一种新型摇摆振动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种新型摇摆振动装置，包括水平放置的第一摇摆振动体和第二摇摆振动体；第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧与基座固定连接；第二摇摆振动体位于第一摇摆振动体的右侧面位置，第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧相连接；第一摇摆振动体上设置有第一反光镜片和第一转动惯量调节配重块；第二摇摆振动体上设置第二反光镜片和第二转动惯量调节配重块。本发明专利技术可有效调整摇摆振动体具有的固有频率，使得能与符合曝光设备要求的预设目标振动频率相一致或在预设差值范围内，提高曝光设备的光照效果。

A new rocking vibration device

The invention discloses a new type of rocking vibration device, which comprises a first rocking vibration body placed horizontally and a second rocking vibration body; the intersection position of the left side center line and the mirror surface center line of the first rocking vibration body is fixed and connected with the base through the first torsion spring; and the second rocking vibration body is located on the right of the first rocking vibration body. The side position, the intersection point of the right side center line and the mirror center line of the first swing vibrator and the intersection point of the left side center line and the mirror center line of the second swing vibrator are connected by a second torsion spring of horizontal distribution; the first swing vibrator is provided with a first reflective lens and a first moment of inertia adjustment. The second swing vibrator is provided with a second reflecting lens and a second rotating inertia adjusting counterweight block. The invention can effectively adjust the natural frequency of the rocking vibration body, so that the natural frequency of the rocking vibration body can be in accordance with the preset target vibration frequency required by the exposure equipment or within the preset difference range, and the illumination effect of the exposure equipment can be improved.

【技术实现步骤摘要】
一种新型摇摆振动装置
本专利技术涉及机械
，特别是涉及一种新型摇摆振动装置。
技术介绍
目前，在半导体制造的光刻机等曝光设备中，大多采用点光源，在真空状态下，点光源发射的光线经过透镜的多次反射而达到照度均匀分布，但是，经过多次反射必然造成光能的损失，降低了光能的利用率。为此，目前，常用的方式是将反射镜固定在摇摆振动体上，然后将反射镜和摇摆振动体一起安装在真空的、用于通过点光源所发出的光线的光通路内，通过摇摆振动体带动反射镜进行高频振动，实现快速改变反射镜的角度，以此达到反射镜所发射后的光的照度均匀分布的目的。对于不同的曝光设备，其对内部光通路上所安装的摇摆振动体，具有不同的振动频率(如用户想要的预设的目标振动频率)要求，为了实现低的功率消耗，要求曝光设备上安装的摇摆振动体自身的固有频率，能够尽量与用户所需求的、符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围(例如±1％)内。但是，对于目前的摇摆振动体，其自身具有的固有频率无法灵活的调整，从而无法与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围(例如±1％)内，满足光刻机等曝光设备的生产要求，提高曝光设备的生产质量和光照效果。因此，目前迫切需要开发出一种技术，其可以有效地调整摇摆振动体具有的固有频率，从而使得能够与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围内，提高所安装的曝光设备的光照效果。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种新型摇摆振动装置，其可以有效地调整摇摆振动体具有的固有频率，从而使得能够与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围内，提高所安装的曝光设备的光照效果，有利于广泛地推广应用，具有重大的生产实践意义。为此，本专利技术提供了一种新型摇摆振动装置，包括水平放置的第一摇摆振动体和第二摇摆振动体；所述第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧与基座固定连接；所述第二摇摆振动体位于所述第一摇摆振动体的右侧面，所述第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧相连接；所述第一摇摆振动体上设置有第一反光镜片和第一转动惯量调节配重块；所述第二摇摆振动体上设置有第二反光镜片和第二转动惯量调节配重块。其中，所述第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点位置以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置之间通过所述第二扭转弹簧相连接。其中，所述第一扭转弹簧是实心的水平分布的第一法兰轴，所述第二扭转弹簧是实心的水平分布的第二法兰轴；所述第一法兰轴的左右两端分别与所述第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置和基座固定连接；所述第二法兰轴的左右两端分别与所述第二摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点位置以及所述第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置固定连接。其中，所述第一反光镜片的反光镜面中心线与所述第一法兰轴的中心线位于同一直线上；所述第二反光镜片的反光镜面中心线与所述第二法兰轴的中心线位于同一直线上。其中，所述第一反光镜片的反光镜面中心线与所述第一法兰轴的中心线等高；所述第二反光镜片的反光镜面中心线与所述第二法兰轴的中心线等高。其中，所述第一反光镜片的正面四角分别压有一个第一固定板，所述第二反光镜片的正面四角分别压有一个第二固定板。其中，所述第一固定板通过第一固定螺钉与所述第一摇摆振动体的正面螺纹连接，所述第二固定板通过第二固定螺钉与所述第二摇摆振动体的正面螺纹连接。其中，所述第一摇摆振动体的前部左右两端和后部左右两端分别设置有一个所述第一转动惯量调节配重块；所述第二摇摆振动体的前部左右两端和后部左右两端分别设置有一个所述第二转动惯量调节配重块。其中，所述第一摇摆振动体的背面设置有水平分布的永久磁铁；所述永久磁铁位于一个交变磁场中。其中，所述交变磁场由通有交流电的线圈所产生。由以上本专利技术提供的技术方案可见，与现有技术相比较，本专利技术提出了一种新型摇摆振动装置，其可以有效地调整摇摆振动体具有的固有频率，从而使得能够与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围内，提高所安装的曝光设备的光照效果，有利于广泛地推广应用，具有重大的生产实践意义。附图说明图1为本专利技术提供的一种新型摇摆振动装置的正视图；图2为本专利技术提供的一种新型摇摆振动装置的右视图；图中，1为第一扭转弹簧，2为第一摇摆振动体，3为永久磁铁，4为第二扭转弹簧，5为第二摇摆振动体，6为第一反光镜片，7为第一固定螺钉，8为第一固定板；9为第一转动惯量调节配重块，10为第二转动惯量调节配重块，11为第二固定板，12为第二固定螺钉，13为第二反光镜片，20为基座；A为第一摇摆振动体的左侧面，B为第一摇摆振动体的右侧面，C为第一摇摆振动体的前部，D为第一摇摆振动体的后部，E为第二摇摆振动体的左侧面，F为第二摇摆振动体的右侧面，G为第二摇摆振动体的前部，H为第二摇摆振动体的后部；K为第一反光镜片6的镜面的反光面，J为第二反光镜片13的镜面的反光面。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。参见图1、图2，本专利技术提供了一种新型摇摆振动装置，包括水平放置的第一摇摆振动体2和第二摇摆振动体5；所述第一摇摆振动体2的左侧面A中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧1与基座20(例如可以表现为一个机架)固定连接；所述第二摇摆振动体5位于所述第一摇摆振动体2的右侧面B，所述第一摇摆振动体2的右侧面B中心线和镜面中心线的交点位置以及所述第二摇摆振动体5的左侧面E中心线和镜面中心线的交点位置之间通过水平分布的第二扭转弹簧4相连接；所述第一摇摆振动体2上设置有第一反光镜片6和第一转动惯量调节配重块9；所述第二摇摆振动体5上设置有第二反光镜片13和第二转动惯量调节配重块10。如图1所示，A为第一摇摆振动体的左侧面，B为第一摇摆振动体的右侧面，C为第一摇摆振动体的前部，D为第一摇摆振动体的后部，E为第二摇摆振动体的左侧面，F为第二摇摆振动体的右侧面，G为第二摇摆振动体的前部，H为第二摇摆振动体的后部。需要说明的是，第一摇摆振动体2和第二摇摆振动体5都是水平放置的，所述第一摇摆振动体2的侧面中心线(包括右侧面中心线和左侧面中心线)是第一摇摆振动体2的侧面的几何中心线，是垂直于第一摇摆振动体前后连线的、铅直的直线。而所述第二摇摆振动体5的侧面中心线(左侧面中心线)是第二摇摆振动体5的侧面的几何中心线，是垂直于第二摇摆振动体前后连线的铅直的直线。需要说明的是，镜面中心线是指反光镜的中心线，是水平的与光线垂直的直线，也就是说，所述第一摇摆振动体2的镜面中心线是通过第一反光镜片6的镜面的反光面K并与镜面前后连接线垂直的第一反光镜片6的中心线，所述第二摇摆振动体5的镜面中心线是通过第二反光镜片13的镜面的反光面J并与镜面前后连接线垂直的第二反光镜片13的中心线。在本专利技术中，具体实现上，整个所述新型摇摆振动装置优选为位于真空环境中，例如位于由真空光通路形成的真空环境中。因此，可以避免本专利技术的装置上出现尘土等杂质。在本专利技术中，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型摇摆振动装置，其特征在于，包括平行放置的第一摇摆振动体(2)和第二摇摆振动体(5)；所述第一摇摆振动体(2)的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧(1)与基座(20)固定连接；所述第二摇摆振动体(5)位于所述第一摇摆振动体(2)的右侧面，所述第一摇摆振动体(2)的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体(5)的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧(4)相连接；所述第一摇摆振动体(2)上设置有第一反光镜片(6)和第一转动惯量调节配重块(9)；所述第二摇摆振动体(5)上设置有第二反光镜片(13)和第二转动惯量调节配重块(10)。

【技术特征摘要】
1.一种新型摇摆振动装置，其特征在于，包括平行放置的第一摇摆振动体(2)和第二摇摆振动体(5)；所述第一摇摆振动体(2)的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧(1)与基座(20)固定连接；所述第二摇摆振动体(5)位于所述第一摇摆振动体(2)的右侧面，所述第一摇摆振动体(2)的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体(5)的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧(4)相连接；所述第一摇摆振动体(2)上设置有第一反光镜片(6)和第一转动惯量调节配重块(9)；所述第二摇摆振动体(5)上设置有第二反光镜片(13)和第二转动惯量调节配重块(10)。2.如权利要求1所述的新型摇摆振动装置，其特征在于，所述第一摇摆振动体(2)的右侧面中心线和镜面中心线的交点位置和所述第二摇摆振动体(5)的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置之间通过所述第二扭转弹簧(4)相连接。3.如权利要求1所述的新型摇摆振动装置，其特征在于，所述第一扭转弹簧(1)是实心的水平分布的第一法兰轴，所述第二扭转弹簧(4)是实心的水平分布的第二法兰轴；所述第一法兰轴的左右两端分别与所述第一摇摆振动体(2)的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置以及基座(20)固定连接；所述第二法兰轴的左右两端分别与所述第二摇摆振动体(5)的左侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第一摇摆振动体(2)的右侧面中心线和镜面中心线的交点固定连接。4.如权利要求3所述的新型摇摆振动装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明贤，乔志霞，李牧，李连进，包立群，
申请(专利权)人：天津商业大学，
类型：发明
国别省市：天津,12