金属荫罩及其制备方法技术

本申请公开了一种金属荫罩，其制备方法包括：提供模板以及进行了多次的压膜、曝光、显影以及电铸的循环程序，获得在相对二侧面上具有不同开口口径大小的金属荫罩，通过这种口径大小的变化，使金属荫罩具有台阶结构的蒸镀角。本申请通过分层电铸的方法在金属荫罩中引入蒸镀角，解决了现有技术蒸镀不均匀以及容易产生蒸镀阴影的问题。

Metal shadow mask and preparation method thereof

The present application discloses a metal shade mask. The preparation method includes: providing a template and a cyclic process of pressing film, exposing, developing and electroforming for many times, obtaining a metal shade mask with different opening aperture sizes on the relative two sides, through which the metal shade mask has a step structure. The evaporating angle. The application solves the problems of uneven evaporation plating and easy evaporation shadows in the prior art by introducing an evaporation angle into the metal shadows by layered electroforming.

【技术实现步骤摘要】
金属荫罩及其制备方法
本申请涉及有机发光二极管显示
，具体涉及一种金属荫罩及其制备方法。
技术介绍
有机发光二级管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示装置为一种利用有机半导体材料制成、用直流电压驱动的薄膜发光器件。由于OLED显示装置具有厚度薄、重量轻、高对比度、宽视角等优点，已被列为下一代的主流显示技术。OLED显示装置的发光原理是当有电流通过有机发光材料涂层时，即由该有机发光材料涂层发出光线。目前业界OLED制作领域，一般采用单层蒸镀用荫罩蒸镀的方式，蒸镀时有机材料颗粒会从各个角度穿过荫罩的开口并附着于基板上。然而，在一般蒸镀工艺中，分布在荫罩上的开口无锥度，当颗粒倾斜射向开口时，部分颗粒会被开口壁遮挡而无法到达基板，导致倾斜入射的颗粒缺失，造成基板蒸镀不均匀，并产生阴影效应，使产品辉度下降，从而影响了OLED器件的显示特性。目前业界针对阴影效应，在制作OLED用荫罩时，一般采用双面蚀刻金属卷材的方式制作，但此种方式无法准确控制开口大小的均匀性。荫罩与铟锡氧化物(ITO)面接触面开口存在倒锥角，产生死角区域，影响蒸镀质量。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种金属荫罩其及制备方法，用以解决玻璃基板蒸镀时容易产生阴影效应的问题。为了解决上述问题，本申请提供了一种金属荫罩的制备方法，其特征在于，包括：提供一模板；设置一感光膜于所述模板上；曝光及显影，使所述感光膜在所述模板上形成多个第一结构；形成第一层金属层于所述模板上；移除所述多个第一结构，使所述第一层金属层上形成对应于所述多个第一结构的多个第一开口；设置所述感光膜于所述第一层金属层上；曝光及显影，使所述感光膜形成对应于所述多个第一开口的多个第二结构，且所述第二结构的尺寸大于所述第一开口的尺寸；形成第二层金属层于所述第一层金属层上，与所述第一层金属层结合成金属荫罩；以及移除所述多个第二结构，使所述第二层金属层上形成对应于所述多个第一开口的多个第二开口等步骤。本申请同时提供一种通过上述制备方法所制成的金属荫罩。与现有技术相比，本申请可以获得包括以下技术效果：本申请所提供的金属荫罩其及制备方法，通过分层电铸的方法在电铸金属荫罩中引入蒸镀角，形成台阶式的穿孔结构，可以控制第一层金属层的厚度至1-2um，从而减小或消除蒸镀阴影。同时，在蒸镀时，可以降低入射至玻璃基板的有机材料颗粒的损失，提升蒸镀均匀度与产品辉度下降。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1是本申请实施例的方法流程图。图2至图9是本申请实施例中对应不同制作阶段的侧视示意图。图10是本申请实施例的金属荫罩的剖面示意图。具体实施方式以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，藉此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接受的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决所述技术问题，基本达到所述技术效果。此外，“耦接”或“电性连接”一词在此包含任何直接及间接的电性耦接手段。因此，若文中描述一第一装置耦接于一第二装置，则代表所述第一装置可直接电性耦接于所述第二装置，或通过其它装置或耦接手段间接地电性耦接至所述第二装置。说明书后续描述为实施本申请的较佳实施方式，然所述描述乃以说明本申请的一般原则为目的，并非用以限定本申请的范围。本申请的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其它变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者系统中还存在另外的相同要素。实施例描述如图1所示，在本申请的一实施例中，金属荫罩的制备方法，包括：步骤S101：提供一模板。其可以是经过预处理程序的干净模板，或者是在此步骤前先以酸性清洗剂及碱性清洗剂对模板进行清洗，接着用去离子水冲洗，然后烘干备用。步骤S103：设置一感光膜于模板上。主要用带有一定温度的辊轮将感光膜20以一定压力压至模板10上，使感光膜20与模板10表面充分贴合(如图2所示)。步骤S105：曝光及显影，使感光膜在模板上形成多个第一结构。请参阅图2和图3，在此步骤中，将压有感光膜20的模板10曝光，使感光膜20根据曝光图案形成第一层图形；接着以一定温度烘烤曝光后的模板10，使经过曝光的感光膜20充分反应；之后，将曝光后的模板10进行显影，使感光膜20在模板10表面形成多个第一结构30(即感光膜曝光显影后的干膜)，且多个第一结构30彼此间隔排列。其中，还可以选择性的对带有多个第一结构30的模板10进行硬烘或UV固化程序，当显影后的模板10以较高温度烘烤后，多个第一结构30更加坚固、在模板10表面的附着力更强。步骤S107：形成第一层金属层于模板上。如图4所示，对带有多个第一结构30的模板10进行电铸，使模板10的表面未设置有第一结构30的位置处沉积一层金属层40，以作为金属荫罩的第一层金属层40，此金属层40的厚度H1约为1～5um，例如1～2um。在此一步骤中，将带有多个第一结构30的模板10置入一电铸液中，在适当温度下对模板10进行电沉积程序。例如，将模板10置入pH值介于2-3.5的电铸液中，并且在40-60℃的温度下进行电铸程序。在本申请的一些实施例中，电铸模板的步骤可以是在pH值介于3的电铸液中，以50℃的温度进行电铸程序。并且可以通过整流器，例如双整流器，分别控制铁阳极和镍阳极的电流，其中给电方式可以采用电流值为4A/dm2的直流电进行。因此，在此步骤中，可以获得厚度为1-5um的铁镍合金层，并且将厚度均匀性控制在0.1-0.5um的范围内其中，电铸液的成分包含硫酸镍40-80g/L、硫酸亚铁20-40g/L、抗氧化剂1-2g/L、阳极活化剂10-20g/L以及络合剂0.2-0.4g/L。通过此电铸工艺可以获得铁含量占40％-70％的铁镍合金层。在本申请的其他实施例中，电铸液还可以包含30-45g/L的pH缓冲剂和/或2-10g/L的复合稳定剂，其中复合稳定剂的使用可以让铁镍合金层的光亮度达到二级光亮。通过上述电铸工艺，可以在模板上镀出<2um均匀厚度的薄层(第一层金属层)，从而在均匀性方面优化到<10％的结果。在此基础上，配合后续制备工艺可以在金多荫罩上实现OLED蒸镀所需的小蒸镀阴影的阶梯式结构。步骤S109：移除多个第一结构，使第一层金属层上形成对应于多个第一结构的多个第一开口。请参阅图4和图5，主要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属荫罩的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一模板；设置一感光膜于所述模板上；曝光及显影，使所述感光膜在所述模板上形成多个第一结构；形成第一层金属层于所述模板上；移除所述多个第一结构，使所述第一层金属层上形成对应于所述多个第一结构的多个第一开口；设置所述感光膜于所述第一层金属层上；曝光及显影，使所述感光膜形成对应于所述多个第一开口的多个第二结构，且所述第二结构的尺寸大于所述第一开口的尺寸；形成第二层金属层于所述第一层金属层上，与所述第一层金属层结合成金属荫罩；以及移除所述多个第二结构，使所述第二层金属层上形成对应于所述多个第一开口的多个第二开口。

【技术特征摘要】
1.一种金属荫罩的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一模板；设置一感光膜于所述模板上；曝光及显影，使所述感光膜在所述模板上形成多个第一结构；形成第一层金属层于所述模板上；移除所述多个第一结构，使所述第一层金属层上形成对应于所述多个第一结构的多个第一开口；设置所述感光膜于所述第一层金属层上；曝光及显影，使所述感光膜形成对应于所述多个第一开口的多个第二结构，且所述第二结构的尺寸大于所述第一开口的尺寸；形成第二层金属层于所述第一层金属层上，与所述第一层金属层结合成金属荫罩；以及移除所述多个第二结构，使所述第二层金属层上形成对应于所述多个第一开口的多个第二开口。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述曝光及显影的步骤后还包含以下步骤：对所述多个第一结构或所述多个第二结构进行固化程序。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述移除所述多个第二结构的步骤后，还包括将金属荫罩从模板上揭下、固定的步骤。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述移除所述多个第一结构或所述移除所述多个第二结构的步骤后，还包括对退膜后的所述模板进行清洗、烘干步骤。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一层金属层与所述第二层金属层的厚度比为1:5～1:25。6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一开口与所述第二开口的中心偏移量介于0.5um至1um之间。7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二开口与对应的所述第一开口相连通，并且于所述金属荫罩内形成台阶结构。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一层金属层相邻于所述第一开口的一侧边与所述第二层金属层相邻于所述第二开口的一侧边之间具有一宽度差。9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一层金属层相...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘仲光，童圣智，陈霞玲，
申请(专利权)人：阿德文泰克全球有限公司，
类型：发明
国别省市：维尔京群岛,VG