一种束流测量快丝扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种束流测量快丝扫描装置，包括：驱动机构、支撑转接机构、传动机构和摆针测量装置；所述驱动机构包括电机和磁耦合旋转导入器；所述支撑转接机构包括：转接法兰、电机固定架、支撑架和支撑板；所述传动机构包括转动轴和联轴器，所述摆针测量装置包括摆针、摇臂和倾角轴。本装置能够在保证密封的前提下，将电机提供的动力经由轴承传递至法兰的另一端，并最终将轴承的转动转化为摆动，使摆针快速往复摆动，性能可靠，扫描速度快。

A fast wire scanning device for beam measurement

The invention provides a fast wire scanning device for beam current measurement, which comprises a driving mechanism, a supporting switching mechanism, a driving mechanism and a pendulum needle measuring device; the driving mechanism comprises a motor and a magnetic coupling rotary guide; the supporting switching mechanism comprises a switching flange, a motor fixing frame, a supporting frame and a supporting plate; and the driving mechanism comprises a switching flange, a supporting frame and a supporting plate. The mechanism comprises a rotating shaft and a coupling, and the measuring device comprises a pendulum needle, a rocker arm and a tilt shaft. The device can transfer the power supplied by the motor to the other end of the flange through the bearing under the precondition of ensuring the seal, and eventually convert the rotation of the bearing into swing, so that the swing needle can swing back and forth quickly, with reliable performance and fast scanning speed.

【技术实现步骤摘要】
一种束流测量快丝扫描装置
本专利技术涉及离子束流检测以及光束线监测领域，尤其涉及一种束流测量快丝扫描装置。
技术介绍
在离子束流检测中，通常采用法拉第筒进行束流强度的检测，这种拦截式测量方法虽然可以比较准确地测量束流强度，但是不利于调束和运行过程中监测束流传输各关键位置上束流强度的变化，因此实现束流诊断的非截断性检测是很有意义的；通过该装置扫描线可以沿着垂直于离子飞行的方向快速运动，用以检测离子流强度变化等数据，由于其为以快速摆动的单丝，不会对束流的形状、轨迹等的产生影响。在光束线监测中，丝扫描型位置探测器(WBPM)是指利用光敏丝测量X射线位置的一类探测器(又称光敏丝型扫描探测器)，该装置通过固定在框架上的光敏丝，以及平行的偏压极板，并通过导线接到外部接线柱上，形成回路；当同步光通过XBPM时，光敏丝受到光子照射，由于光电效应，表面发射出光电子，光电子被偏压极板收集，并得以探测到电流信号，经过对信号的处理可以得到，光束的位置以及分布以及同步光斑的位置变化信息等数据。现有技术一般通过皮带转动作为驱动装置，污染严重，性能不可靠，因此为束流测量的需要，设计一种具有优良的稳定性、可靠性以及快速的束流测量快丝扫描驱动装置就变得尤为重要。
技术实现思路
根据上述提出的技术问题，而提供一种性能稳定、可靠性高、扫描速度快的束流测量快丝扫描装置。本专利技术采用的技术手段如下：一种束流测量快丝扫描装置，包括：驱动机构、支撑转接机构、传动机构和摆针测量装置；所述驱动机构包括电机和磁耦合旋转导入器；所述支撑转接机构包括：转接法兰、电机固定架、支撑架和支撑板；所述传动机构包括转动轴和联轴器，所述摆针测量装置包括摆针、摇臂和倾角轴；所述电机通过第一联轴器与所述磁耦合旋转导入器一端相连，所述磁耦合旋转导入器另一端穿过所述转接法兰与第二联轴器相连，所述磁耦合旋转导入器的法兰与所述转接法兰的转接端相连，所述电机通过螺钉固接于所述电机固定架，所述电机固定架通过螺钉固接于所述转接法兰，所述支撑架通过螺钉固接于所述转接法兰的另一端，固定摆针测量装置的第一支撑板和第二支撑板通过螺钉固接于所述支撑架的端部；所述第二联轴器另一端与第一转动轴相连，所述第一转动轴另一端穿过所述第一支撑板深入到轴承固定架内，第二转动轴深入到所述轴承固定架另一端，所述第一转动轴与所述第二转动轴通过轴承连接，所述摇臂的一端与所述第二转动轴相连，所述摇臂另一端通过销轴与倾角轴相连，所述倾角轴穿过所述第一支撑板和第二支撑板通过轴承Ⅳ与所述摆针相连。进一步地，所述转接法兰上设有两个用于连接电极的电极接口。进一步地，所述第一支撑板和第二支撑板通过连接杆加固。进一步地，所述第一转动轴穿过轴承固定架内的一对轴承Ⅰ，所述轴承Ⅰ中间设有隔环Ⅰ，所述第二转动轴穿过轴承固定架内的一对轴承Ⅱ，所述轴承Ⅱ中间设有隔环Ⅱ，所述摇臂与销轴连接处两端分别设有轴承Ⅲ与隔环Ⅲ。进一步地，所述摇臂与第一转动轴之间设有压盖。进一步地，在第一支撑板设有开孔的面上，以水平面为x轴，摆针针头部与x轴所成夹角，即摆动范围为-8.5°≤α≤96.7°。进一步地，所述摆针之间的扫描丝为单丝。摆针材料为无氧铜或SUS304不锈钢。本专利技术具有以下优点：1、本装置能够在保证密封的前提下，将电机提供的动力经由轴承传递至法兰的另一端，并最终将轴承的转动转化为摆动，使摆针快速往复摆动，性能可靠，扫描速度快。2、在法兰上配有电极接口连接法兰一端的丝敏线与电极板形成回路，完成检测功能，结构简单，检测精准，安装方便。基于上述理由本专利技术可在束流检测领域广泛推广。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术束流测量快丝扫描装置结构示意图。图2为本专利技术束流测量快丝扫描装置传动部分及摆针部分局部放大示意图。图3为本专利技术整体结构俯视图。图4为本专利技术整体结构主视图。图5为本专利技术侧视图即摆针运动轨迹示意图。图6为图4沿A-A剖面图。图7为本专利技术磁耦合旋转导入器结构示意图。图中：1、电机，2、磁耦合旋转导入器，3、第一联轴器，4、法兰，5、电机固定架，6、第二联轴器，7、第一转动轴，8、支撑架，9、摆针，10、第一支撑板，11、连接杆，12、第二支撑板，13、倾角轴，14、摇臂，15、第二转动轴，16、轴承固定架，17、压盖，18、销轴，19、轴承Ⅰ，20、隔环Ⅰ，21、轴承Ⅱ，22、隔环Ⅱ、23、轴承Ⅲ，24、隔环Ⅲ，25、轴承Ⅳ。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1-6所示，一种束流测量快丝扫描装置，包括：驱动机构，支撑转接机构，传动机构和摆针测量装置；所述驱动机构包括电机1和磁耦合旋转导入器2(如图7所示)；所述支撑转接机构包括：转接法兰4，电机固定架5、支撑架8和支撑板；所述传动机构包括转动轴、联轴器，所述摆针测量装置包括摆针9、摇臂14和倾角轴13；所述电机1通过第一联轴器3与所述磁耦合旋转导入器2一端相连，所述磁耦合旋转导入器2另一端穿过所述转接法兰4与第二联轴器6相连，所述磁耦合旋转导入器的法兰与所述转接法兰4的转接端相连，所述电机1通过螺钉固接于所述电机固定架5，所述电机固定架5通过螺钉固接于所述转接法兰4，所述支撑架8通过螺钉固接于所述转接法兰4的另一端，固定摆针测量装置的第一支撑板10和第二支撑板12通过螺钉固接于所述支撑架8的端部；所述第二联轴器6另一端与第一转动轴7相连，所述第一转动轴7另一端穿过所述第一支撑板10深入轴承固定架16，第二转动轴15深入所述轴承固定架16另一端，所述第一转动轴7与所述第二转动15轴通过轴承连接，所述摇臂14的一端连接于所述第二转动轴15，所述摇臂14另一端通过销轴18与倾角轴13相连，所述倾角轴13穿过所述第一支撑板10和第二支撑板12通过轴承Ⅳ25与所述摆针9相连。所述转接法兰4上还设有两个用于连接电极的电极接口，负责把信号线接入到真空腔体内部。所述第一支撑板10和第二支撑板12通过连接杆11加固。所述第一转动轴7穿过轴承固定架16内的一对轴承Ⅰ19，所述轴承Ⅰ19中间设有隔环Ⅰ20，所述第二转动轴15穿过轴承固定架16内的一对轴承Ⅱ21，所述轴承Ⅱ21中间设有隔环Ⅱ22，所述摇臂14与销轴18连接处两端分别设有轴承Ⅲ23与隔环Ⅲ24。所述摇臂14与第一转动轴7之间设有压盖17。在第一支撑板10设有开孔的面上，以水平面为x轴，摆针9针头部与x轴所成夹角，即摆动范围为-8.5°≤α≤96.7°。所述摆针之间的扫描丝为单丝，一般采用0.1mm的镀金钨丝，摆针材料为无氧铜或SUS304不锈钢。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本专利技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本专利技术进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种束流测量快丝扫描装置，其特征在于，包括：驱动机构、支撑转接机构、传动机构和摆针测量装置；所述驱动机构包括电机和磁耦合旋转导入器；所述支撑转接机构包括：转接法兰、电机固定架、支撑架和支撑板；所述传动机构包括转动轴和联轴器，所述摆针测量装置包括摆针、摇臂和倾角轴；所述电机通过第一联轴器与所述磁耦合旋转导入器一端相连，所述磁耦合旋转导入器另一端穿过所述转接法兰与第二联轴器相连，所述磁耦合旋转导入器的法兰与所述转接法兰的转接端相连，所述电机通过螺钉固接于所述电机固定架，所述电机固定架通过螺钉固接于所述转接法兰，所述支撑架通过螺钉固接于所述转接法兰的另一端，固定摆针测量装置的第一支撑板和第二支撑板通过螺钉固接于所述支撑架的端部；所述第二联轴器另一端与第一转动轴相连，所述第一转动轴另一端穿过所述第一支撑板深入到轴承固定架内，第二转动轴深入到所述轴承固定架另一端，所述第一转动轴与所述第二转动轴通过轴承连接，所述摇臂的一端与所述第二转动轴相连，所述摇臂另一端通过销轴与倾角轴相连，所述倾角轴穿过所述第一支撑板和第二支撑板通过轴承Ⅳ与所述摆针相连。

【技术特征摘要】
1.一种束流测量快丝扫描装置，其特征在于，包括：驱动机构、支撑转接机构、传动机构和摆针测量装置；所述驱动机构包括电机和磁耦合旋转导入器；所述支撑转接机构包括：转接法兰、电机固定架、支撑架和支撑板；所述传动机构包括转动轴和联轴器，所述摆针测量装置包括摆针、摇臂和倾角轴；所述电机通过第一联轴器与所述磁耦合旋转导入器一端相连，所述磁耦合旋转导入器另一端穿过所述转接法兰与第二联轴器相连，所述磁耦合旋转导入器的法兰与所述转接法兰的转接端相连，所述电机通过螺钉固接于所述电机固定架，所述电机固定架通过螺钉固接于所述转接法兰，所述支撑架通过螺钉固接于所述转接法兰的另一端，固定摆针测量装置的第一支撑板和第二支撑板通过螺钉固接于所述支撑架的端部；所述第二联轴器另一端与第一转动轴相连，所述第一转动轴另一端穿过所述第一支撑板深入到轴承固定架内，第二转动轴深入到所述轴承固定架另一端，所述第一转动轴与所述第二转动轴通过轴承连接，所述摇臂的一端与所述第二转动轴相连，所述摇臂另一端通过销轴与倾角轴相连，所述倾角轴穿过所述第一支撑板和第二支撑板通...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，吴祖光，马自达，董华军，臧侃，
申请(专利权)人：大连交通大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21