气体分阀箱及气体输送设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气体分阀箱及气体输送设备，属于气体输送技术领域。所述气体分阀箱包括箱体，箱体的顶部设置有风阀、多个进气孔和出气孔，箱体的侧面上设置有进风口和控制面板，内部设置有阀门面板，阀门面板上设置有进气管路，进气管路与进气孔连通，进气管路上设置有常闭式的气动总阀，气动总阀与气动执行机构连接，气动执行机构包括与气动总阀连接的气管，气管远离气动总阀的一端连接有电磁阀，电磁阀与控制面板连接，能够通过控制面板上的按键的开闭来控制电磁阀的通断电，进而控制气动总阀的开闭，这样能够通过控制面板上按键的通断电来控制气体的流通与否的状况，本实用新型专利技术智能程度高、结构紧凑、成本低廉、可靠性高且安全性好。

【技术实现步骤摘要】
气体分阀箱及气体输送设备
本技术涉及气体输送
，尤其涉及一种气体分阀箱及气体输送设备。
技术介绍
在现代工业及高新科技的发展中，几乎所有的智能器件都离不开半导体，而半导体的加工包括像金属、介电和半导体材料的化学气相沉积(CVD)这样的沉积处理，表面层的蚀刻，光刻胶掩膜层的抛光等等。在半导体的这些加工过程中，需要用到大量气体进行反应，需要引入多种气体，这些气体各自通过气体分阀箱(ValveManifoldBox，VMB)来进行分流输送。上述用来进行半导体处理气体的输送的气体分阀箱对于安全的要求非常严格，在尽可能地减少安全事故的发生，以取得高效、稳定、不断提高的产业利润是半导体制造行业的追求目标。现有的上述气体分阀箱不够智能、结构不够紧凑、成本高且安全性不好。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种气体分阀箱及气体输送设备，其智能程度高、结构紧凑、成本低廉、可靠性和安全性好。为实现上述目的，提供以下技术方案，本技术提供的气体分阀箱，包括箱体，所述箱体的顶部设置有风阀、多个进气孔和出气孔，所述箱体的一侧面的中部设置有进风口；所述箱体的一侧面上设置有控制面板，所述箱体的内部还设置有阀门面板，所述阀门面板上设置有进气管路，所述主进气管路的进气端与所述进气孔连接，出气端与所述出气孔连接，所述进气管路上设置有常闭式的气动总阀，所述气动总阀与气动执行机构连接，所述气动执行机构包括与所述气动阀连接的气管，所述气管远离所述气动总阀的一端连接有电磁阀，所述电磁阀与所述控制面板连接，能够通过所述控制面板上的按键的开闭来控制所述电磁阀的通断电，进而控制所述气动总阀的开闭。进一步的，所述箱体的下端设置有支架，所述箱体为长方体状结构，所述箱体长度为560mm，宽度为380mm，所述箱体的高度为1600mm，所述风阀顶端到所述箱体顶端的高度为230mm；所述阀门面板的长度为710mm，宽度为480mm。进一步的，所述阀门面板上设置有总进气管路、预留管路、主进气管路、分流管路和辅助气流管路，所述总进气管路的进气端与所述进气孔连通，所述总进气管路的进口端设置有三通接头，向上连接所述预留管路，所述预留管路的长度范围为60mm-100mm，其上端连接面密封接头；所述三通接头向下连接所述主进气管路，所述主进气管路上连接有隔膜阀，所述隔膜阀后面并联有四组所述分流管路，每一组所述分流管路自下向上依次连接有气动分阀、减压阀、压力表和隔膜阀，所述分流管路的上端连接有面密封接头，所述气动分阀的结构与所述气动总阀相同，且所述气动分阀分别与所述控制面板的相对应的按键连接；所述辅助气流管路的进气端连接有面密封接头，向下依次连接隔膜阀、第一单向阀和压力表，所述第一单向阀向下为开启状态，再在所述减压阀的下方分别与四组所述分流管路连通，在所述分流管路的上端的隔膜阀的下方分别与出气管路通过隔膜阀连通，所述出气管路的外端与真空发生器连接，所述真空发生器的上端通过阀门与废气装置连通，下端与驱动机构连通。进一步的，所述真空发生器的下端通过第二单向阀与氮气驱动机构连接，所述第二单向阀向上为开启状态，所述氮气驱动机构向所述真空发生器输入氮气，所述真空发生器则对所述辅助气流管路进行抽真空。进一步的，所述阀门面板上还设置有紧急停止按键，所述紧急停止按键与所述阀门面板上是所有电磁阀电连接，所述紧急停止按键设置为向所述箱体内侧凹陷的结构，能够防止被碰触；所述进风口为进风栅栏。进一步的，所述箱体的一侧面设置有箱门，所述箱门、所述控制面板和所述进风口均设置在所述箱体的同一侧面上；在所述侧面上还设置有观测面板，能够透过所述观测面板观测到所述箱体内部；进一步的，所述观测面板包括设置在所述箱体侧面上部的观测开口和封闭所述观测开口的金属网格防爆玻璃。进一步的，所述进气孔和所述出气孔均为敲落孔；所述金属网格防爆玻璃的四周设置的箱体上还设置有内衬门板，所述内衬门板的颜色能够指示进气孔内通入的气体性质；所述箱体内部设置有检测装置，所述箱体外部设置有报警装置，所述检测装置与所述报警装置通信连接；所述报警装置为三色塔灯。进一步的，所述箱门上设置有门锁，所述门锁兼具把手的功能；所述箱门上安装有闭门器，使所述箱门能够自动吸合。进一步的，所述箱体上还设置有压差计，所述压差计的一端伸入所述箱体内部，另一端在所述箱体外部，能够显示箱体内外的压强差。本技术还提供一种气体输送设备，包括上述任意一项技术方案所述的气体分阀箱。与现有技术相比，本技术提供的气体分阀箱，其上增加了控制面板，控制面板上的按键通过电磁阀与阀门面板上的进气管路上的气动总阀的开闭，这样能够通过控制面板上按键的通断电来控制气体的流通与否的状况；本技术的箱体的进气孔和出气孔为多个敲落孔，可以根据需要进行选择进气口和出气口的位置，阀门面板上所有的阀门构件均通过特殊的焊接技术焊接上去，减小了死角的尺寸和各部件之间的空隙尺寸，使得阀门面板的尺寸大大减小，进而箱体的尺寸大大减小；本技术中的阀门面板上的阀门的结构的设计可靠性好、安全性高，且设计一条辅助气流系统，因为减压阀易出现故障，需要维修，该辅助气流系统是用在减压阀维修后进行排除系统管路内的空气的，使得本技术的功能更完善、安全性更好。本技术智能程度高、结构紧凑、成本低廉、可靠性高且安全性好。附图说明图1为本技术实施例一中的气体分阀箱的结构示意图一。图2为本技术实施例一中的气体分阀箱的结构示意图二。图3为本技术实施例一中的气体分阀箱的俯视图。图4为本技术实施例一中的阀门面板的结构示意图一。图5为本技术实施例一中的阀门面板的结构示意图二。附图标记：1-箱体；2-风阀；3-敲落孔；4-进风栅栏；5-金属网格防爆玻璃；6-控制面板；7-三色塔灯；8-压差计；9-支架；10-螺栓；11-阀门面板；12-总进气管路；13-主进气管路；14-辅助气流管路；15-隔膜阀；16-压力表；17-分流管路；18-气动分阀；19-减压阀；20-面密封接头；21-第一单向阀；22-出气管路；23-真空发生器；24-第二单向阀；25-氮气驱动机构；61-紧急停止按键；101-箱门；102-门锁；103-内衬门板；1101-通孔。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。实施例一如图1-3所示，本技术提供的气体分阀箱，包括箱体1，箱体1的顶部设置有风阀2、多个进气孔和出气孔，箱体1的一侧面的中部设置有进风口。具体地，箱体1的下端为一体式焊接的支架9，整个箱体1为长方体状结构，箱体1长度为560mm，宽度为380mm，箱体1的高度为1600mm，风阀2顶端到箱体1顶端的高度为230mm，风阀2通过螺栓10连接在箱体1顶部，螺栓10伸入箱体1内部的下端连接有消防喷淋头，当内部发生火灾时，可以进行灭火；进气孔和出气孔均为敲落孔3，这样可以根据装配需要选择进气口和出气口的位置，方便灵活；进风口为进风栅栏4，风阀2与抽风装置的进风口连通，因为箱体1内是负压，所以可以通过进风栅栏4自动进风，再通过与风阀2连接的抽风装置完成箱体1内空气的流通。进一步的，箱体1上还设置有压差计8，压差计8的一端伸入箱体1内部，另一端在箱体1外部，能够显示箱体1内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体分阀箱，包括箱体(1)，所述箱体(1)的顶部设置有风阀(2)、多个进气孔和出气孔，所述箱体(1)的一侧面的中部设置有进风口；其特征在于，所述箱体(1)的一侧面上设置有控制面板(6)，所述箱体(1)的内部还设置有阀门面板(11)，所述阀门面板(11)上设置有主进气管路(13)，所述主进气管路(13)的进气端与所述进气孔连接，出气端与所述出气孔连接，所述主进气管路(13)上设置有常闭式的气动总阀，所述气动总阀与气动执行机构连接，所述气动执行机构包括与所述气动总阀连接的气管，所述气管远离所述气动总阀的一端连接有电磁阀，所述电磁阀与所述控制面板(6)连接，能够通过所述控制面板(6)上的按键的开闭来控制所述电磁阀的通断电，进而控制所述气动总阀的开闭。

【技术特征摘要】
1.一种气体分阀箱，包括箱体(1)，所述箱体(1)的顶部设置有风阀(2)、多个进气孔和出气孔，所述箱体(1)的一侧面的中部设置有进风口；其特征在于，所述箱体(1)的一侧面上设置有控制面板(6)，所述箱体(1)的内部还设置有阀门面板(11)，所述阀门面板(11)上设置有主进气管路(13)，所述主进气管路(13)的进气端与所述进气孔连接，出气端与所述出气孔连接，所述主进气管路(13)上设置有常闭式的气动总阀，所述气动总阀与气动执行机构连接，所述气动执行机构包括与所述气动总阀连接的气管，所述气管远离所述气动总阀的一端连接有电磁阀，所述电磁阀与所述控制面板(6)连接，能够通过所述控制面板(6)上的按键的开闭来控制所述电磁阀的通断电，进而控制所述气动总阀的开闭。2.根据权利要求1所述的气体分阀箱，其特征在于，所述箱体(1)的下端设置有支架(9)，所述箱体(1)为长方体状结构，所述箱体(1)长度为560mm，宽度为380mm，所述箱体(1)的高度为1600mm，所述风阀(2)顶端到所述箱体(1)顶端的高度为230mm；所述阀门面板(11)的长度为710mm，宽度为480mm。3.根据权利要求1所述的气体分阀箱，其特征在于，所述阀门面板(11)上设置有总进气管路(12)、预留管路、主进气管路(13)、分流管路(17)和辅助气流管路(14)，所述总进气管路(12)的进气端与所述进气孔连通，所述总进气管路(12)的进口端设置有三通接头，向上连接所述预留管路，所述预留管路的长度范围为60mm-100mm，其上端连接面密封接头(20)；所述三通接头向下连接所述主进气管路(13)，所述主进气管路(13)上连接有隔膜阀(15)，所述隔膜阀(15)后面并联有四组所述分流管路(17)，每一组所述分流管路(17)自下向上依次连接有气动分阀(18)、减压阀(19)、压力表(16)和隔膜阀(15)，所述分流管路(17)的上端连接有面密封接头(20)，所述气动分阀(18)的结构与所述气动总阀相同，且每个所述气动分阀(18)分别与所述控制面板(6)的相对应的按键连接；所述辅助气流管路(14)的进气端连接有面密封接头(20)，向下依次连接隔膜阀(15)、第一单向阀(21)和压力表(16)，所述第一单向阀(21)向下为开启状态，再在所述减压阀(19)的下方分别与四组所述分流管路(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚华，张慧，蔡可辉，
申请(专利权)人：上海正帆科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31