一种晶圆观察检测装置制造方法及图纸

技术编号:18922167 阅读:25 留言:0更新日期:2018-09-12 07:28
本实用新型专利技术公开了电子芯片领域内的一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。本实用新型专利技术能够确保工作人员在佩戴静电手环之后,再使用显微镜观察和检测晶圆产品,保护晶圆产品,防止晶圆被击穿。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆观察检测装置
本技术属于电子芯片领域,特别涉及一种用于观察和检测电子芯片的装置。
技术介绍
芯片,又称微电路、微芯片或集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后,还要进行一系列操作,如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。典型的封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试和包装出货。现有技术中,通常采用显微镜观测和检测晶圆产品,晶圆是电子元器件,观察检测时需要使用静电手环,以防止工作人员身体上的静电将晶圆击穿,其不足之处在于:目前的静电手环的开关与显微镜的开关是分开独立设置的,工作人员可以在不佩戴静电手环的情况下,打开显微镜开关并观察和检测晶圆产品,会发生工作人员身上的静电将晶圆击穿的情况。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶圆观察检测装置,能够确保工作人员在佩戴静电手环之后,再使用显微镜观察和检测晶圆产品,保护晶圆产品,防止晶圆被击穿。本技术的目的是这样实现的:一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。本技术使用时,先将静电手环佩戴在工作人员的手腕上,然后将接地插头插入警报器的插孔,打开联动开关后,警报器和显微镜同时通电,工作人员就可以使用显微镜观察和检测晶圆产品。与现有技术相比,本技术的有益效果在于:在不佩戴静电手环的情况下,显微镜无法通电使用,可以确保工作人员在佩戴静电手环之后,再使用显微镜观察和检测晶圆产品,保护晶圆产品,防止晶圆被击穿。作为本技术的进一步改进,所述指示灯为绿色时,静电手环的导线导电良好;指示灯为红色时,静电手环的导线导电不畅。指示灯为绿色时,可以使用显微镜观察晶圆;指示灯为红色时,接地插头没有接地或者工作人员未佩戴静电手环,无法使用显微镜。作为本技术的进一步改进,所述支撑腿包括固定套管和移动杆,移动杆插入固定套管内部,固定套管上安装有气缸,气缸的活塞杆经连接支架与移动杆固定连接。气缸驱动移动杆上下移动,可以调整支撑腿的高度,将显微镜调整到合适位置,以适应不同体型的工作人员。作为本技术的进一步改进,所述静电手环的内圈设有环形固定圈,固定圈上固定连接有隔离层,隔离层采用绝缘材料制成。将隔离层覆盖在静电手环上,可以将人体身上的静电隔离掉,进一步保护产品。作为本技术的优选,所述静电手环的端部设置有固定扣。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为支撑腿的结构示意图。图3为静电手环的结构示意图。图4为图3的AA向剖视图。图5为警报器的结构示意图。图6为显微镜、警报器和联动开关的电路连接关系图。其中,1显微镜,2静电手环,3导线,4接地插头,5工作台,6支撑腿,6a固定套管,6b移动杆,7加强连接杆,8支撑杆,9联动开关,10警报器,10a插孔,10b指示灯,11气缸,12连接支架,13固定圈,14隔离层,15固定扣,具体实施方式如图1-6所示,为一种晶圆观察检测装置,包括显微镜1和静电手环2,静电手环2经导线3连接有接地插头4,显微镜1设置在工作台5上,工作台5的底部竖直设置有至少四根支撑腿6,相邻支撑腿6之间设有加强连接杆7,加强连接杆7平行设置有两根,两根加强连接杆7之间横向设置有支撑杆8,其中一根支撑腿6上设有警报器10,警报器10上设有可容接地插头4插入的插孔10a,警报器10和显微镜1之间采用串联电路连接,安装有警报器10的支撑腿6上还设有同时控制警报器10和显微镜1的联动开关9,警报器10上设有指示灯10b。指示灯10b为绿色时,静电手环2的导线导电良好;指示灯10b为红色时,静电手环2的导线3导电不畅。支撑腿6包括固定套管6a和移动杆6b,移动杆6b插入固定套管6a内部,固定套管6a上安装有气缸11,气缸11的活塞杆经连接支架12与移动杆6b固定连接。静电手环2的内圈设有环形固定圈13,固定圈13上固定连接有隔离层14,隔离层14采用绝缘材料制成。静电手环2的端部设置有固定扣15。本装置使用时,先将静电手环2佩戴在工作人员的手腕上,然后将接地插头4插入警报器10的插孔,打开联动开关9后,警报器10和显微镜1同时通电,指示灯10b为绿色时,工作人员就可以使用显微镜1观察和检测晶圆产品;指示灯10b为红色时,需要进行检查人员是否佩戴手环、接地插头是否接地。本装置的优点在于:在不佩戴静电手环的情况下,显微镜无法通电使用,可以确保工作人员在佩戴静电手环之后,再使用显微镜观察和检测晶圆产品,保护晶圆产品,防止晶圆被击穿。本技术并不局限于上述实施例,在本技术公开的技术方案的基础上,本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
,不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形,这些替换和变形均在本技术的保护范围内。本文档来自技高网
...

【技术保护点】
1.一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,其特征在于,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆观察检测装置,包括显微镜和静电手环,静电手环经导线连接有接地插头,其特征在于,所述显微镜设置在工作台上,工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿,相邻支撑腿之间设有加强连接杆,加强连接杆平行设置有两根,两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆,其中一根所述支撑腿上设有警报器,警报器上设有可容接地插头插入的插孔,所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接,安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关,所述警报器上设有指示灯。2.根据权利要求1所述的一种晶圆观察检测装置,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:张浩陈志远朱锦键万伂芯聂伟
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1