一种桌面型扫描电子显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种桌面型扫描电子显微镜，其结构包括电子枪、聚光镜一、电子探头、样品室、底座、拉杆、物镜、电源线、聚光镜二，所述样品室为中空箱体结构，采用半开放式结构，所述样品室上板一体成型设有圆孔，所述样品室前侧设有进料口，内腔设有电子探头，所述电子探头上端设有电源线，采用通电连接方式，所述聚光镜一上方位置设有电子枪，采用内置方式呈上下安装结构，所述聚光镜二位于样品室上方位置，本实用新型专利技术设有拉杆，需要移动场所时拉出折叠杆后顺着两侧将把件靠在一起，并拢提起底座，通过折叠杆的特性，避免损坏装置表面，移动时具有省力作用。

A desktop scanning electron microscope

The utility model discloses a desktop scanning electron microscope, which comprises an electron gun, a concentrator, an electronic probe, a sample room, a base, a pull rod, an objective lens, a power cord, and a concentrator. The sample room is a hollow box structure, and adopts a semi-open structure. The upper plate of the sample room is integrally formed with a circular hole. The front side of the sample chamber is provided with an inlet, the inner cavity is provided with an electronic probe, the upper end of the electronic probe is provided with a power cord, and the electric connection mode is adopted. An electronic gun is arranged at the upper position of the condenser, and the upper and lower mounting structure is adopted in the built-in way. The condenser is located at the upper position of the sample chamber, and the utility model is provided with a power cord. The pull rod, after pulling out the folding rod when moving the place, will lean together along both sides to lift the base, through the characteristics of the folding rod, avoid damaging the surface of the device, moving with labor-saving effect.

【技术实现步骤摘要】
一种桌面型扫描电子显微镜
本技术是一种桌面型扫描电子显微镜，属于电子设备

技术介绍
随着科学研究与工业生产进入了纳米领域，人们对显微技术、显微仪器的要求越来越高，需求也日益增长。桌面型扫描电子显微镜不同于传统大型扫描电镜，是一种全新的设计，其结合了光学显微镜与传统扫描电镜的优点。现有技术公开了申请号为：201520950740.1的一种桌面型扫描电子显微镜，包括电子枪、物镜、光阑、样品承载台；所述样品承载台上设有样品，所述电子枪发出电子束，电子束穿过所述光阑上的电子束通道扫描所述样品，所述样品扫描后产生反射电子，还包括用于探测所述样品反射电子中背散射电子的背散射电子半导体探测器，所述背散射电子半导体探测器的输出端传输电信号至成像放大系统。本技术采用背散射电子半导体探测器的桌面型电子显微镜能够探测背散射电子并传递电信号，然后通过成像放大系统直接对该电信号处理生成图像，无需光电倍增管，减轻了整个仪器的重量，缩小了仪器体积，能够达到桌面型应用，符合普及型扫描电子显微镜的技术指标。但是其不足之处在于桌面型扫描电子显微镜需要移动场所时，其本身具有一定重量，不便于装置的移动。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种桌面型扫描电子显微镜，以解决桌面型扫描电子显微镜需要移动场所时，其本身具有一定重量，不便于装置的移动的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种桌面型扫描电子显微镜，其结构包括电子枪、聚光镜一、电子探头、样品室、底座、拉杆、物镜、电源线、聚光镜二，所述样品室为中空箱体结构，采用半开放式结构，所述样品室上板一体成型设有圆孔，所述样品室前侧设有进料口，内腔设有电子探头，所述电子探头上端设有电源线，采用通电连接方式，所述聚光镜一上方位置设有电子枪，采用内置方式呈上下安装结构，所述聚光镜二位于样品室上方位置，所述样品室框架表面上方设有聚光镜一，所述聚光镜一始终位于电子探头上方位置，采用隔物安装呈分设排列方式，所述样品室下侧位于底座表面凹槽，所述底座侧边设有对应拉杆；所述拉杆由固定架、下杆、限位板、折叠杆、把件、弹簧按钮组成，所述固定架内槽与下杆采用插入连接方式固定，所述下杆上端位置设有限位板，所述限位板凹槽与折叠杆下端相嵌合，所述折叠杆上端与把件连接且构成“∏”形结构，所述把件上端位置设有弹簧按钮，所述固定架位于底座对应侧边位置上。进一步地，所述电源线上方位置设有聚光镜二。进一步地，所述电子枪位于聚光镜二上方位置。进一步地，所述物镜与电源线相连接，呈上下结构。进一步地，所述聚光镜二位于物镜上方位置。进一步地，所述聚光镜一设在聚光镜二上方位置。进一步地，所述折叠杆上下端杆体为固定，中段可活动。进一步地，所述固定架平放状态设在底座内腔中，下杆也设在其中。有益效果本技术一种桌面型扫描电子显微镜，桌面型扫描电子显微镜主要通过电子枪与聚光镜一、聚光镜二及电子探头、物镜等主要装置的配合对样品室内的样品进行观察检测，需要移动场所时通过拉杆实现，首先握住把件后按下弹簧按钮，使得折叠杆顺着下杆拉出，折叠杆可折叠可伸缩，下杆通过限位板始终与固定架连为一体，拉出折叠杆后顺着两侧将把件靠在一起，并拢提起底座，通过折叠杆的特性，避免损坏装置表面，移动时具有省力作用。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种桌面型扫描电子显微镜的结构示意图；图2为本技术的拉杆示意图；图3为本技术的样品室内部连接结构示意图；图4为本技术的弹簧按钮内部结构示意图。图中：电子枪-1、聚光镜一-2、电子探头-3、样品室-4、底座-5、拉杆-6、固定架-601、下杆-602、限位板-603、折叠杆-604、把件-605、弹簧按钮-606、物镜-7、电源线-8、聚光镜二-9。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1-图4，本技术提供一种技术方案：一种桌面型扫描电子显微镜，其结构包括电子枪1、聚光镜一2、电子探头3、样品室4、底座5、拉杆6、物镜7、电源线8、聚光镜二9，所述样品室4为中空箱体结构，采用半开放式结构，所述样品室4上板一体成型设有圆孔，所述样品室4前侧设有进料口，内腔设有电子探头3，所述电子探头3上端设有电源线8，采用通电连接方式，所述聚光镜一2上方位置设有电子枪1，采用内置方式呈上下安装结构，所述聚光镜二9位于样品室4上方位置，所述样品室4框架表面上方设有聚光镜一2，所述聚光镜一2始终位于电子探头3上方位置，采用隔物安装呈分设排列方式，所述样品室4下侧位于底座5表面凹槽，所述底座5侧边设有对应拉杆6；所述拉杆6由固定架601、下杆602、限位板603、折叠杆604、把件605、弹簧按钮606组成，所述固定架601内槽与下杆602采用插入连接方式固定，所述下杆602上端位置设有限位板603，所述限位板603凹槽与折叠杆604下端相嵌合，所述折叠杆604上端与把件605连接且构成“∏”形结构，所述把件605上端位置设有弹簧按钮606，所述固定架601位于底座5对应侧边位置上，所述电源线8上方位置设有聚光镜二9，所述电子枪1位于聚光镜二9上方位置，所述物镜7与电源线8相连接，呈上下结构，所述聚光镜二9位于物镜7上方位置，所述聚光镜一2设在聚光镜二9上方位置。本专利所说的弹簧按钮606是一种利用弹性来工作的机械零件。用弹性材料制成的零件在外力作用下发生形变，除去外力后又恢复原状。在进行使用时，桌面型扫描电子显微镜主要通过电子枪1与聚光镜一2、聚光镜二9及电子探头3、物镜7等主要装置的配合对样品室4内的样品进行观察检测，需要移动场所时通过拉杆6实现，首先握住把件605后按下弹簧按钮606，使得折叠杆604顺着下杆602拉出，折叠杆604可折叠可伸缩，下杆602通过限位板603始终与固定架601连为一体，拉出折叠杆604后顺着两侧将把件605靠在一起，并拢提起底座5，通过折叠杆604的特性，避免损坏装置表面，移动时具有省力作用。本技术解决的问题是桌面型扫描电子显微镜需要移动场所时，其本身具有一定重量，不便于装置的移动，本技术通过上述部件的互相组合，通过折叠杆的特性，避免损坏装置表面，移动时具有省力作用，具体如下所述：固定架601内槽与下杆602采用插入连接方式固定，所述下杆602上端位置设有限位板603，所述限位板603凹槽与折叠杆604下端相嵌合，所述折叠杆604上端与把件605连接且构成“∏”形结构，所述把件605上端位置设有弹簧按钮606，所述固定架601位于底座5对应侧边位置上。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种桌面型扫描电子显微镜，其结构包括电子枪(1)、聚光镜一(2)、电子探头(3)、样品室(4)、底座(5)、拉杆(6)、物镜(7)、电源线(8)、聚光镜二(9)，所述样品室(4)为中空箱体结构，采用半开放式结构，所述样品室(4)上板一体成型设有圆孔，其特征在于：所述样品室(4)前侧设有进料口，内腔设有电子探头(3)，所述电子探头(3)上端设有电源线(8)，采用通电连接方式，所述聚光镜一(2)上方位置设有电子枪(1)，采用内置方式呈上下安装结构，所述聚光镜二(9)位于样品室(4)上方位置，所述样品室(4)框架表面上方设有聚光镜一(2)，所述聚光镜一(2)始终位于电子探头(3)上方位置，采用隔物安装呈分设排列方式，所述样品室(4)下侧位于底座(5)表面凹槽，所述底座(5)侧边设有对应拉杆(6)；所述拉杆(6)由固定架(601)、下杆(602)、限位板(603)、折叠杆(604)、把件(605)、弹簧按钮(606)组成，所述固定架(601)内槽与下杆(602)采用插入连接方式固定，所述下杆(602)上端位置设有限位板(603)，所述限位板(603)凹槽与折叠杆(604)下端相嵌合，所述折叠杆(604)上端与把件(605)连接且构成“∏”形结构，所述把件(605)上端位置设有弹簧按钮(606)，所述固定架(601)位于底座(5)对应侧边位置上。...

【技术特征摘要】
1.一种桌面型扫描电子显微镜，其结构包括电子枪(1)、聚光镜一(2)、电子探头(3)、样品室(4)、底座(5)、拉杆(6)、物镜(7)、电源线(8)、聚光镜二(9)，所述样品室(4)为中空箱体结构，采用半开放式结构，所述样品室(4)上板一体成型设有圆孔，其特征在于：所述样品室(4)前侧设有进料口，内腔设有电子探头(3)，所述电子探头(3)上端设有电源线(8)，采用通电连接方式，所述聚光镜一(2)上方位置设有电子枪(1)，采用内置方式呈上下安装结构，所述聚光镜二(9)位于样品室(4)上方位置，所述样品室(4)框架表面上方设有聚光镜一(2)，所述聚光镜一(2)始终位于电子探头(3)上方位置，采用隔物安装呈分设排列方式，所述样品室(4)下侧位于底座(5)表面凹槽，所述底座(5)侧边设有对应拉杆(6)；所述拉杆(6)由固定架(601)、下杆(602)、限位板(603)、折叠杆(604)、把件(605)、弹簧按钮(606)组成，所述固定架(60...

【专利技术属性】
技术研发人员：周勇，
申请(专利权)人：周勇，
类型：新型
国别省市：四川,51