压电装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种压电装置，具有适于抑制无用振动的构造。压电装置具备：压电基板、设于所述压电基板的第一主面的第一激振电极及第一引出电极、设于所述压电基板的第二主面的第二激振电极及第二引出电极。进而，压电装置在第一主面的与第二引出电极相向的区域中具备电位与第二激振电极相同的第一无用振动抑制电极，在第二主面的与第一引出电极相向的区域中具备电位与第一激振电极相同的第二无用振动抑制电极。

【技术实现步骤摘要】
压电装置
本专利技术涉及一种以厚度切变振动模式(thickness-shearvibrationmode)振动的压电振子、压电振荡器等的压电装置(piezoelectricdevice)。
技术介绍
各种电子设备中，为了选择或控制频率等，而多使用晶体振子或晶体振荡器等的压电装置。具代表的压电装置中，有利用厚度切变振动的压电装置。若以晶体振子而言，则为AT切割晶体振子及SC切割晶体振子所代表的双旋转切割晶体振子。使用厚度切变振动的压电装置中，存在主振动、和除此以外的振动即无用振动，当两者结合时，压电装置的特性变差。作为抑制无用振动的技术，例如专利文献1的现有技术栏中公开了以下技术：在晶体片的主面上且未形成激振电极的区域中，涂布接着剂并进行加重，由此抑制无用振动。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2003-309446
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]另一方面，对于压电装置而言，特性改善的要求日益提高。例如，对于高精度的温度补偿型晶体振荡器(TemperatureCompensatecrystalOscillator，TCXO)而言，有以下的要求：测定晶体振子自身的频率温度特性，并以高次函数、例如4次～7次等的函数将其温度特性近似，依其近似式补偿频率，以使自TCXO的输出的温度特性尽可能平坦。为了满足这种要求，理想的是，晶体振子自身的与频率温度特性有关的近似曲线的相关系数成为1。然而，实际上大多数温度下会产生所谓频率跳变(frequencydip)、即频率偏离近似曲线的现象。针对高精度TCXO所利用的晶体振子的频率温度特性，虽然所述理想状态不可能实现，但也期望在使用预定的环境温度范围、例如-40℃～+85℃的范围内，所述频率跳变为±0.2ppm以内，更优选±0.15ppm以内。针对这种需求，专利文献1的方法中，无法忽视涂布接着剂的精度偏差，可能反而导致压电装置的特性变差。考虑到压电装置小型化的日益进步，期望出现可应对所述需求的技术。本申请是鉴于这些方面而成，因此，本申请的目的在于提供一种具有适于抑制无用振动的构造的压电装置。[解决问题的技术手段]为了达成所述目的，本申请第一方面的压电装置具备压电基板、设于所述压电基板的第一主面的第一激振电极及从所述第一激振电极引出到所述压电基板的其中一端的第一引出电极、设于所述压电基板的与所述第一主面相向的第二主面的第二激振电极及从所述第二激振电极引出到所述压电基板的另一端的第二引出电极、以及收容所述压电基板的容器，且所述压电装置以厚度切变振动模式振动，并且，在所述压电装置中：在所述第一主面的与所述第二引出电极相向的区域上、且以距离d1远离所述第一激振电极的区域中，具有：电位与所述第二激振电极相同的第一无用振动抑制电极，和/或，在所述第二主面的与所述第一引出电极相向的区域上、且以距离d2远离所述第二激振电极的区域中，具有：电位与所述第一激振电极相同的第二无用振动抑制电极，其中，在具备第一无用振动抑制电极及第二无用振动抑制电极的双方的情况下，所述距离d1、所述距离d2可相同也可不同。另外，本申请的第二方面的压电装置，其中，在所述第一方面的压电装置中，将第一方面的构成中所具备的无用振动抑制电极的膜厚设为既定膜厚，所述既定膜厚与和所述无用振动抑制电极设于同一平面上的激振电极的膜厚不同。另外，本申请第三方面的压电装置，其中，在所述第一方面或第二方面所具备的无用振动抑制电极的表面上具备无用振动抑制调整痕。另外，本申请第四方面的压电装置，其中，在所述第一方面、第二方面或第三方面的压电装置所具备的无用振动抑制电极上进一步具备异种材料。异种材料例如可为接着剂，进而接着剂宜为导电性接着剂。此外，当实施这些方面时，所述压电装置可为将压电基板于其一端侧两处保持的所谓单侧保持构造、将压电基板于其相向两端保持的所谓两侧保持构造的任一种。进而，作为在所述各构成的任一者中进而具备振荡电路的振荡器的压电装置也包括在本专利技术的压电装置中。[专利技术的效果]根据第一方面的压电装置，在压电基板的既定区域中设有抑制电极，因此与不设置抑制电极的情况相比，像后述实验结果所表明那样可减少频率温度特性中的频率跳变。另外，由于具有可在形成激振电极时一体地形成无用振动抑制电极等特征，因此与涂布接着剂进行加重的情况相比，能以良好的精度将无用振动抑制电极配置在压电基板上。因此，导致压电装置原本的特性例如晶体阻抗(crystalimpedance)变差等的可能性也少。根据第二方面的压电装置，将无用振动抑制电极的膜厚设为与激振电极的膜厚不同的既定膜厚，因此与简单地利用与激振电极相同的薄膜构成无用振动抑制电极的情况相比，能以良好的精度抑制无用振动。根据第三方面的压电装置，在无用振动抑制电极的表面上具备无用振动调整痕，因此与简单地利用与激振电极相同的薄膜构成无用振动抑制电极的情况相比，能以良好的精度抑制无用振动。根据第四方面的压电装置，在无用振动抑制电极上进一步具备异种材料例如接着剂，因此与简单地利用与激振电极相同的薄膜构成无用振动抑制电极的情况相比，能以良好的精度抑制无用振动。附图说明图1A、图1B、图1C为第一方面的第一实施方式的压电装置10的说明图。图2A、图2B为第一方面的实施例的说明图。图3A、图3B为第一方面的实施例及比较例的说明图。图4为第一方面的第二实施方式的压电装置30的说明图。图5A、图5B为第一方面的第三实施方式的压电装置40的说明图。图6A、图6B为第一方面的第四实施方式的压电装置50、第五实施方式的压电装置60的说明图。图7为第一方面的实施方式的说明图，且为对抑制电极与激振电极的距离、与振子的损耗的关系进行说明的图。图8为第二方面的实施方式的说明图。图9为第三方面的实施方式的说明图。图10为第四方面的实施方式的说明图。图11A、图11B、图11C为第四方面的实施方式的说明图。[符号的说明]10：第一方面的第一实施方式的压电装置；11：压电基板；11a：第一主面；11b：第二主面；11x：第一边；11y：第二边；13a：第一激振电极；13b：第一引出电极；13c：第二激振电极；13d：第二引出电极；13e：第一无用振动抑制电极；13f：第二无用振动抑制电极；15：容器；15a：凹部；15b：连接垫；15c：外部端子；17：导电性接着剂；19：盖构件；30：第一方面的第二实施方式的压电装置；40：第一方面的第三实施方式的压电装置；50：第一方面的第四实施方式的压电装置；51：振荡电路；60：第一方面的第五实施方式的压电装置；61：背面侧的凹部；70：第三方面的实施方式的压电装置；71：无用振动调整痕；80：第四方面的实施方式的压电装置；81：异种材料(导电性接着剂)；d1、d2：距离；w1、w2：宽度。具体实施方式以下，参照附图对本申请的各方面的实施方式进行说明。此外，用于说明的各图仅是以可理解这些方面的程度而概略性地表示。另外，用于说明的各图中，有时对相同构成成分标注相同编号而示出，省略其说明。另外，以下实施方式中描述的形状、尺寸、材质等，仅为本专利技术范围内的合适例。因此，本专利技术并非仅限定于以下实施方式。[1.第一方面的第一实施方式]图1A、图1B、图1C为对第一方面的第一实施方式的压电装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电装置，包括：压电基板、设于所述压电基板的第一主面的第一激振电极及从所述第一激振电极引出至所述压电基板的其中一端的第一引出电极、设于所述压电基板的与所述第一主面相向的第二主面的第二激振电极及从所述第二激振电极引出至所述压电基板的另一端的第二引出电极、以及收容所述压电基板的容器，所述压电装置以厚度切变振动模式振动，所述压电装置的特征在于：在所述第一主面的与所述第二引出电极相向的区域上、且以距离d1远离所述第一激振电极的区域中，具备：电位与所述第二激振电极相同的第一无用振动抑制电极，和/或在所述第二主面的与所述第一引出电极相向的区域上、且以距离d2远离所述第二激振电极的区域中，具备：电位与所述第一激振电极相同的第二无用振动抑制电极，其中，在具备所述第一无用振动抑制电极及所述第二无用振动抑制电极的双方的情况下，所述距离d1、所述距离d2可相同也可不同。

【技术特征摘要】
2017.02.21 JP 2017-029907;2017.05.23 JP 2017-101461.一种压电装置，包括：压电基板、设于所述压电基板的第一主面的第一激振电极及从所述第一激振电极引出至所述压电基板的其中一端的第一引出电极、设于所述压电基板的与所述第一主面相向的第二主面的第二激振电极及从所述第二激振电极引出至所述压电基板的另一端的第二引出电极、以及收容所述压电基板的容器，所述压电装置以厚度切变振动模式振动，所述压电装置的特征在于：在所述第一主面的与所述第二引出电极相向的区域上、且以距离d1远离所述第一激振电极的区域中，具备：电位与所述第二激振电极相同的第一无用振动抑制电极，和/或在所述第二主面的与所述第一引出电极相向的区域上、且以距离d2远离所述第二激振电极的区域中，具备：电位与所述第一激振电极相同的第二无用振动抑制电极，其中，在具备所述第一无用振动抑制电极及所述第二无用振动抑制电极的双方的情况下，所述距离d1、所述距离d2可相同也可不同。2.根据权利要求1所述的压电装置，其特征在于：所述压电基板的平面形状为四边形状，所述第一引出电极引出至所述压电基板的第一边的其中一端侧，所述第二引出电极引出至所述压电基板的所述第一边的另一端侧，以单侧保持的方式，于所述第一边的一侧保持所述压电基板。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：洼田正积，渡辺善弘，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP