抗蚀剂剥离液组合物制造技术

本发明专利技术提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺、和具有化学式1的结构的仲乙醇胺。R1可以为C1～C10的直链或C3～C10的支链脂肪族烃基、含有N的C4～C10的杂环基、C6～C10的芳香族烃基、或C5～C10的环烷基。所述抗蚀剂剥离液组合物对于抗蚀剂的溶解力、剥离力优异，张数经时效果优异，且相稳定性优异。

Resist stripping liquid composition

The invention provides a corrosion inhibitor peeling liquid composition, which is characterized in that more than one of the inorganic bases and their salts, monoethanolamine, and secondary ethanolamine with the structure of Formula 1 are included. R1 can be aliphatic aliphatic alkyl of C1-C10 or branched chain of C3-C10, heterocyclic group of C4-C10 containing N, aromatic hydrocarbon group of C6-C10, or cycloalkyl group of C5-C10. The corrosion inhibitor peeling liquid composition has excellent solubility and peeling force for the corrosion inhibitor, excellent tensile number aging effect and excellent phase stability.

【技术实现步骤摘要】
抗蚀剂剥离液组合物
本专利技术涉及抗蚀剂剥离液组合物。
技术介绍
滤色器(colorfilter)可通过内置于互补金属氧化物半导体(complementarymetaloxidesemiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(chargecoupleddevice，CCD)之类的图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像，除此之外，也广泛应用于摄影元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器(LED)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来LCD的用途进一步扩大，因此认为在再现LCD的色彩方面滤色器是最重要的构件之一。滤色器基板由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光并提高对比的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。滤色器是通过将根据用途选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模图案后、利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案而制造。这样的滤色器制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良，如果彩色抗蚀剂一旦固化，则几乎不可能仅通过对错误的部分去除来进行修理，并且几乎没有能够将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此就不良的滤色器而言，无法进行修理等重新加工，大部分会被直接废弃处理，因而存在生产率降低的问题。为了解决该问题，开发了用于将固化的彩色抗蚀剂去除的组合物。抗蚀剂大体可以分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂，与去除相对容易而可被以有机溶剂为基础的剥离剂在40～50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，负型抗蚀剂具有固化度高、热处理后变硬而难以剥离去除的特性。因此，为了去除负型抗蚀剂，在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间，因此要求更强的剥离性能。但是，如果在加热至70～80℃的温度的状态下浸渍一定时间而进行处理，则此时可能发生如下问题：留在剥离液中的20～30％的水分发生蒸发，因该蒸发而引起溶液的透明度发生变化，产生沉淀物等抗蚀剂剥离液的稳定性降低。韩国注册专利公报第10-2009-0075516号公开了一种TFTLCD用彩色抗蚀剂剥离液组合物，但并没有公开针对上述问题的对策。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国注册专利公报第10-2009-0075516号
技术实现思路
所要解决的课题本专利技术的目的在于，提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其对于抗蚀剂的溶解力、剥离力优异，张数经时效果优异，且相稳定性优异。解决课题的方法本专利技术提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺和具有化学式1的结构的仲乙醇胺。[化学式1]R1可以为C1～C10的直链或C3～C10的支链脂肪族烃基、含有N的C4～C10的杂环基、C6～C10的芳香族烃基、或C5～C10的环烷基。专利技术效果本专利技术提供对于抗蚀剂的溶解力、剥离力优异，张数经时效果优异，且相稳定性优异的抗蚀剂剥离液组合物。具体实施方式本专利技术提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其通过同时包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺和具有化学式1的结构的仲乙醇胺，从而对于抗蚀剂的溶解力和剥离力优异，张数经时效果优异，且相稳定性优异。[化学式1]R1可以为C1～C10的直链或C3～C10的支链脂肪族烃基、含有N的C4～C10的杂环基、C6～C10的芳香族烃基、或C5～C10的环烷基。以下，详细说明本专利技术。无机碱及其盐中的一种以上本专利技术的无机碱及其盐中的一种以上会提高对于抗蚀剂的剥离力而使其从基板掉落。本专利技术的无机碱及其盐中的一种以上没有特别限定，可以包含例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钾、硝酸钠、硝酸钾、乙酸钠、乙酸钾等。它们可以单独或将两种以上混合使用。以抗蚀剂剥离液组合物总重量为基准，无机碱及其盐中的一种以上的含量可以为13～23重量％，优选可以为15～20重量％。在无机盐或其盐的含量小于上述范围的情况下，对于有机系绝缘膜的剥离力提高效果甚微，在超过上述范围的情况下，可能会对评价时相稳定性的持续时间造成不良影响。单乙醇胺化合物(伯胺化合物)本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物包含单乙醇胺化合物。本专利技术的单乙醇胺化合物发挥提高抗蚀剂剥离液组合物的碱性的作用，由于与抗蚀剂的分子结构相似，容易向抗蚀剂内渗透，因而能够提高抗蚀剂的剥离力，由此也能够改善设备内过滤器的堵塞。本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物所包含的单乙醇胺化合物优选可以为单乙醇胺。以抗蚀剂剥离液组合物总重量为基准，本专利技术的单乙醇胺化合物的含量可以为1～10重量％，优选可以为3～7重量％。在单乙醇胺化合物的含量小于上述范围的情况下，仲乙醇胺化合物的含量增加而导致评价时相稳定性持续时间减少，在超过上述范围的情况下，仲乙醇胺化合物的含量降低，因此可能会导致评价时相稳定性持续时间减少。仲乙醇胺化合物本专利技术的仲乙醇化合物可以包含下述化学式1所表示的化合物。[化学式1]R1可以为C1～C10的直链或C3～C10的支链脂肪族烃基、含有N的C4～C10的杂环基、C6～C10的芳香族烃基、或C5～C10的环烷基。本专利技术的具有化学式1的结构的仲乙醇胺化合物可以为选自由正乙基乙醇胺、正丙基乙醇胺、正丁基乙醇胺、正戊基乙醇胺、正己基乙醇胺、吡咯烷-1-乙醇、哌啶-1-乙醇、2-苯胺基乙醇、正环己基乙醇胺等组成的组中的一种以上的化合物。本专利技术的仲乙醇胺化合物发挥提高抗蚀剂剥离液组合物的碱性的作用，由于与抗蚀剂的分子结构相似，容易向抗蚀剂内渗透，因而能够提高抗蚀剂的剥离力，由此也能够改善设备内过滤器的堵塞度，在与单乙醇胺化合物为适当比率的情况下，能够有助于评价时相稳定性提高。这里所谓适当比率是指，单乙醇胺化合物与仲乙醇胺化合物的比率为x:(10-x)，x的范围为1.0～4.0、优选为1.5～3.5的情况。以抗蚀剂剥离液组合物总重量为基准，本专利技术的仲乙醇胺化合物的含量可以为10～19重量％，优选可以为13～17重量％。在仲乙醇胺化合物的含量小于上述范围的情况下，单乙醇胺化合物的含量增加而导致评价时相稳定性持续时间减少，在超过上述范围的情况下，单乙醇胺化合物的含量降低，因此可能会导致评价时相稳定性持续时间减少。如此，本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物以适当比率包含单乙醇胺化合物和具有化学式1的结构的仲乙醇胺化合物中的至少一种，从而能够有助于改善由抗蚀剂的剥离力提高导致的过滤器堵塞和提高评价时相稳定性。防腐蚀剂本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物视需要可以进一步包含防腐蚀剂作为添加剂。防腐蚀剂没有特别限定，例如，可以举出：唑系化合物，包括苯并三唑、甲苯基三唑、甲基甲苯基三唑、2,2'-[[[苯并三唑]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双甲醇、2,2'-[[[乙基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双羧酸、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双甲基胺、2,2'-[[[胺-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇；醌系化合物，包括1,2-苯醌、1,4-苯醌、1,4-萘醌、蒽醌；邻苯二酚；没食子酸烷基酯类化合物，包括焦棓酸、没食子酸甲酯、没食子酸丙酯、没食子酸十二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺、和具有化学式1的结构的仲乙醇胺，化学式1

【技术特征摘要】
2017.02.24 KR 10-2017-00246631.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺、和具有化学式1的结构的仲乙醇胺，化学式1R1为C1～C10的直链或C3～C10的支链脂肪族烃基、含有N的C4～C10的杂环基、C6～C10的芳香族烃基、或C5～C10的环烷基。2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述无机碱及其盐中的一种以上为选自由氢氧化钠、氢氧化钾、硝酸钠、硝酸钾、碳酸钾、乙酸钠和乙酸钾组成的组中的一种以上。3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述具有化学式1的结构的仲乙醇胺为选自由正乙基乙醇胺、正丙基乙醇胺、正丁基乙醇胺、正戊基乙醇胺、正己基乙醇胺、吡咯烷-1-乙醇和哌啶-1-乙醇组成的组中的一种以上。4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含所述无机碱及其盐中的一种以上15～20重量％、所述单乙醇胺1～10重量％、所述具有化学式1的结构的仲乙醇胺10～19重量％和余量的水。5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组...

【专利技术属性】
技术研发人员：白钟旭，崔庆默，洪宪杓，房淳洪，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR