基板夹具和基板承载装置制造方法及图纸

技术编号:18808118 阅读:23 留言:0更新日期:2018-09-01 08:43
本实用新型专利技术涉及一种基板夹具,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆绕所述枢接部摆动,以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。本实用新型专利技术的有益效果是:采用杠杆式的夹持方式,且采用压力驱动的方式控制用于夹持基板的所述第一夹持部和所述第二夹持部的靠近或远离,提高夹持基板的夹紧力的稳定性,使用寿命长,有效的降低破片风险。

Substrate clamp and substrate bearing device

The utility model relates to a base plate clamp, which comprises a base and a clamping rod. The middle part of the clamping rod is pivoted on the base through a pivot part. One end of the clamping rod is provided with a first clamping part, and the other end of the clamping rod is provided with a transmission connection part; the base is provided with a corresponding first clamping part. The second clamping part is provided with a pressure driving structure connected with the transmission connection part on the base, wherein, under the control of the pressure driving structure, the clamping rod swings around the pivot part so that the first clamping part moves toward or away from the second clamping part. The utility model has the beneficial effect of adopting a lever-type clamping mode and adopting a pressure-driven mode to control the proximity or distance between the first clamping part and the second clamping part for clamping the substrate, improving the stability of the clamping force of the clamping substrate, prolonging the service life and effectively reducing the fragment risk.

【技术实现步骤摘要】
基板夹具和基板承载装置
本技术涉及显示产品制作
,尤其涉及一种基板夹具和基板承载装置。
技术介绍
玻璃基板在Sputter(喷镀)过程中,要经过Robot(机器人)取片、挂片及腔内镀膜等过程,玻璃基板的承载是通过框架以及设置在框架周边的Spring(弹簧片)进行夹紧,由于玻璃基板较大且厚度很薄,很容易发生破片,与Spring(弹簧片)相关的破片占很大比例。目前使用Spring夹持玻璃基板,主要存在以下问题:1)变形问题:使用过程中,弹簧片容易发成变形,产生中间翘起、歪斜等问题,容易造成破片;2)弹性问题:顶针进行支撑基板时,过程容易造成弹簧片弹性缺失,在传送过程中,玻璃基板容易晃动与弹簧片发生摩擦或者跳出Spring造成破片;3)结构问题:存在弹簧片与玻璃基板线接触甚至点接触的情况,容易发生应力集中产生破片;由于工艺问题,弹簧片个体之间存在一定的差异,相当比例的弹簧片偏长或者偏短,不能保证均一性;4)成本问题:弹簧片的寿命在1000次左右,每个承载框架需要32个弹簧片,日常生产中需要频繁维护,维护成本巨大;5)其他问题:频繁更换弹簧片,容易发生牙套损坏、螺丝断裂等问题,浪费人力成本,由于运输台车较高,作业存在较大风险。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种基板夹具和基板承载装置,解决基板容易破片的问题。为了达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种基板夹具,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆绕所述枢接部摆动,以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。进一步的,所述压力驱动结构包括:用于提供动力源的压力源;通过流体回路与所述压力源连接的流体压力驱动缸,所述流体压力驱动缸与所述传动连接部连接;及,设置于所述流体回路上的控制开关组件,用于控制所述流体压力驱动缸内的流体流向,以使所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。进一步的,所述流体压力驱动缸包括第一腔室和第二腔室,所述控制开关组件包括换向电磁阀,所述流体回路包括连接在所述第一腔室和所述换向电磁阀之间的第一管路、及连接在所述第二腔室和所述换向电磁阀之间的第二管路;所述换向电磁阀具有第一状态和第二状态;所述换向电磁阀在第一状态时,所述压力源通过所述第一管路与所述第一腔室连通,所述压力源所提供的流体进入所述第一腔室,以使所述第一夹持部向靠近所述第二夹持部的方向移动;所述换向电磁阀在第二状态时,所述压力源通过所述第二管路与所述第二腔室连通,所述压力源所提供的流体进入所述第二腔室,以使所述第一夹持部向远离所述第二夹持部的方向移动。进一步的,所述控制开关组件包括设置于所述第一管路和/或所述第二管路上的流量控制阀,用于控制进入所述第一腔室的流体的流量。进一步的,所述控制开关组件包括设置于所述第二管路上的单向阀。进一步的,所述控制开关组件还包括设置于所述压力源与所述换向电磁阀之间的第三管路上的溢流阀,用于控制所述第三管路上的流体压力值。进一步的,还包括弹性件,所述弹性件的一端固定于所述底座上,所述弹性件的另一端固定于所述夹持杆上,且位于所述枢接部与所述第一夹持部之间。进一步的,所述第一夹持部上设置有弹性缓冲件。进一步的,所述弹性缓冲件为橡胶套,所述橡胶套套设于所述第一夹持部的端部。本技术还提供一种基板承载装置,包括上述的基板夹具。本技术的有益效果是:采用杠杆式的夹持方式,且采用压力驱动的方式控制用于夹持基板的所述第一夹持部和所述第二夹持部的靠近或远离,提高夹持基板的夹紧力的稳定性,使用寿命长,有效的降低破片风险。附图说明图1表示本技术实施例中基板夹具结构示意图;图2表示本技术实施例中压力驱动控制原理示意图一;图3表示本技术实施例中压力驱动控制原理示意图二。具体实施方式以下结合附图对本技术的特征和原理进行详细说明,所举实施例仅用于解释本技术,并非以此限定本技术的保护范围。如图1所示,本实施例提供一种基板夹具,包括底座1和夹持杆2,所述夹持杆2的中部通过枢接部3枢接于所述底座1上,所述夹持杆2的一端设置有第一夹持部6,所述夹持杆2的另一端设置有传动连接部;所述底座1上设置有与所述第一夹持部6相对应的第二夹持部7,所述底座1上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆2绕所述枢接部3摆动,以使得所述第一夹持部6向靠近或远离所述第二夹持部7的方向移动。相对于现有技术采用薄片式的弹簧片夹持基板的方式,本实施例中采用杠杆式的夹持方式,且通过压力驱动来控制用于夹持基板的所述第一夹持部6和所述第二夹持部7的靠近或远离,克服采用弹簧片夹持基板弹性容易改变,夹紧力不稳定的问题,有效降低破片风险。所述压力驱动结构的具体结构形式可以有多种,只要实现以压力驱动的方式控制所述第一夹持部6的移动即可,本实施例中,所述压力驱动结构包括:用于提供动力源的压力源8;通过流体回路与所述压力源8连接的流体压力驱动缸4,所述流体压力驱动缸4与所述传动连接部连接;及,设置于所述流体回路上的控制开关组件,用于控制所述流体压力驱动缸4内的流体流向,以使所述第一夹持部6向靠近或远离所述第二夹持部7的方向移动。所述压力源8可以是气体或是液体,相应的所述流体压力驱动缸4可以是气缸或是液压缸。优选的,所述流体压力驱动缸4包括第一腔室41和第二腔室42,所述控制开关组件包括换向电磁阀10,所述流体回路包括连接在所述第一腔室41和所述换向电磁阀10之间的第一管路、及连接在所述第二腔室42和所述换向电磁阀10之间的第二管路;所述换向电磁阀10具有第一状态和第二状态;所述换向电磁阀10在第一状态时,所述压力源8与通过所述第一管路与所述第一腔室41连通,所述压力源8提供的流体进入所述所述第一腔室41,以使所述第一夹持部6向靠近所述第二夹持部7的方向移动;所述换向电磁阀10在第二状态时,所述压力源8通过第二管路与所述第二腔室42连通,所述压力源8提供的流体进入所述第二腔室42,以使所述第一夹持部6向远离所述第二夹持部7的方向移动。本实施例中,所述流体压力驱动缸4内部由活塞划分为第一腔室41和第二腔室42,所述换向电磁阀10包括与所述压力源8连通的第一阀口、通过所述第一管路与所述第一腔室41连通的第二阀口、通过所述第二管路与所述第二腔室42连通的第三阀口、以及用于卸压的第四阀口;如图2所示,图中虚线箭头表示流体流向,所述换向电磁阀10在第一状态时,所述第一阀口与所述第二阀口相通,所述第三阀口和所述第四阀口相通,所述压力源8通过所述第一管路与所述第一腔室41连通,所述压力源8提供的流体进入所述第一腔室41,以推动所述活塞向所述第二腔室42移动,所述第二腔室42内的流体通过所述第二管路进入所述卸压槽9,连接于所述活塞上的传动杆向外伸出并推动所述传动连接部移动,所述夹持杆2绕所述枢接部3摆动,从而使得所述第一夹持部6向靠近所述第二夹持部7的方向移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板夹具,其特征在于,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆绕所述枢接部摆动,以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种基板夹具,其特征在于,包括底座和夹持杆,所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上,所述夹持杆的一端设置有第一夹持部,所述夹持杆的另一端设置有传动连接部;所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部,所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构;其中,在所述压力驱动结构的控制下,所述夹持杆绕所述枢接部摆动,以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。2.根据权利要求1所述的基板夹具,其特征在于,所述压力驱动结构包括:用于提供动力源的压力源;通过流体回路与所述压力源连接的流体压力驱动缸,所述流体压力驱动缸与所述传动连接部连接;及,设置于所述流体回路上的控制开关组件,用于控制所述流体压力驱动缸内的流体流向,以使所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。3.根据权利要求2所述的基板夹具,其特征在于,所述流体压力驱动缸包括第一腔室和第二腔室,所述控制开关组件包括换向电磁阀,所述流体回路包括连接在所述第一腔室和所述换向电磁阀之间的第一管路、及连接在所述第二腔室和所述换向电磁阀之间的第二管路;所述换向电磁阀具有第一状态和第二状态;所述换向电磁阀在第一状态时,所述压力源通过所述第一管路与所述第一腔室连通,所述压力源所提供的流体进...

【专利技术属性】
技术研发人员:王龙昆王伟杨文娟
申请(专利权)人:合肥鑫晟光电科技有限公司京东方科技集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:安徽,34

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