The utility model discloses a micron-sized quartz film preparation device, which comprises a pressure device, a quartz tube, a top heating device, a motion control device, an optical coupling device, a light source device and a spectrum acquisition device. The pressure device pressurizes the first end of the quartz tube, and the top heating device heats the second end of the quartz tube to form a spherical inclusion. A thin-film quartz tube with a motion control device controls the alignment of the side-end of the quartz tube containing a spherical thin-film structure with the first end of the optical coupling device to form a Fabry-Perot interferometer. The light emitted by the light source device is introduced into the Fabry-Perot interferometer to form a spectrum and transmitted to the spectrum acquisition device for which the spectrum acquisition device is used. The thickness of the side-end film is determined, and the side-end film which meets the requirements is determined to be micron-size quartz film. The micron-size quartz film prepared by the above device is uniform and smooth. Because it does not need grinding, the operation is simple, there is no inflammable, explosive or toxic gases, no need to take measures to prevent environmental pollution and reduce costs.
【技术实现步骤摘要】
一种微米级石英薄膜制备装置
本技术属于光纤传感
,尤其涉及一种微米级石英薄膜制备装置。
技术介绍
石英薄膜多用于光纤器件,现有的石英薄膜的制备方法是利用端面研磨或气相沉积的方法制备超薄的石英薄膜,端面研磨方法需要使用研磨机对制备材料进行研磨,一旦研磨的某一部位不符合要求,就需要重新研磨,操作繁琐;气相沉积方法需要进行化学反应,化学反应得到的石英薄膜可能存在不平整的现象,且化学反应后的余气易燃、易爆或有毒,因此还需要采取防止环境污染的措施,操作复杂且成本较高。因此,现有的石英薄膜的制备方法存在着一旦研磨的某一部位不符合要求,就需要重新研磨,操作繁琐,化学反应得到的石英薄膜可能存在不平整的现象,且化学反应后的余气易燃、易爆或有毒,需要采取防止环境污染的措施,操作复杂且成本较高的技术问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提出一种微米级石英薄膜制备装置,旨在解决现有的石英薄膜的制备方法存在的一旦研磨的某一部位不符合要求,就需要重新研磨,操作繁琐,化学反应得到的石英薄膜可能存在不平整的现象,且化学反应后的余气易燃、易爆或有毒,需要采取防止环境污染的措施,操作复杂且成本较高的技术问题。为实现上述目的,本技术提供一种微米级石英薄膜制备装置,所述制备装置包括:压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置;所述压力装置与所述石英管的第一端相连接,所述石英管的第二端置于所述顶端加热装置内,所述顶端加热装置用于向所述石英管的第二端进行加热处理,使所述石英管的第二端受热熔融封闭,所述压力装置向第二端受热熔融封闭的石英管的第一端进行加压处理,同 ...
【技术保护点】
1.一种微米级石英薄膜制备装置,其特征在于,所述制备装置包括:压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置;所述压力装置与所述石英管的第一端相连接,所述石英管的第二端置于所述顶端加热装置内,所述顶端加热装置用于向所述石英管的第二端进行加热处理,使所述石英管的第二端受热熔融封闭,所述压力装置向第二端受热熔融封闭的石英管的第一端进行加压处理,同时所述顶端加热装置向石英管的受热熔融封闭的一端进行加热处理,形成包含球形薄膜结构的石英管;所述运动控制装置的第一端与包含球形薄膜结构的石英管的侧端夹持连接,所述运动控制装置的第二端与所述光耦合装置的第一端夹持连接,所述运动控制装置用于控制包含球形薄膜结构的石英管的侧端与所述光耦合装置的第一端水平对齐,以形成法布里‑珀罗干涉仪,其中,所述侧端为球形薄膜结构的顶端,所述法布里‑珀罗干涉仪包括所述侧端、所述光耦合装置的第一端、及之间的立体空间;所述光耦合装置的第二端与所述光源装置相连接,所述光耦合装置的第三端与所述光谱采集装置相连接,所述光源装置向所述光耦合装置发射光源,所述光源经过所述光耦合装置的第二端导入所述法布里‑ ...
【技术特征摘要】
1.一种微米级石英薄膜制备装置,其特征在于,所述制备装置包括:压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置;所述压力装置与所述石英管的第一端相连接,所述石英管的第二端置于所述顶端加热装置内,所述顶端加热装置用于向所述石英管的第二端进行加热处理,使所述石英管的第二端受热熔融封闭,所述压力装置向第二端受热熔融封闭的石英管的第一端进行加压处理,同时所述顶端加热装置向石英管的受热熔融封闭的一端进行加热处理,形成包含球形薄膜结构的石英管;所述运动控制装置的第一端与包含球形薄膜结构的石英管的侧端夹持连接,所述运动控制装置的第二端与所述光耦合装置的第一端夹持连接,所述运动控制装置用于控制包含球形薄膜结构的石英管的侧端与所述光耦合装置的第一端水平对齐,以形成法布里-珀罗干涉仪,其中,所述侧端为球形薄膜结构的顶端,所述法布里-珀罗干涉仪包括所述侧端、所述光耦合装置的第一端、及之间的立体空间;所述光耦合装...
【专利技术属性】
技术研发人员:许金山,王义平,何俊,
申请(专利权)人:深圳市光子传感技术有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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