【技术实现步骤摘要】
一种晶圆观察检测装置
本技术属于电子芯片领域,特别涉及一种用于观察和检测电子芯片的装置。
技术介绍
芯片,又称微电路、微芯片或集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后,还要进行一系列操作,如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。典型的封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试和包装出货。现有技术中,通常采用显微镜观测和检测晶圆产品,晶圆是电子元器件,观察检测时需要使用静电手环,以防止工作人员身体上的静电将晶圆击穿,其不足之处在于:目前的静电手环的开关与显微镜的开关是分开独立设置的,工作人员可以在不佩戴静电手环的情况下,打开显微镜开关并观察和检测晶圆产品,会发生工作人员身上的静电将晶圆击穿的情况。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶圆观察检测装置,能够确保工作人员在佩戴静电手环之后,再使用显微镜观察和检测晶圆产品,保护晶圆产品,防止晶圆被击穿。本技术的目的是这样实现的:一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。本技术使用时,先将 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,其特征在于,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,其特征在于,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。2.根据权利要求1所述的一种晶圆观察检测装置,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张浩,陈志远,朱锦键,万伂芯,聂伟,
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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