用于图案压印的装置和方法制造方法及图纸

技术编号:18893146 阅读:43 留言:0更新日期:2018-09-08 10:20
本发明专利技术涉及用于将模具压印到铺设在基板上的树脂上的装置,包括:承载模具的压印辊;防止模具松动的浮动辊;被构造成驱动压印辊的第一驱动器;被构造成驱动浮动辊的第二驱动器;以及电连接到第一驱动器和第二驱动器并被配置为控制第一驱动器和第二驱动器的控制器。

Device and method for pattern embossing

The invention relates to a device for embossing a mold onto a resin laid on a substrate, including: an embossing roller carrying a mold; a floating roller preventing mold from loosening; a first drive configured to drive the embossing roller; a second drive configured to drive the floating roller; and an electrical connection to the first drive and the second drive. And is configured to control the controller of the first driver and the second driver.

【技术实现步骤摘要】
用于图案压印的装置和方法
本公开涉及用于将形成在长形平坦片状模具上的不均匀图案压印到铺设在基板上的光敏化学品上以生产宏观电子装置(诸如触摸屏或显示屏)的装置和方法。
技术介绍
诸如触摸屏或显示屏的宏观电子装置可以通过类似于光刻的工艺来制造。在该工艺中,具有遍及触摸屏或显示屏的图案的片状模具被压印在基板上的树脂上并从树脂上分离,以在树脂上形成镜像图案。之后通常丢弃模具。日本专利申请公开No.2014-40070公开了一种相关技术,其中将长形模具从进给器进给至卷绕器并且在进给过程中将模具压印在基板上。
技术实现思路
上述参考文献中公开的技术可以提高生产率,但会消耗大量的模具。针对该问题创建了本文公开的装置和方法。根据一个方面,一种将具有不均匀图案的片状模具从进给器进给到卷绕器并将该图案压印到铺设在基板上的树脂上的装置,其包括:压印辊,所述压印辊承载所述模具并且能够在第一位置和远离第一位置的第二位置之间与所述基板的表面平行地运动,并且所述压印辊设置成响应于从所述第一位置到所述第二位置的运动而将所述模具压印到所述基板上;浮动辊,所述浮动辊将所述模具朝向所述卷绕器引导并且能够在第三位置和第四位置之间运动,所述第三位置和所述第四位置在垂直于所述基板的表面的方向上分别靠近和远离所述基板;第一驱动器,所述第一驱动器被构造成在所述第一位置和所述第二位置之间驱动所述压印辊;第二驱动器,所述第二驱动器被构造成在所述第三位置和所述第四位置之间驱动所述浮动辊;以及控制器,所述控制器电连接到所述第一驱动器和所述第二驱动器并且被配置为控制所述第一驱动器和所述第二驱动器,所述控制器被配置为执行控制所述第一驱动器以使所述压印辊从所述第一位置运动到所述第二位置而将所述图案压印到所述树脂上并且控制所述第二驱动器以与所述压印辊从所述第一位置到所述第二位置的运动同步地使所述浮动辊从所述第四位置朝向所述第三位置运动而防止所述模具松动的第一控制。根据另一方面,一种将具有不均匀图案的片状模具从进给器进给到卷绕器并将该图案压印到铺设在基板上的树脂上的方法,其包括:使承载所述模具的压印辊与所述基板的表面平行地从第一位置运动到远离所述第一位置的第二位置,以便响应该运动将所述模具压印到所述基板上;以及与所述压印辊从所述第一位置到所述第二位置的运动同步地使用于将所述模具引导到所述绕线器的浮动辊运动至更靠近所述基板,以防止所述模具松动。附图说明图1A是根据一个实施例的通过图案压印形成的产品的平面图。图1B是从图1A中的箭头IB截取的侧视图。图1C是从图1A中的线IC-IC截取的侧截面图。图1D是从图1C中的区域ID截取的放大截面图。图2A是从图1A中的区域IIA截取的放大平面图。图2B是关于一个例子的对应于图2A的放大平面图。图2C是关于另一个例子的对应于图2A的放大平面图。图2D是关于又一个例子的对应于图2A的放大平面图。图3A是基板的平面图,在该基板上附接有模具。图3B是从图3A中的线IIIB-IIIB截取的侧视图。图3C是从图3B中的区域IIIC截取的放大截面图。图4A是基板和模具的示意性平面图,在该模具上铺设有掩模单元。图4B是从图4A中的线IVB-IVB截取的示意性侧视图。图4C是从图4B中的区域IVC截取的放大截面图。图5A是压印后的基板的示意性平面图。图5B是从图5A中的线VB-VB截取的示意性侧视图。图5C是从图5B中的区域VC截取的放大截面图。图6是根据一个实施例的用于图案压印的装置的示意性正视图,其中压印辊保持模具远离基板。图7是从图6中的箭头VII观察的装置的示意性平面图。图8是从图6中的线VIII-VIII截取的装置的示意性侧视图。图9是从图6中的线IX-IX截取的装置的示意性侧视图。图10是从图6中的线X-X截取的装置的示意性侧视图。图11是处于压印辊运动以使得模具与基板面对面接触的状态下的装置的示意性正视图。图12是在掩模单元在其上铺设有模具的基板上方运动的状态下的装置的示意性正视图。图13是在掩模单元被压在其上铺设有模具的基板上并且紫外线源在扫描之前的状态下的装置的示意性正视图。图14是在掩模单元被压在其上铺设有模具的基板上并且紫外线源在扫描之后的状态下的装置的示意性正视图。图15A是在使压印辊运动之前的其上铺设有树脂的基板、模具和压印辊的示意性正视图。图15B是在使压印辊运动过程中的其上铺设有树脂的基板、模具和压印辊的示意性正视图。图15C是在使压印辊运动之后的其上铺设有树脂的基板、模具和压印辊的示意性正视图,其中模具完全与基板上的树脂面对面接触。图16A是具有树脂的基板的示意性正视图,其中树脂在一个端部处具有增厚部分。图16B是具有树脂的基板的示意性正视图,其中基板部分地未被树脂覆盖。图16C是具有树脂的基板的示意性正视图,其中树脂具有除了所述一个端部之外的增厚部分。图16D是具有树脂的基板的示意性正视图,其中树脂朝向一个端部变厚。图17A是该装置中使用的掩模单元的示意性平面图。图17B是根据另一个实施例的掩模单元的示意性平面图。图17C是从图17B中的线XVIIC-XVIIC截取的截面图。图17D是从图17C中的区域XVIID截取的放大截面图。图18A是具有图17B中所示的掩模单元的基板的示意性平面图。图18B是从图18A中的线XVIIIB-XVIIIB截取的示意性侧视图。图18C是从图18B中的区域XVIIIC截取的放大截面图。图19是一个半成品的示意性平面图,其中压印是反复执行的,从而使图案压印到基板上的多个区域上。图20是根据另一个实例的具有多个被压印区域的半成品的示意性平面图。图21A是根据修改的实施例的模具所穿过的辊的示意性正视图,其中在浮动辊运动之前的状态下设置有三个浮动辊。图21B是浮动辊运动之后的辊的示意性正视图。图22是根据另一个修改的实施例的辊的示意性平面图。图23A是具有对应于图3A和4A的模具的掩模单元的示意性平面图。图23B是从图23A中的线XXIIIB-XXIIIB截取的示意性侧视图。图23C是从图23B中的区域XXIIIC截取的放大截面图。具体实施方式以下将参考附图来描述某些实施例。要注意的是,这些附图并不总是按比例绘制,因此元件之间的尺寸关系不限于图中所示的那些。这些图的一些中的双头箭头X、Y和Z分别描绘正交坐标系中的X、Y和Z轴,并且通常对应于纵向、横向和垂直方向,而它们仅仅是为了方便解释,因此并非限制性的。主要参考图1A至1D和2A至2D,通过图案压印形成的产品1是例如应用于LCD或OLED的触摸屏或显示屏的屏幕或面板的滤光片。产品1通常设置有基板3和从基板突出的图案化突起5。基板3是由诸如玻璃或合成树脂的透明材料制成的板。突起5由暴露于适当的电磁波时固化的可固化树脂(例如光敏聚合物或对紫外线敏感的光敏树脂)制成,并且通过暴露于电磁波而形成。此外,突起5的图案由图案压印产生,其中具有不均匀图案9的片状模具7被压在树脂上以形成作为图案9的镜像的突起5。突起5形成在基板3的一个表面上。尽管图1A示出了其中壁形成蜂窝图案的突起5的图案的示例,但这不过是一个示例,并且可以对其应用任意的图案。突起5相对于基板3的设置可以具有一些变化。图2A示出了其中的例子,其中从图案的脚部到产品1的纵向和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种将具有不均匀图案的片状模具从进给器进给到卷绕器并将该图案压印到铺设在基板上的树脂上的装置,其包括:压印辊,所述压印辊承载所述模具并且能够在第一位置和远离第一位置的第二位置之间与所述基板的表面平行地运动,并且所述压印辊设置成响应于从所述第一位置到所述第二位置的运动而将所述模具压印到所述基板上;浮动辊,所述浮动辊将所述模具朝向所述卷绕器引导并且能够在第三位置和第四位置之间运动,所述第三位置和所述第四位置在垂直于所述基板的表面的方向上分别靠近和远离所述基板;第一驱动器,所述第一驱动器被构造成在所述第一位置和所述第二位置之间驱动所述压印辊;第二驱动器,所述第二驱动器被构造成在所述第三位置和所述第四位置之间驱动所述浮动辊;以及控制器,所述控制器电连接到所述第一驱动器和所述第二驱动器并且被配置为控制所述第一驱动器和所述第二驱动器,所述控制器被配置为执行控制所述第一驱动器以使所述压印辊从所述第一位置运动到所述第二位置而将所述图案压印到所述树脂上并且控制所述第二驱动器以与所述压印辊从所述第一位置到所述第二位置的运动同步地使所述浮动辊从所述第四位置朝向所述第三位置运动而防止所述模具松动的第一控制...

【技术特征摘要】
2017.02.28 JP 2017-0370281.一种将具有不均匀图案的片状模具从进给器进给到卷绕器并将该图案压印到铺设在基板上的树脂上的装置,其包括:压印辊,所述压印辊承载所述模具并且能够在第一位置和远离第一位置的第二位置之间与所述基板的表面平行地运动,并且所述压印辊设置成响应于从所述第一位置到所述第二位置的运动而将所述模具压印到所述基板上;浮动辊,所述浮动辊将所述模具朝向所述卷绕器引导并且能够在第三位置和第四位置之间运动,所述第三位置和所述第四位置在垂直于所述基板的表面的方向上分别靠近和远离所述基板;第一驱动器,所述第一驱动器被构造成在所述第一位置和所述第二位置之间驱动所述压印辊;第二驱动器,所述第二驱动器被构造成在所述第三位置和所述第四位置之间驱动所述浮动辊;以及控制器,所述控制器电连接到所述第一驱动器和所述第二驱动器并且被配置为控制所述第一驱动器和所述第二驱动器,所述控制器被配置为执行控制所述第一驱动器以使所述压印辊从所述第一位置运动到所述第二位置而将所述图案压印到所述树脂上并且控制所述第二驱动器以与所述压印辊从所述第一位置到所述第二位置的运动同步地使所述浮动辊从所述第四位置朝向所述第三位置运动而防止所述模具松动的第一控制。2.根据权利要求1所述的装置,其中所述控制器被配置为执行控制所述第一驱动器以使所述压印辊从所述第二位置运动到所述第一位置而将所述模具从所述基板分离并且控制所述第二驱动器以与所述压印辊从所述第二位置到所述第一位置的运动同步地使所述浮...

【专利技术属性】
技术研发人员:小久保光典杉浦裕喜藤原茂桥本有纪
申请(专利权)人:东芝机械株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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