The utility model relates to a base plate clamp, which comprises a base and a clamping rod. The middle part of the clamping rod is pivoted on the base through a pivot part. One end of the clamping rod is provided with a first clamping part, and the other end of the clamping rod is provided with a transmission connection part; the base is provided with a corresponding first clamping part. The second clamping part is provided with a pressure driving structure connected with the transmission connection part on the base, wherein, under the control of the pressure driving structure, the clamping rod swings around the pivot part so that the first clamping part moves toward or away from the second clamping part. The utility model has the beneficial effect of adopting a lever-type clamping mode and adopting a pressure-driven mode to control the proximity or distance between the first clamping part and the second clamping part for clamping the substrate, improving the stability of the clamping force of the clamping substrate, prolonging the service life and effectively reducing the fragment risk.
【技术实现步骤摘要】
基板夹具和基板承载装置
本技术涉及显示产品制作
,尤其涉及一种基板夹具和基板承载装置。
技术介绍
玻璃基板在Sputter(喷镀)过程中,要经过Robot(机器人)取片、挂片及腔内镀膜等过程,玻璃基板的承载是通过框架以及设置在框架周边的Spring(弹簧片)进行夹紧,由于玻璃基板较大且厚度很薄,很容易发生破片,与Spring(弹簧片)相关的破片占很大比例。目前使用Spring夹持玻璃基板,主要存在以下问题:1)变形问题:使用过程中,弹簧片容易发成变形,产生中间翘起、歪斜等问题,容易造成破片;2)弹性问题:顶针进行支撑基板时,过程容易造成弹簧片弹性缺失,在传送过程中,玻璃基板容易晃动与弹簧片发生摩擦或者跳出Spring造成破片;3)结构问题:存在弹簧片与玻璃基板线接触甚至点接触的情况,容易发生应力集中产生破片;由于工艺问题,弹簧片个体之间存在一定的差异,相当比例的弹簧片偏长或者偏短,不能保证均一性;4)成本问题:弹簧片的寿命在1000次左右,每个承载框架需要32个弹簧片,日常生产中需要频繁维护,维护成本巨大;5)其他问题:频繁更换弹簧片,容易发生牙套损坏、螺丝断裂等问题,浪费人力成本,由于运输台车较高,作业存在较大风险。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种基板夹具和基板承载装置,解决基板容易破片的问题。为了达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种基板夹具,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底 ...
【技术保护点】
1.一种基板夹具,其特征在于,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆绕所述枢接部摆动,以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。
【技术特征摘要】
1.一种基板夹具,其特征在于,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆绕所述枢接部摆动,以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。2.根据权利要求1所述的基板夹具,其特征在于,所述压力驱动结构包括:用于提供动力源的压力源;通过流体回路与所述压力源连接的流体压力驱动缸,所述流体压力驱动缸与所述传动连接部连接;及,设置于所述流体回路上的控制开关组件,用于控制所述流体压力驱动缸内的流体流向,以使所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。3.根据权利要求2所述的基板夹具,其特征在于,所述流体压力驱动缸包括第一腔室和第二腔室,所述控制开关组件包括换向电磁阀,所述流体回路包括连接在所述第一腔室和所述换向电磁阀之间的第一管路、及连接在所述第二腔室和所述换向电磁阀之间的第二管路;所述换向电磁阀具有第一状态和第二状态;所述换向电磁阀在第一状态时,所述压力源通过所述第一管路与所述第一腔室连通,所述压力源所提供的流体进...
【专利技术属性】
技术研发人员:王龙昆,王伟,杨文娟,
申请(专利权)人:合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。