截止器及衬底加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种截止器及衬底加工装置。所述衬底加工装置包括：光辐照器，包括透射光的透射窗口，且安装在上面置有衬底的平台上方以将光辐照到所述衬底上；以及耗散诱导部件，设置在所述透射窗口上方以使通过从所述衬底反射而穿过所述透射窗口的所述光入射，且具有捕获所述光以多次对所述光进行反射的第一凹槽。因此，激光束的反射次数可进一步增加以防止截止器因激光束的热量而劣化，从而防止当在工艺进行时因截止器劣化导致截止器周围气氛发生改变的情况下在衬底上出现因劣化导致的云纹。

Cut-off device and substrate processing device

The invention provides a cut-off device and a substrate processing device. The substrate processing device includes: a light irradiator, including a transmission window of transmitted light, which is mounted above a platform on which a substrate is mounted to irradiate light onto the substrate; and a dissipation inducing component, which is arranged above the transmission window to allow the light to enter through the transmission window reflected from the substrate. The first groove with a plurality of light reflecting the light is reflected. Therefore, the number of reflections of the laser beam can be further increased to prevent the cutter from deteriorating due to the heat of the laser beam, thereby preventing the appearance of moires on the substrate when the atmosphere around the cutter is changed due to the cutter deterioration during the process.

【技术实现步骤摘要】
截止器及衬底加工装置
本公开涉及一种截止器及衬底加工装置，且更具体来说，涉及一种能够防止在衬底上出现因劣化而导致的云纹(mura)的衬底加工装置。
技术介绍
在制造液晶显示器及光伏器件(photovoltaicdevice)时，涉及用于使非晶多晶薄膜(amorphouspolycrystallinethinfilm)(例如，非晶多晶硅薄膜)结晶的热加工工艺。此处，如果使用玻璃作为衬底，则可使用激光来使非晶多晶薄膜结晶。然而，当非晶多晶薄膜与氧气(O2)发生反应时，非晶多晶薄膜可被氧化而产生氧化物薄膜且还会被杂质污染或性质发生改变。如在韩国专利公开第2011-0071591号中所公开，根据现有技术的激光衬底加工装置包括：工艺腔室10，具有在其中对衬底1进行加工的空间；平台2，设置在工艺腔室10内以将衬底1放置在平台2上并且平台2在工艺进行方向上转移；透射窗口40，设置在工艺腔室10的上部部分中以使激光8能够从中透射；以及光源30，在工艺腔室10之外设置在透射窗口40上方以输出激光8；以及截止器50，在工艺腔室10之外安装在透射窗口40上方以吸收被从衬底1反射而穿过透射窗口40的光(参见图8)。从光源30输出并辐照到衬底1(指向61)上的激光8可被反射到与入射方向对称的相反方向(即，向上方向)(指向62)而再次穿过透射窗口40且接着入射到设置在透射窗口40上方的截止器50中。此处，激光8可被截止器50局部抵消或者可被不完全地消除，且因此再次由截止器50反射并入射到透射窗口40中(指向63)。透射窗口40可因重复入射的反射光而具有不均匀的厚度且温度连续升高。因此，当穿过透射窗口40的激光辐照到衬底1上以执行结晶工艺时，可出现云纹。另外，由于激光被重复吸收到截止器50，因此截止器50的温度可升高。因此，截止器50周围的组件的温度可升高且因此会发生热变形。此可成为辐照到衬底1上的激光束发生移位的因素。[现有技术文献][专利文献](专利文献1)韩国专利公开第2011-0071591号
技术实现思路
本公开提供一种能够防止截止器劣化的衬底加工装置。本公开还提供一种其中入射到截止器的光在截止器中耗散的衬底加工装置。根据示例性实施例，一种安装在透射光的透射窗口上方以防止从安装在所述透射窗口下方的待加工物体反射的光入射到所述透射窗口中的截止器包括：截止器本体，具有一端及另一端，所述一端被设置成对应于所述透射窗口的上侧，所述另一端延伸成在宽度方向上设置在所述透射窗口之外；以及耗散诱导部件，设置在所述截止器本体中，以多次反射通过穿过所述透射窗口而入射到所述截止器本体中的所述光，并从而耗散所述光。其中设置有所述耗散诱导部件的所述截止器本体的内部空间可具有从所述截止器本体的所述一端到所述另一端逐渐减小的宽度。所述耗散诱导部件可包括：第一耗散诱导部件，包括所述截止器本体的内壁，所述内壁分隔所述截止器本体的所述内部空间，其中所述第一耗散诱导部件可包括：上壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间的上部部分中；下壁，面对所述上壁；一个侧壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间中以对应于所述截止器本体的所述一端；以及另一侧壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间中以对应于所述截止器本体的所述另一端。所述第一耗散诱导部件的所述上壁可包括：第一上部反射表面，被设置成面对所述透射窗口且被配置成接收通过从所述待加工物体反射而入射到所述截止器本体中的所述光并将所接收的所述光反射到所述截止器本体内的所述另一侧壁；第二上部反射表面，延伸成自所述第一上部反射表面到所述另一侧壁向下倾斜以反射所述光；以及第三上部反射表面，从所述第二上部反射表面延伸到所述另一侧壁以接收并反射所述光。所述第一上部反射表面可具有从所述截止器本体向内凹陷的弯曲部分，且所述第一上部反射表面的至少一部分可面对所述下壁。在所述第一耗散诱导部件的所述上壁、所述下壁、及所述另一侧壁中的至少一者上可具有不平坦性。所述耗散诱导部件可包括第二耗散诱导部件，所述第二耗散诱导部件包括第一凹槽，所述第一凹槽从所述上壁、所述下壁、及所述另一侧壁中的至少一者向内延伸以连通所述截止器本体的所述内部空间且被配置成将所述光捕获在所述第一凹槽中并多次反射所述光。所述第一凹槽可设置在所述上壁中。所述第一凹槽可设置在所述上壁的所述第三上部反射表面中。在所述上壁的分隔所述第一凹槽的所述内壁上可具有不平坦性。所述耗散诱导部件可包括第三耗散诱导部件，所述第三耗散诱导部件在所述截止器本体的所述内部空间中被安装成与所述截止器本体的所述内壁间隔开以重新反射从所述截止器本体的所述内壁反射的所述光并从而耗散所述光。所述第三耗散诱导部件可包括：耗散诱导本体，所述耗散诱导本体的外圆周表面的至少一部分在所述截止器本体的所述内部空间中被安装成与所述截止器本体的所述内壁间隔开；以及第二凹槽，从所述耗散诱导本体的所述外圆周表面向内延伸，以捕获所述光并多次反射所述光。在所述耗散诱导本体的外圆周表面及被配置成分隔所述第二凹槽的所述耗散诱导本体的所述内壁中的至少一者上可具有不平坦性。所述第三耗散诱导部件在所述截止器本体内比靠近所述一个侧壁而言可更靠近所述另一侧壁安装。所述第三耗散诱导部件可从所述第三上部反射表面的位置延伸到所述截止器本体的所述另一侧壁。所述第二凹槽可在所述耗散诱导本体的所述外圆周表面上从所述截止器本体的面对所述另一侧壁的所述另一端延伸到所述截止器本体的面对所述一个侧壁的所述一端，且所述第二凹槽可在所述耗散诱导本体的所述另一端的方向上开口。根据另一个示例性实施例，一种衬底加工装置包括：光辐照器，包括透射光的透射窗口，用以将所述光辐照到衬底上；以及截止器，包括截止器本体及耗散诱导部件，所述截止器本体具有一端及另一端，所述一端被设置成对应于所述透射窗口的上侧，所述另一端延伸成在宽度方向上设置在所述透射窗口之外，所述耗散诱导部件设置在所述透射窗口上方以使穿过所述透射窗口的所述光入射以多次反射通过穿过所述透射窗口而入射到所述截止器本体中的所述光并从而耗散所述光。衬底加工装置还可包括切断器，所述切断器设置在所述透射窗口与所述截止器之间以从与所述透射窗口对应的位置延伸到与所述截止器相对的所述透射窗口的外部，且所述切断器被设置成向下倾斜到所述透射窗口。所述截止器可包括截止器本体，所述截止器本体具有一端及另一端，所述一端被设置成对应于所述透射窗口的上侧，所述另一端延伸成在宽度方向上设置在所述透射窗口之外，所述截止器本体的内部空间可具有从所述截止器本体的所述一端到所述另一端逐渐减小的宽度，且所述耗散诱导部件可设置在所述截止器本体中。所述耗散诱导部件可包括第一耗散诱导部件，所述第一耗散诱导部件包括所述截止器本体的内壁，所述内壁分隔所述截止器本体的所述内部空间，且所述第一耗散诱导部件的所述内壁可将入射到所述截止器本体中的所述光反射多次以将所述光诱导到所述截止器本体的所述另一端。所述第一耗散诱导部件可包括：上壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间的上部部分中；下壁，面对所述上壁；一个侧壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间中以对应于所述截止器本体的所述一端；以及另一侧壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间中以对应于所述截止器本体的所述另一端。所述上壁可包括：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种截止器，安装在透射光的透射窗口上方以防止从安装在所述透射窗口下方的待加工物体反射的光入射到所述透射窗口中，其特征在于，所述截止器包括：截止器本体，具有一端及另一端，所述一端被设置成对应于所述透射窗口的上侧，所述另一端延伸成在宽度方向上设置在所述透射窗口之外；以及耗散诱导部件，设置在所述截止器本体中，以多次反射通过穿过所述透射窗口而入射到所述截止器本体中的所述光，并从而耗散所述光。

【技术特征摘要】
2017.02.21 KR 10-2017-00231181.一种截止器，安装在透射光的透射窗口上方以防止从安装在所述透射窗口下方的待加工物体反射的光入射到所述透射窗口中，其特征在于，所述截止器包括：截止器本体，具有一端及另一端，所述一端被设置成对应于所述透射窗口的上侧，所述另一端延伸成在宽度方向上设置在所述透射窗口之外；以及耗散诱导部件，设置在所述截止器本体中，以多次反射通过穿过所述透射窗口而入射到所述截止器本体中的所述光，并从而耗散所述光。2.根据权利要求1所述的截止器，其特征在于，其中设置有所述耗散诱导部件的所述截止器本体的内部空间具有从所述截止器本体的所述一端到所述另一端逐渐减小的宽度。3.根据权利要求2所述的截止器，其特征在于，所述耗散诱导部件包括：第一耗散诱导部件，包括所述截止器本体的内壁，所述内壁分隔所述截止器本体的所述内部空间，其中所述第一耗散诱导部件包括：上壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间的上部部分中；下壁，面对所述上壁；一个侧壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间中以对应于所述截止器本体的所述一端；以及另一侧壁，设置在所述截止器本体的所述内部空间中以对应于所述截止器本体的所述另一端。4.根据权利要求3所述的截止器，其特征在于，所述第一耗散诱导部件的所述上壁包括：第一上部反射表面，被设置成面对所述透射窗口且被配置成接收通过从所述待加工物体反射而入射到所述截止器本体中的所述光，并将所接收的所述光反射到所述截止器本体内的所述另一侧壁；第二上部反射表面，延伸成自所述第一上部反射表面到所述另一侧壁向下倾斜以反射所述光；以及第三上部反射表面，从所述第二上部反射表面延伸到所述另一侧壁以接收并反射所述光。5.根据权利要求4所述的截止器，其特征在于，所述第一上部反射表面具有从所述截止器本体向内凹陷的弯曲部分，且所述第一上部反射表面的至少一部分面对所述下壁。6.根据权利要求3所述的截止器，其特征在于，在所述第一耗散诱导部件的所述上壁、所述下壁、及所述另一侧壁中的至少一者上具有不平坦性。7.根据权利要求4所述的截止器，其特征在于，所述耗散诱导部件包括第二耗散诱导部件，所述第二耗散诱导部件包括第一凹槽，所述第一凹槽从所述上壁、所述下壁、及所述另一侧壁中的至少一者向内延伸以连通所述截止器本体的所述内部空间且被配置成将所述光捕获在所述第一凹槽中并多次反射所述光。8.根据权利要求7所述的截止器，其特征在于，所述第一凹槽设置在所述上壁中。9.根据权利要求8所述的截止器，其特征在于，所述第一凹槽设置在所述上壁的所述第三上部反射表面中。10.根据权利要求9所述的截止器，其特征在于，在所述上壁的分隔所述第一凹槽的所述内壁上具有不平坦性。11.根据权利要求4所述的截止器，其特征在于，所述耗散诱导部件包括第三耗散诱导部件，所述第三耗散诱导部件在所述截止器本体的所述内部空间中被安装成与所述截止器本体的所述内壁间隔开以重新反射从所述截止器本体的所述内壁反射的所述光并从而耗散所述光。12.根据权利要求11所述的截止器，其特征在于，所述第三耗散诱导部件包括：耗散诱导本体，所述耗散诱导本体的外圆周表面的至少一部分在所述截止器本体的所述内部空间中被安装成与所述截止器本体的所述内壁间隔开；以及第二凹槽，从所述耗散诱导本体的所述外圆周表面向内延伸，以捕获所述光并多次反射所述光。13.根据权利要求12所述的截止器，其特征在于，在所述耗散诱导本体的外圆周表面及被配置成分隔所述第二凹槽的所述耗散诱导本体的所述内壁中的至少一者上具有不平坦性。14.根据权利要求12所述的截止器，其特征在于，所述第三耗散诱导部件在所述截止器本体内比靠近所述一个侧壁而言更靠近所述另一侧壁安装。15.根据权利要求14所述的截止器，其特征在于，所述第三耗散诱导部件从所述第三上部反射表面的位置延伸到所述截止器本体的所述另一侧壁。16.根据权利要求15所述的截止器，其特征在于，所述第二凹槽在所述耗散诱导本体的所述外圆周表面上从所述截止器本体的面对所述另一侧壁的所述另一端延伸到所述截止器本体的面对所述一个侧壁的所述一端，且所述第二凹槽在所述耗散诱...

【专利技术属性】
技术研发人员：金镐岩，李基雄，金圣进，金戊一，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR