The utility model provides a test bench and a fixing device thereof. The test bench comprises a supporting device for placing a tablet. The fixing device comprises a moving device, a vacuum adsorption device, which is arranged on the moving device, a connecting device which is mechanically connected with the vacuum adsorption device and a supporting device respectively. The vacuum adsorption device is mechanically connected with the vacuum absorption device for sucking the moving device when the vacuum tube is connected with the peripheral vacuum source, for fixing the supporting device, and for making the vacuum adsorption device and the moving device when the vacuum tube is disconnected from the peripheral vacuum source and connected with the atmosphere. Separation does not limit the movement of the supporting device.
【技术实现步骤摘要】
测试台及其固定装置
本技术涉及测试台
,尤其涉及一种测试台及其固定装置。
技术介绍
传统的测试台,将芯片放置在呈片台上进行测试,特别是长时间测试以查看芯片的半导体器件参数时,可能因为测试台不水平或地面震动,造成测试针扎偏,或划伤芯片表面。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种测试台的固定装置。一种测试台的固定装置,所述测试台包括用于放置呈片台的承托装置,所述固定装置包括:移动装置;真空吸附装置,设于所述移动装置上;连接装置,分别与所述真空吸附装置、承托装置机械连接;真空管,与所述真空吸附装置机械连接,用于在真空管与外设真空源连通时,令所述真空吸附装置吸住所述移动装置,以固定所述承托装置,以及在真空管与外设真空源断开、并且与大气连通时,令所述真空吸附装置与所述移动装置分离,不去限制所述承托装置移动。上述测试台的固定装置,测试台的承托装置通过连接装置与真空吸附装置固定,当真空吸附装置吸住移动装置时,承托装置固定不动,从而固定住呈片台,当真空吸附装置与移动装置分离时,也不会限制承托装置的移动。特别是长时间测试呈片台上的芯片,利用所述固定装置固定住承托装置,可减少测试台不水平或地面震动,造成测试针扎偏,或划伤芯片表面的发生。一个实施例中,所述固定装置还包括:真空管控制装置,与所述真空管连接,用于控制所述真空管与外设真空源断开或连通。一个实施例中,所述真空管控制装置包括:电磁阀以及开关;所述电磁阀与所述真空管机械连接,与所述开关电连接,由所述开关控制电磁阀,从而控制与电磁阀机械连接的所述真空管与外设真空源的断开或连通。一个实施例中,所述固定装置还包括连接导线;所述电磁 ...
【技术保护点】
1.一种测试台的固定装置,所述测试台包括用于放置呈片台的承托装置,其特征在于,所述固定装置包括:移动装置;真空吸附装置,设于所述移动装置上;连接装置,分别与所述真空吸附装置、承托装置机械连接;真空管,与所述真空吸附装置机械连接,用于在真空管与外设真空源连通时,令所述真空吸附装置与所述移动装置之间形成真空,以使所述真空吸附装置吸住所述移动装置,从而固定所述承托装置,以及在真空管与外设真空源断开、并且与大气连通时,令所述真空吸附装置与所述移动装置分离,从而不去限制所述承托装置移动。
【技术特征摘要】
1.一种测试台的固定装置,所述测试台包括用于放置呈片台的承托装置,其特征在于,所述固定装置包括:移动装置;真空吸附装置,设于所述移动装置上;连接装置,分别与所述真空吸附装置、承托装置机械连接;真空管,与所述真空吸附装置机械连接,用于在真空管与外设真空源连通时,令所述真空吸附装置与所述移动装置之间形成真空,以使所述真空吸附装置吸住所述移动装置,从而固定所述承托装置,以及在真空管与外设真空源断开、并且与大气连通时,令所述真空吸附装置与所述移动装置分离,从而不去限制所述承托装置移动。2.根据权利要求1所述的测试台的固定装置,其特征在于,还包括:真空管控制装置,与所述真空管连接,用于控制所述真空管与外设真空源断开或连通。3.根据权利要求2所述的测试台的固定装置,其特征在于,所述真空管控制装置包括:电磁阀以及开关;所述电磁阀与所述真空管机械连接,与所述开关电连接,由所述开关控制电磁阀,从而控制与电磁阀机械连接的所述真空管与外设真空源的断开或连通。4.根据权利要求3所述的测试台的固定装置,其特征在于,还包括连接导线;所述电磁阀通过所述连接导线与所述开关电连接。5.根据权利要求3所述的测试台的固定装置,其特征在于,所述开关分别与所述连接装置、所述真空吸附装置机械连接;所述连接装置通过所述开关与所述真空吸附装置固定在一起。6.根据权利要求1-5任...
【专利技术属性】
技术研发人员:余廷义,
申请(专利权)人:深圳深爱半导体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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