第四区，其中，第一区和第二区具有基本上相同的长度，而第三区和第四区具有基本上相同的长度。第一驱动器和第三驱动器可以分别包括第一驱动器晶体管和第二驱动器晶体管，而第二驱动器和第四驱动器可以分别包括第一复位晶体管和第二复位晶体管。第一像素块的多个单位像素可以包括邻近于第一驱动器的第一单位像素和邻近于第二驱动器的第二单位像素，而第二像素块的多个单位像素包括邻近于第三驱动器的第三单位像素和邻近于第四驱动器的第四单位像素，第一单位像素至第四单位像素被配置成感测相同的颜色。附图说明图1是图示基于所公开技术的实施例的图像传感器的像素块和与像素块相对应的颜色图案的平面图。图2是图示基于所公开技术的实施例的图像传感器的像素阵列的一部分的平面图。图3是图示基于所公开技术的实施例的与图像传感器的像素阵列的一部分相对应的滤色器阵列的平面图。图4是示意性图示基于所公开技术的实施例的图像传感器的示例代表的框图。图5是示意性图示基于所公开技术的实施例的包括图像传感器的电子设备的示例代表的示图。具体实施方式所公开技术的各种实施例提供了一种增强型图像传感器。增强型图像传感器可以表示能够提供高分辨率图像的图像传感器。对于该操作，图像传感器可以具有共享像素结构。例如，各种实施例提供包括共享像素结构的图像传感器，该共享像素结构用于提供高分辨率图像，由此防止单位像素的输出信号之间的差异。作为参考，仅当彼此相邻布置以感测同一颜色的两个或更多个单位像素(例如，彼此相邻的两个绿像素)的输出信号具有相同的强度时，通过感测红色、绿色和蓝色来产生图像的图像传感器可以使图像转换期间的误差和噪声最小化。然而，在具有共享像素结构的图像传感器中，布置在各个单位像素周围的结构(例如，像素晶体管)彼此不同。因此，每个单位像素的重叠电容或寄生电容变得彼此不同，且重叠电容或寄生电容中的差异导致每个单位像素的输出信号变得彼此不同。在该专利文献中的公开技术提供了图像传感器的各种实施例，图像传感器包括用于提供高分辨率图像的共享像素结构，且可以防止单位像素的输出信号彼此不同。所公开技术的各种实施方式提供了一种图像传感器，该图像传感器可以为彼此相邻布置以感测同一颜色的单位像素提供在单位像素和与单位像素相邻的结构之中的相同的重叠电容或寄生电容。下面将参照附图来更详细地描述所公开技术的各种实施例。附图不一定成比例，且在一些情况下，可能已经放大了附图中的至少一部分结构以便清楚地图示出所描述的示例或实施方式的某些特征。在表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像传感器件，包括：像素阵列，其中布置了多个像素块，其中，像素块中的每个像素块包括：光接收器，包括浮置扩散部和多个单位像素，并且被配置成接收入射光并响应于所接收的入射光而产生光电荷，所述多个单位像素共享浮置扩散部；第一驱动器，位于光接收器的第一侧，并包括驱动器晶体管；第二驱动器，位于光接收器的第二侧，并包括复位晶体管；以及导线，具有将驱动器晶体管耦接到浮置扩散部的第一区和将浮置扩散部耦接到复位晶体管的第二区，其中，驱动器晶体管和复位晶体管在对角方向上分别位于光接收器的第一侧和第二侧。

【技术特征摘要】
2017.03.06 KR 10-2017-00280561.一种图像传感器件，包括：像素阵列，其中布置了多个像素块，其中，像素块中的每个像素块包括：光接收器，包括浮置扩散部和多个单位像素，并且被配置成接收入射光并响应于所接收的入射光而产生光电荷，所述多个单位像素共享浮置扩散部；第一驱动器，位于光接收器的第一侧，并包括驱动器晶体管；第二驱动器，位于光接收器的第二侧，并包括复位晶体管；以及导线，具有将驱动器晶体管耦接到浮置扩散部的第一区和将浮置扩散部耦接到复位晶体管的第二区，其中，驱动器晶体管和复位晶体管在对角方向上分别位于光接收器的第一侧和第二侧。2.如权利要求1所述的图像传感器件，其中，导线的第一区和导线的第二区具有基本上相同的长度。3.如权利要求1所述的图像传感器件，其中，导线的第一区和第二区关于浮置扩散部对称。4.如权利要求1所述的图像传感器件，其中，第一驱动器还包括选择晶体管，以及选择晶体管相比于驱动器晶体管位于更靠近浮置扩散部处。5.如权利要求4所述的图像传感器件，其中，选择晶体管与浮置扩散部基本上位于同一线上。6.如权利要求1所述的图像传感器件，其中，导线的第一区电耦接到驱动器晶体管的栅极，以及导线的第二区电耦接到复位晶体管的源极。7.如权利要求6所述的图像传感器件，其中，复位晶体管具有相比于复位晶体管的源极位于更靠近对应的像素块的外部处的栅极。8.如权利要求1所述的图像传感器件，其中，所述多个单位像素包括邻近于驱动器晶体管的第一单位像素和邻近于复位晶体管的第二单位像素，第一单位像素和第二单位像素被配置成感测相同的颜色。9.一种图像传感器件，包括：像素阵列，其中布置了多个像素块，其中，像素块中的每个像素块包括：光接收器，包括浮置扩散部和共享浮置扩散部的第一单位像素至第四单位像素，第一单位像素至第四单位像素中的每个单位像素被配置成接收入射光以及响应于所接收的入射光而产生光电荷，其中，第一单位像素位于浮置扩散部的第一上侧，第二单位像素位于浮置扩散部的第二上侧，第三单位像素位于浮置扩散部的第一下侧，以及第四单位像素位于浮置扩散部的第二下侧；第一驱动器，位于邻近于第一单位像素处且包括驱动器晶体管；第二驱动器，位于邻近于第四单位像素处且包括复位晶体管；以及导线，具有将驱动器晶体管耦接到浮置扩散部的第一区和将浮置扩散部耦接到复位晶体管的第二区。10.如权利要求9所述的图像传感器件，还包括具有与所述多个像素块相对应的多个颜色图案的滤色器阵列，其中，所述多个颜色图案中的每个颜色图案包括与第一单位像素相对应的第一滤色器、与第二单位像素相对应的第二滤色器、与第三单位像素相对应的第三滤色器和与第四单位像素相对应的第四滤色器，以及第一滤色器和第四滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：李庚寅，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR