激光加工装置及方法制造方法及图纸

提供一种激光加工装置及一种激光加工方法。所述激光加工装置包括：腔室，具有内部空间；透射窗口，装设在所述腔室的一侧处以设置在激光束的行进路径上；平台，以能够移动方式装设在所述腔室中，以使衬底设置在所述激光束的所述行进路径上；以及抽吸单元，装设在所述透射窗口与所述平台之间。所述激光加工方法包括：在所述平台在工艺进行方向上移动的同时，使用所述抽吸单元根据在所述腔室中产生的空气流来抽吸异物；以及对所述衬底辐照激光束。所述激光加工装置及方法可抑制或防止由异物造成的污染。

Laser processing device and method

A laser processing device and a laser processing method are provided. The laser processing device comprises: a cavity with an internal space; a transmission window arranged at one side of the cavity on the traveling path of the laser beam; a platform arranged in the cavity in a movable manner so that the substrate is arranged on the traveling path of the laser beam; and a suction unit arranged on the traveling path of the laser beam. It is located between the transmission window and the platform. The laser processing method includes: while the platform moves in the direction of the process, the foreign body is sucked by the suction unit according to the air flow generated in the chamber; and the substrate irradiates the laser beam. The laser processing device and method can inhibit or prevent pollution caused by foreign matter.

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置及方法
本公开涉及一种激光加工装置及方法，且更具体来说涉及一种可抑制或防止由异物造成的污染的激光加工装置及方法。
技术介绍
作为下一代显示器，柔性显示器薄、轻、且抗冲击。此外，柔性显示器可具有各种形状，原因是其可在不损失功能的条件下弯曲或折叠。由于用于制造柔性显示器的衬底(例如，聚酰亚胺(polyimide，PI)膜)难于处置，因此为在其中PI膜被固定到载体玻璃上的状态中制造所述柔性显示器，会在所述PI膜上堆叠各种组件或薄膜，且接着将所述载体玻璃与所述PI膜分离。典型的激光剥离(laserliftoff，LLO)工艺是使用准分子激光束(excimerlaserbeam)来分离形成在衬底上的薄膜的工艺。通过执行以上工艺，可在制造柔性显示器的工艺中将PI膜与所述载体玻璃分离。尽管执行激光剥离工艺，然而在辐照准分子激光束来分离薄膜或组件的间歇期会产生大量烟雾，所述大量烟雾是因由激光束造成的热量与衬底之间的化学反应而形成的副产物。所述大量烟雾在衬底上方流动且附着到光学透镜或附着到支撑所述衬底的平台。在现有技术中，在工艺期间产生的烟雾是通过装设在准分子激光束的行进路径周围的抽吸单元来抽吸。典型的抽吸单元连接至吹风机以接收抽吸力且经由口(port)来抽吸烟雾。通过上述结构，抽吸单元可能无法充分地确保抽吸流动速率及抽吸横截面积，且由于压力从吹风机向口逐渐减小而可能无法顺利地执行排放。具体来说，在执行所述工艺的同时，由于衬底在被平台支撑的同时快速移动，因此抽吸单元必须在短时间期间处置衬底的宽泛领域内的大的流动速率值。然而，典型的抽吸单元可能无法充分地抽吸及移除由于上述结构性限制而从衬底产生的大量烟雾。在以下专利文献中阐述本专利技术的
技术介绍
。[现有技术文献][专利文献](专利文献1)KR10-2009-0089161A(专利文献2)KR10-2009-0105423A(专利文献3)KR10-2011-0111209A
技术实现思路
本专利技术公开的实施例提供一种可利用在腔室中产生的空气流来顺利地抽吸异物的激光加工装置及方法。本专利技术公开的实施例还提供一种可利用康达效应(Coandaeffect)来有效地抽吸异物的激光加工装置及方法。本专利技术公开的实施例还提供一种可抑制或防止由异物造成的污染的激光加工装置及方法。根据示例性实施例，一种激光加工装置包括：腔室，具有内部空间；透射窗口，装设在所述腔室的一侧处以设置在激光束的行进路径上；平台，以能够移动方式装设在所述腔室中，以使衬底设置在所述激光束的所述行进路径上；以及抽吸单元，装设在所述透射窗口与所述平台之间。所述抽吸单元在所述平台的移动方向上彼此间隔开且所述激光束的所述行进路径位于所述抽吸单元之间。在示例性实施例中，所述抽吸单元可利用康达效应来控制抽吸力。在示例性实施例中，所述平台可以能够移动方式装设在与所述激光束的所述行进路径交叉的方向上，且所述抽吸单元可在与所述激光束的所述行进路径交叉的所述方向上面对彼此。在示例性实施例中，所示激光加工装置还可包括控制单元，所述控制单元被配置成控制所述抽吸单元根据所述平台的所述移动方向交替地操作。在示例性实施例中，所述控制单元可选择性地操作相对于所述平台的所述移动方向而言先行的所述抽吸单元。在示例性实施例中，所述抽吸单元可包括：喷嘴，装设在与所述激光束的所述行进路径交叉的方向上且具有抽吸孔，所述抽吸孔被朝所述激光束的所述行进方向界定；以及放大器，被安装成在从所述抽吸孔朝所述喷嘴的内部的方向上向所述喷嘴中喷射流体。在示例性实施例中，在所述喷嘴中，在面对所述激光束的所述行进路径的一个表面中可界定有第一抽吸孔，且在面对所述平台的底表面中可界定有第二抽吸孔，且所述放大器可在所述喷嘴的内部沿所述激光束的所述行进路径彼此间隔开且以接触方式安装到所述第一抽吸孔，且在所述放大器中的每一者的朝向所述喷嘴的所述内部的一个表面中可界定有狭缝。在示例性实施例中，所述抽吸单元可包括：排放口，安装到所述喷嘴的与所述第一抽吸孔相对的另一表面；第一供应口，安装到所述放大器中的每一者的侧表面以供应流体；第二供应口，安装到所述排放口以喷射流体；以及偏转器，安装到所述放大器中设置在相对下侧处的一个放大器的顶表面上，且与所述放大器中设置在相对上侧处的另一放大器的底表面间隔开。在示例性实施例中，所述狭缝可在与所述激光束的所述行进路径交叉的所述方向上穿过所述放大器中的每一者的一个表面，且所述狭缝的内表面中的顶表面与底表面可沿所述激光束的所述行进路径彼此间隔开以分别具有不同的长度。在示例性实施例中，所述激光加工装置还可包括：移除单元，与所述抽吸单元间隔开以面对所述平台；排放单元，连接到所述抽吸单元及所述移除单元以施加抽吸力；以及流体供应单元，连接到所述抽吸单元以供应流体。在示例性实施例中，所述移除单元可包括超声波输出口及抽吸口，所述超声波输出口及所述抽吸口设置在所述移除单元的底表面上。根据另一示例性实施例中，一种激光加工方法包括：通过将衬底插入到腔室中而在平台上制备所述衬底；在所述平台在工艺进行方向上移动的同时，对所述衬底辐照激光束；以及从所述腔室抽出所述衬底。在所述平台在所述工艺进行方向上移动的同时，执行使用在所述工艺进行方向上彼此间隔开的抽吸单元来抽吸异物，所述激光束的行进路径位于所述抽吸单元之间。在示例性实施例中，所述激光加工方法还可包括：在从所述腔室抽出所述衬底之后，在所述平台在所述工艺进行方向上移动的同时对所述平台辐照超声波。在所述对所述平台辐照超声波期间，可执行使用所述抽吸单元抽吸异物。在示例性实施例中，所述使用所述抽吸单元抽吸异物可包括：选择抽吸方向与在所述腔室中产生的由所述平台的所述移动造成的空气流匹配的所述抽吸单元，并接着通过操作所选择的所述抽吸单元来抽吸异物。在示例性实施例中，所述使用所述抽吸单元抽吸异物可包括：使用康达效应来控制所述抽吸单元的抽吸力。在示例性实施例中，所述控制所述抽吸单元的抽吸力可包括：通过在所述抽吸单元的抽吸方向上向所述抽吸单元中喷射流体来增大抽吸力。在示例性实施例中，所述流体可包括压缩空气，且所述异物可包括烟雾。附图说明结合附图阅读以下说明，可更详细地理解示例性实施例，在附图中：图1是根据示例性实施例的激光加工装置的示意图。图2(a)到图2(d)是根据示例性实施例的抽吸单元的示意图。图3到图5是示出根据示例性实施例的抽吸单元的操作的图。附图符号说明100：腔室；200：光辐照单元；210：透射窗口；220：第一本体；230：第二本体；300：光源；400：平台；500：抽吸单元；510：喷嘴；511：第一抽吸孔；512：第二抽吸孔；520：放大器；521：狭缝；522：顶表面；523：底表面；530：排放口；540：第一供应口；550：第二供应口；560：偏转器；600：移除单元；610：超声波输出口；620：抽吸口；700：排放单元；710：排放线；720：控制阀门；730：空气放大器；740：真空过滤器；750：压力表；760：鼓风机；800：控制单元；Fa：空气流/内部空气流；Fc：压缩空气；Fs：气体；f：烟雾；g：载体玻璃；L：激光束；S：衬底；X：X轴方向；Y：Y轴方向；Z：Z轴方向。具体实施方式在下文中，将参照附图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：腔室，具有内部空间；透射窗口，装设在所述腔室的一侧处以设置在激光束的行进路径上；平台，以能够移动方式装设在所述腔室中，以使衬底设置在所述激光束的所述行进路径上；以及抽吸单元，装设在所述透射窗口与所述平台之间，其中所述抽吸单元在所述平台的移动方向上彼此间隔开且所述激光束的所述行进路径位于所述抽吸单元之间。

【技术特征摘要】
2017.02.24 KR 10-2017-00247731.一种激光加工装置，其特征在于，包括：腔室，具有内部空间；透射窗口，装设在所述腔室的一侧处以设置在激光束的行进路径上；平台，以能够移动方式装设在所述腔室中，以使衬底设置在所述激光束的所述行进路径上；以及抽吸单元，装设在所述透射窗口与所述平台之间，其中所述抽吸单元在所述平台的移动方向上彼此间隔开且所述激光束的所述行进路径位于所述抽吸单元之间。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述抽吸单元利用康达效应来控制抽吸力。3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，所述平台以能够移动方式装设在与所述激光束的所述行进路径交叉的方向上，且所述抽吸单元在与所述激光束的所述行进路径交叉的所述方向上面对彼此。4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元被配置成控制所述抽吸单元根据所述平台的所述移动方向交替地操作。5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，所述控制单元选择性地操作相对于所述平台的所述移动方向而言先行的所述抽吸单元。6.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，所述抽吸单元包括：喷嘴，装设在与所述激光束的所述行进路径交叉的方向上且具有抽吸孔，所述抽吸孔被朝所述激光束的所述行进方向界定；以及放大器，被安装成在从所述抽吸孔朝所述喷嘴的内部的方向上向所述喷嘴中喷射流体。7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，在所述喷嘴中，在面对所述激光束的所述行进路径的一个表面中界定有第一抽吸孔，且在面对所述平台的底表面中界定有第二抽吸孔，且所述放大器在所述喷嘴的内部沿所述激光束的所述行进路径彼此间隔开且以接触方式安装到所述第一抽吸孔，且在所述放大器中的每一者的朝向所述喷嘴的所述内部的一个表面中界定有狭缝。8.根据权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，所述抽吸单元包括：排放口，安装到所述喷嘴的与所述第一抽吸孔相对的另一表面；第一供应口，安装到所述放大器中的每一者的侧表面以供应流体；第二供应口，安装到所述排放口以喷射流体；以及偏转器，安装到所述放...

【专利技术属性】
技术研发人员：严泰骏，金锺明，朴宰显，白种化，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR