一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构，包括气缸和装置箱，所述的装置箱的一侧安装在蒸镀室外壁，装置箱的另一侧连接气缸，所述气缸的活塞杆远离活塞的一端位于装置箱内，所述的装置箱内设置有齿条、消隙齿轮组和转轴，转轴安装在装置箱相对的内壁之间，转轴上套设消隙齿轮组，消隙齿轮组下方啮合齿条，齿条连接活塞杆，转轴靠近蒸镀室外壁的一侧固定安装有摆动杆，蒸镀室外壁上开设有纵向条形槽，摆动杆可在纵向条形槽内上下摆动，摆动杆另一端位于蒸镀室内且连接有修正挡板安装装置，修正挡板安装装置上安装有修正挡板。本实用新型专利技术可使修正挡板在不用的时候折叠收起，便于操作人员操作。

Folding mechanism for correcting baffle of vacuum coating machine

The utility model discloses a folding mechanism for the correction baffle of a vacuum coating machine, which comprises a cylinder and a device box. One side of the device box is installed on the outer wall of the evaporation chamber, and the other side of the device box is connected with the cylinder. The piston rod of the cylinder is located in the device box far from the end of the piston, and the rack is arranged in the device box. Clearance-eliminating gear set and rotating shaft are installed between the relative inner walls of the device box, clearance-eliminating gear set is sleeved on the rotating shaft, meshing racks under the clearance-eliminating gear set, racks connecting the piston rod, swing rod is fixed on one side of the rotating shaft near the outer wall of the evaporation chamber, and a longitudinal strip groove is arranged on the outer wall of the evaporation plating chamber, and the swing rod can be arranged in the longitudinal direction. The other end of the swing rod is located in the evaporation chamber and is connected with a correction baffle installation device. The correction baffle installation device is equipped with a correction baffle. The utility model can make the correcting baffle plate fold and fold when not in use, and is convenient for operators to operate.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构
本技术属于真空镀膜机设备
，具体涉及一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构。
技术介绍
随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，膜层的均匀性是一个重要的问题，膜层的均匀性不好，会严重影响膜系的特性，膜层均匀性是指膜厚随基板表面位置的变化，它与蒸发源到基板之间的距离有关，在基片镀膜不均匀时，需要用到修正挡板来对基片的厚度进行修正。传统的真空镀膜机蒸镀腔内设有固定的修正挡板，由于修正挡板是固定的，其在腔体内不便于收纳，正常操作时也容易受到修正挡板的干扰。
技术实现思路
为了解决现有技术存在的上述问题，本技术提供了一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构。本技术所采用的技术方案为：一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构，包括气缸和装置箱，所述的装置箱的一侧安装在蒸镀室外壁，装置箱的另一侧连接气缸，所述气缸的活塞杆远离活塞的一端位于装置箱内，所述的装置箱内设置有齿条、消隙齿轮组和转轴，转轴安装在装置箱相对的内壁之间，转轴上套设消隙齿轮组，消隙齿轮组下方啮合齿条，齿条连接活塞杆，转轴靠近蒸镀室外壁的一侧固定安装有摆动杆，蒸镀室外壁上开设有纵向条形槽，摆动杆可在纵向条形槽内上下摆动，摆动杆另一端位于蒸镀室内且连接有修正挡板安装装置，修正挡板安装装置上安装有修正挡板。气缸的活塞杆带动齿条移动，齿条带动消隙齿轮组转动，进而带动转轴转动，设置在转轴上的摆动杆摆动，这一系列运动实现修正挡板折叠和打开的切换。优选地，所述的消隙齿轮组包括第一齿轮、第二齿轮、锁紧螺钉和紧固螺栓，第一齿轮两侧设有环形凸起，第二齿轮套装在第一齿轮一侧的环形凸起上，第二齿轮设有多个腰型孔，锁紧螺钉穿过腰型孔将第一齿轮和第二齿轮固定连接，第一齿轮另一侧的环形凸起上设有多个安装孔，紧固螺栓穿过安装孔将第一齿轮与转轴固定。优选地，所述的第一齿轮和第二齿轮的齿数和模数均相同。优选地，所述的修正挡板安装装置包括竖板和安装板，竖板固定连接摆动杆，安装板垂直固定连接在竖板下端一侧，安装板上设置有安装槽，安装槽内安装有修正挡板。优选地，所述的蒸镀室外壁固定安装有缓冲器，缓冲器和齿条在同一水平面上。优选地，所述气缸的活塞杆与装置箱内壁间设置有密封圈。本技术的有益效果为：该真空镀膜机修正挡板的折叠机构通过设置气缸和齿条齿轮结构来实现修正挡板的折叠收纳，气缸的活塞杆带动齿条移动，齿条带动齿轮转动，齿轮带动转轴转动，进而带动设置在转轴上的摆动杆摆动，通过摆动杆的上下摆动来完成修正挡板的折叠和打开。齿轮采用消隙齿轮组，消隙齿轮组使得齿轮与齿条啮合得更加紧密，保证了折叠机构的稳定性。附图说明图1是本技术修正挡板折叠时的结构示意图；图2是本技术修正挡板打开时的结构示意图；图3是本技术装置箱的结构示意图；图4是本技术第一齿轮的结构示意图；图5是本技术第二齿轮的结构示意图。图中：1-气缸；2-装置箱；3-齿条；4-消隙齿轮组；5-转轴；6-活塞杆；7-摆动杆；8-第一齿轮；9-第二齿轮；10-锁紧螺钉；11-紧固螺栓；12-环形凸起；13-腰型孔；14-安装孔；15-纵向条形槽；16-竖板；17-安装板；18-缓冲器；19-密封圈。具体实施方式下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步阐述。如图1-5所示，本实施例的一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构，包括气缸1和装置箱2，装置箱2的一侧安装在蒸镀室外壁，装置箱2的另一侧连接气缸1，气缸1的活塞杆6远离活塞的一端位于装置箱2内。气缸1的活塞杆6与装置箱2内壁间设置有密封圈19，以保证蒸镀腔的真空密封性。装置箱2内设置有齿条3、消隙齿轮组4和转轴5，转轴5安装在装置箱2相对的内壁之间，转轴5上套设消隙齿轮组4，消隙齿轮组4下方啮合齿条3，齿条3连接气缸1的活塞杆6。消隙齿轮组4包括第一齿轮8、第二齿轮9、锁紧螺钉10和紧固螺栓11，第一齿轮8两侧设有环形凸起12，第二齿轮9套装在第一齿轮8一侧的环形凸起12上，第二齿轮9设有多个腰型孔13，锁紧螺钉10穿过腰型孔13将第一齿轮8和第二齿轮9固定连接，第一齿轮8另一侧的环形凸起12上设有多个安装孔14，紧固螺栓11穿过安装孔14将第一齿轮8与转轴5固定。消隙齿轮组4与齿条3啮合时，调整锁紧螺钉10连接部分，使得第二齿轮9各齿的左侧和第一齿轮8各齿的右侧分别紧贴在齿条3各齿槽的左右两侧，以达到消除间隙的效果。消隙齿轮组4的设置使得齿轮与齿条3啮合更加牢固稳定，防止消隙齿轮组4和齿条3卡死的情况发生。转轴5靠近蒸镀室外壁的一侧固定安装有摆动杆7，气缸1的活塞杆6带动齿条3移动，齿条3带动消隙齿轮组4转动，进而带动转轴5转动，使得摆动杆7可以进行摆动。蒸镀室外壁上开设有纵向条形槽15，摆动杆7可在纵向条形槽15内上下摆动，摆动杆7另一端位于蒸镀室内且连接有修正挡板安装装置。修正挡板安装装置包括竖板16和安装板17，竖板16固定连接摆动杆7，安装板17垂直固定连接在竖板16下端一侧，安装板17上设置有安装槽，安装槽内安装有修正挡板。修正挡板可以拆卸，对于不同的基片和成膜均匀度，会使用不同的修正挡板，设置安装槽可便于修正挡板的更换。蒸镀室外壁固定安装有缓冲器18，缓冲器18和齿条3在同一水平面上。齿条3在气缸1的活塞杆6的带动下移动，由于气缸1完成一次行程速度快，齿条3移动速度快，容易造成齿条3和消隙齿轮组4的损坏。现安装一个缓冲器18，齿条3接触到缓冲器18后，缓冲器18起到对齿条3减速的作用。本技术不局限于上述最佳实施方式，任何人在本技术的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构，其特征在于：包括气缸(1)和装置箱(2)，所述的装置箱(2)的一侧安装在蒸镀室外壁，装置箱(2)的另一侧连接气缸(1)，所述气缸(1)的活塞杆(6)远离活塞的一端位于装置箱(2)内，所述的装置箱(2)内设置有齿条(3)、消隙齿轮组(4)和转轴(5)，转轴(5)安装在装置箱(2)相对的内壁之间，转轴(5)上套设消隙齿轮组(4)，消隙齿轮组(4)下方啮合齿条(3)，齿条(3)连接活塞杆(6)，转轴(5)靠近蒸镀室外壁的一侧固定安装有摆动杆(7)，蒸镀室外壁上开设有纵向条形槽(15)，摆动杆(7)可在纵向条形槽(15)内上下摆动，摆动杆(7)另一端位于蒸镀室内且连接有修正挡板安装装置，修正挡板安装装置上安装有修正挡板。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构，其特征在于：包括气缸(1)和装置箱(2)，所述的装置箱(2)的一侧安装在蒸镀室外壁，装置箱(2)的另一侧连接气缸(1)，所述气缸(1)的活塞杆(6)远离活塞的一端位于装置箱(2)内，所述的装置箱(2)内设置有齿条(3)、消隙齿轮组(4)和转轴(5)，转轴(5)安装在装置箱(2)相对的内壁之间，转轴(5)上套设消隙齿轮组(4)，消隙齿轮组(4)下方啮合齿条(3)，齿条(3)连接活塞杆(6)，转轴(5)靠近蒸镀室外壁的一侧固定安装有摆动杆(7)，蒸镀室外壁上开设有纵向条形槽(15)，摆动杆(7)可在纵向条形槽(15)内上下摆动，摆动杆(7)另一端位于蒸镀室内且连接有修正挡板安装装置，修正挡板安装装置上安装有修正挡板。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机修正挡板的折叠机构，其特征在于：所述的消隙齿轮组(4)包括第一齿轮(8)、第二齿轮(9)、锁紧螺钉(10)和紧固螺栓(11)，第一齿轮(8)两侧设有环形凸起(12)，第二齿轮(9)套装在第一齿轮(8)一侧的环形凸起(12)上，第二齿轮(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢成，
申请(专利权)人：成都国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51